行 政 法 院 判 決 八十九年度判字第一六六九號
原 告 美商．萬國商業機器公司
代 表 人 甲○○
訴訟代理人 陳長文 律師
馮博生 律師
被 告 經濟部智慧財產局（原經濟部中央標準局）
右當事人間因發明專利申請事件，原告不服行政院中華民國八十八年三月二十二日台
八八訴字第一一五四六號再訴願決定，提起行政訴訟。本院判決如左︰
主 文
原告之訴駁回。
事 實
緣原告於民國八十三年三月二十一日以其「可於鹼性水溶液中顯像之微蝕刻光阻組合物，生成微蝕刻線條顯影之方法及酸敏感聚合組合物」係揭示一種酸敏感聚合組合物及含該酸敏感聚合組合物之改良化學放大微蝕刻（microlithography）光阻劑（resist）組合物及其製備方法與用途。組合物含混合之聚合物黏合劑、斷裂後可提供選擇性鹼水溶液溶解度之酸不穩定性部分、及當光阻劑組合於成像照光（imaging radiation ）時生成酸之化合物。組合物含一個或一個以上之酸不穩定縮酮部分，可以化學鍵與聚合樹脂結合或與個別成分結合成抗溶解劑。組合物對環境污染物之敏感度較已知之酸放大光阻劑組合物為低，並可視需要內隨著加工且免除後曝光烘乾步驟（postexposure bake step），特別適用以微蝕刻技術製造積體電路元件等情（下稱本案）。向被告申請發明專利。案經被告編為第00000000號審查，不予專利。原告修正申請專利範圍，申經再審查結果，仍不予專利，發給八十六年十一月十日台專（捌）○一○六三字第一四三六一八號專利再審查審定書。原告不服，提起訴願、再訴願，遞遭決定駁回，遂提起本件行政訴訟，茲摘敍兩造訴辯意旨於次：原告起訴意旨及補充理由略謂：一、被告以熟習此項技藝之人士可由歐洲第五二○六四二號專利案（下稱引證一）與歐洲第五二○六五四號專利案（下稱引證二）教示內容輕易完成本發明而再審查審定不予本案專利之處分，與經濟部及行政院維持該處分之訴願及再訴願決定，實嚴重損及原告權益，本案技術內容確實無法由前述引據資料輕易推知。原告茲申訴如后：㈠根據被告之再審查審定，被告顯然認為引證二所教示組合物中之具環縮酮結構之有機添加物即對應於本發明組合物之含縮酮部分之酸不穩定化合物。然事實上，如原告一再陳述者，引證二之該有機添加物係用以防止Ｔ－頂於三十分鐘內生成所採之添加成分，根本無法於酸條件下增強經照射區之溶解速率。且該案於其說明書清楚指陳，酸不穩定機基係含於成膜聚合物成分，而該酸不穩定基較佳係為如第三丁氧基羰基之氧羰基，並非縮酮基團部分。此即引證二之具環縮酮結構之有機添加物根本與本案含縮酮部分之酸不穩定化合物不相當，其結構不同且功能互異，被告明顯誤會引據案內容。㈡本案可於鹼性水溶液顯像之微蝕刻光阻組合物係含（ａ）成膜聚合物、（ｂ）含非環狀之縮酮部分的酸不穩定化合物、（ｃ）光照射下可生成酸之酸生成化合物、及（ｄ）殘餘酸清除劑。該含有含非環狀縮酮部分之酸不穩定化合物之光阻組合物（即，以縮酮之酸不穩定基為基礎之光阻組合物），係可避免本案說明書第６至７頁所陳前案光阻組合物之缺點，尤指避免以（乙）縮醛不穩
定基為基礎光阻組合物之易與環境污染物產生不利反應及無法容許於曝光、曝光後燒成、顯影間之時間遲滯等缺點。於引證二根本未教示與本案相當之酸不穩定化合物。至於引證一其所教示成膜聚合物雖可具有如本發明之縮酮酸不穩定部分，該案事實上乃視縮酮部分與（乙）縮醛部分為相當者。詳言之，於引證一中，只要其成膜聚合物之取代基Ｒ與Ｒ中有一為Ｈ，該成膜聚合物即為具縮醛部分者，而當Ｒ與Ｒ均非為Ｈ，則為具縮酮部分者。又引證一於其說明內容中並未針對具縮醛之成膜聚合物與具縮酮之成膜聚合物作出任何區隔。由引證一教示內容，一般熟習此項技藝人士必定認為，含縮酮之成膜聚合物與含縮醛之成膜聚合物相當，而認為此二者具相同之優缺點。換言之，當熟習此項技藝者於知悉以縮醛之酸不穩定基為基礎之光阻組合物之缺點時，將引證一之教示而認為如本案以縮酮之酸不穩定基為基礎之光阻組合物亦具相同缺點。然如本案說明書實例所示，本案以縮酮之酸不穩定基為基礎之光阻組合物，非但呈現低的環境污染物敏感度，亦可容許曝光－顯影與曝光－曝光後燒成間之時間遲滯。即本案以縮酮酸不穩定基為基礎之光阻組合物可避免如本案說明書所陳以縮醛酸不穩定基為基礎之光阻組合物缺點。原告堅信，若非經由本案揭示與教導，一般熟習此項技藝之人士必定無法由引證一及引證二而輕易完成本案發明且達其效益，本案具進步性，實為毋庸置疑之事實。二、本案發明可於鹼性水溶液顯像之微蝕刻光阻組合物係包含以下必要成分：（ａ）成膜聚合物、（ｂ）含非環狀縮酮部分之酸不穩定化合物、（ｃ）光照射下可生成酸之酸生成化合物、及（ｄ）殘餘酸清除劑。在判斷一組合物發明是否具備新穎性、進步性（或稱非顯而易知性）及產業可利用性等專利要件時，應就組合物之整體予以考量。上述引證一所揭示之組合物，並未包含本發明組合物所必須包含之殘餘酸清除劑，其全部揭示內容亦完全未建議使用殘餘酸清除劑。引證二組合物所包含之有機添加劑係具環狀結構，此結構與本案發明酸不穩定組合物所包含之縮酮部分所具有之結構，完全不同。引證二所揭示組合物中，具環縮酮結構之有機添加物之功能在於，可防止Ｔ－頂於三十分鐘內生成所採用之添加成分，其根本無法於酸條件下增強經照射區之溶解速率。且引證二說明書清楚說明，酸不穩定基係含於成膜聚合物成分中，且該酸不穩定基較佳係為如第三丁氧基羰基之氧羰基，其完全非關縮酮基團部分。被告指稱，引證一所揭示之組合物包含已取代或未取代之羥基苯乙烯聚合物（即成膜聚合物）及光酸（即酸生成化合物），引證二則揭示酸不穩定縮酮基團化合物，故由引證一及引證二可推知本案發明之技術。換言之，被告係將引證一之成膜聚合物及酸生成化合物與引證二之酸不穩定化合物予以結合，因而遽下結論認為，此種結合方式係熟習此項技術之人士所得以輕易推及者。姑且不論被告此種推論方式是否公平合理，其所推及之結合物，並未包含本案發明組合物所必須包含之殘餘酸清除劑。引證一及引證二完全未教示、建議甚或暗示熟習此項技術之人士使用殘餘酸清除劑，在此情況下，本案發明組合物在引證一及引證二之教下，如何得為熟習此項技術之人士所顯而易知者﹖有關被告對引證一之成膜聚合物及酸生成化合物與引證二之酸不穩定化合物之結合方式，其顯然基於後見之明所致。引證一說明書清楚教示熟習此項技術之人士，該發明特點之一在於，其光阻組合物中所使用之聚合物，並不需要使用能生成強酸之酸生成劑。引證一因此教示將其聚合物與生成弱酸之酸生成化合物併用。根據引證一之教示，熟習此項技術之人士將認知者為，包含縮醛或縮酮部分之聚合物，必須與生成弱酸之酸生成化合物共同使用，而無法與生成強酸之酸
生成化合物共同使用。換言之，在此認知下，熟習此項技術之人士將無法有任何動機將引證案一包含縮醛或縮酮部分之聚合物與強酸生成化合物共同使用。本案發明重點在於發現，包含其有縮酮部分之聚羥苯乙烯聚合物，當與光敏性強酸生成化合物及殘餘酸清除劑共同使用時，得以形成優異之光阻組合物。令人意外地，本案發明之光阻組合物可避免技藝中所面臨，因曝光與顯影間之時間延遲所導致之問題。由於本案發明所欲解決之問題在於，技藝中所面臨因曝光與顯影間之時間延遲所導致之問題，被告所稱之「線性值」及「解析度」與本發明所欲解決之問題，其間並無任何關聯性。本案發明針對技藝中所面臨之特定問題提供解決之道，被告卻要求與本案發明所欲解決問題無任何關聯性之數據，被告此舉似認為一申請專利之發明需得以解決該技藝中所面臨之所有問題，始具備可專利性，若果如此，原告以為，將無任何發明得以取得中華民國專利。據此說明，本案發明之特定結合非但完全背離被告引證案之教示，該等引證案復完全未教示、建議或暗示使用殘餘酸清除劑，本案發明組合物以整體觀之，難為熟習此項技術之人士在引證一及引證二教示下所得以輕易推及者。由於本案發明確具非顯而易知性，被告以本案不符專利法第二十條第二項之規定為由不准本案專利之處分，實為違法之行政處分，嚴重損及原告之權益，本案依法應可准予專利。請判決將上述之原處分、訴願決定及再訴願決定均予撤銷，併准予本案專利權二十年，實為德便等語。
被告答辯意旨略謂：按凡利用自然法則之技術思想之高度創作，而可供產業上利用者，固得依專利法第十九條及第二十條第一項前段之規定申請取得發明專利，惟如係「運用申請前既有之技術或知識，而為熟習該項技術者所能輕易完成時」仍不得依本法申請取得發明專利，復為同法第二十條第二項所明定。本案發明專利，特徵為組合物含（ａ）成膜聚合物、（ｂ）含非環狀之縮酮部分的酸不穩定化合物、（ｃ）光照射下可生成酸之酸生成化合物、及（ｄ）殘餘酸清除劑。而引證一申請專利範圍第一項揭示含巳取代或未取代之羥基苯乙烯聚合物之光阻組合物，除含上述聚合物外，尚有本案揭示者相同之光酸，引證二則揭示酸不穩定縮酮基團化合物，故由引證一、二已可推知本案之技術，又兩案光阻之波長又相近，顯然本案之光阻為同一類，又光阻之進步性與否，尚須看線性值、解析度等，本案亦缺此項數據，原告之訴無理由已至為明顯。因此本案不符專利法第十九條及第二十條第二項之規定。綜上所述，原處分並無違法，請駁回原告之訴等語。
理 由
依專利法第二十條第二項規定，發明係運用申請前既有之技術或知識，而為熟習該項技術者所能輕易完成時，雖無同條第一項所列情事，仍不得申請取得發明專利。查原告於八十三年三月三十一日以本案向被告申請發明專利。案經被告編為第00000000號審查，不予專利。原告修正申請專利範圍，申經被告再審查結果，以藉化學鍵連接之重覆羥基之成膜聚合物之光阻組合物，已為業界熟知習用，尤其為具經取代或未經取代之羥基苯乙烯聚合物者，可見於歐洲第五二○六四二號專利案（以下稱引證一），引證一揭示同具經取代或未經取代之羥基苯乙烯聚合物之用於光阻組合物，說明書第三、四、五、七頁揭示相同聚合物結構，第十三頁至第三十一頁揭示光阻組合物之使用。歐洲第五二○六五四號專利案（以下稱引證二）揭示具光酸、成膜聚合物之光阻組合物。本案僅為習知技藝之簡單運用，為熟習此項技藝者所能輕易完成，
仍應不予專利。核與首揭法律規定並無不合，一再訴願決定遞予維持，亦無違誤。原告雖起訴主張如事實欄所載。然查本件原告不服原處分，提起訴願，訴願決定機關為昭慎重，乃將本件原卷及訴願理由書等，送請工業技術研究院審查，其審查意見略謂：「．．．訴願人申訴本案係關於新穎組合物而非聚合物，並述明本案增進效益主要來自酸之不穩定化合物；惟查引證所揭示者即非單純聚合物，其更揭示含此類聚合物之光阻劑組合物，另查再審查案核駁理由先行通知書中引用之USP 5,151,341 及USP5,034,305 中亦揭示此類光阻劑組合物，因此本案運用申請前公知習用知識即可輕易組合完成者當無疑義，至於訴願人訴稱本案特徵在於酸不穩定化合物之論，由於化學增幅型光阻皆須光酸產生與酸不穩定化合物，且上述引證中亦皆有相當之揭示，因此訴願人所述並無理由。訴願人稱本案之組合物異於引證案之教示組合，尤其成分（ｂ）含非環縮酮部分之酸不穩定化合物，然引證案EP 520654 即已使用具此酸不穩定縮酮基之化合物，此外USP 5,286,602 亦已揭示含縮酮或縮醛等酸不穩定樹脂混合光酸產生劑作為正型感光混合物者，是以本案所揭示之成分（ｂ）結構與前述引證案近似，本案可由引證案輕易推知，因此訴願人所述理由不成立。訴願人並再強調本案之效益「可於PEB 遲滯四十八小時以上而仍無Ｔ頂生成」，惟查光阻劑應用時除Ｔ頂外尚需同時考慮如製程窗、解析度、線性值、proximity 等性質，本案除Ｔ頂生成時間延長外，尚無製程窗、解析度、線性值與proximity 等相關性質，故本案所請並無法明確看出因特定結構改變而致之進步性。綜合上述，前述引證前案所揭示之化學增幅型光阻組合物皆具備本案組成物之基本架構，本案實可組合運用前案而輕易推知完成，本案並無特殊之處。不予專利之裁定並無違誤，訴願無理由，應予駁回。」嗣原告提起再訴願後，訴願決定機關復將再訴願理由書等，送請工業技術研究院再審查，其審查意見略謂：「．．．關於本案之發明重點在於新穎組合物而非成膜聚合物之抗辯，查引證EP 520642 所揭示者已包含了成膜聚合物與最終組合物整體，另查再審查案核駁理由先行通知書中引用之USP 5,151,341 與USP 5,034,305 中亦揭示了成膜聚合物與組合物整體，顯示此類發明在應用上須包含成膜聚合物並須配製成成膜組合物方可應用，故本案為運用申請前公知習用知識即可輕易組合完成者當無疑義，再訴願人謂「本案關於新穎組合物而非聚合物．．．」之說當屬強辭奪理。至於再訴願人訴稱本案之特徵在於酸不穩定化合物之論，由於化學增幅型光阻皆須光酸產生劑與酸不穩定化合物，上述引證中於此皆有相當之揭示，再訴願人所述無理由。再訴願人稱本案之阻合物異於引證案之教示組合，尤其成分（ｂ）含非環縮酮部分之酸不穩定化合物，然引證二即已使用具此酸不穩定縮酮基之化合物，且從公知習用知識亦得知縮酮取代基為酸不穩定化合物，所述酸不穩定基並非縮酮基團部分實非正確。此外USP 5,286,602 亦已揭示含縮酮或縮醛等酸不穩定樹脂混合光酸產生劑作為正確感光混合物者，是以本案所揭示之成分（ｂ）化學結構與前述引證案近似，可由引證案與公知習用知識輕易推知，因此再訴願人所述之理由不成立。再訴願人強調本案之效益可於PEB 遲滯四十八小時以上仍無Ｔ－項生成，惟查光阻劑應用時除Ｔ頂外尚需同時考慮如製程窗、解析度、線性值、proximity 等性質。本案說明書中說明本發明之Ｔ頂生成時間會延長，而再訴願補充理由中並述及其穩定性及解析度亦已改善（惟依1997年標準，該項數值仍未達此業之技術水準），但其它性質並無法明確看出因特定結構改變而致之進步性。綜合上述，前述引證案所揭示之化學增幅型光阻組合物皆具備本案
組成之基本架構，本案實可組合運用前案而輕易完成，再訴願無理由，應予駁回。」此有審查意見附訴願可參。此項審查意見，具有鑑定性質，客觀公正，足堪採信。原告提起訴願、再訴願時一再主張本案專利申請確具「進步性」云云，揆諸上開審查意見，已無可採。況查引證一申請專利範圍第一項揭示含已取代或未取代之羥基苯乙烯聚合物之光阻組成物，除含上述聚合物外，尚有本案揭示者相同之光酸，引證二則揭示酸不穩定縮酮基團化合物，故由引證一、二已可推知本案之技術，又兩案光阻之波長又相近，顯然本案之光阻為同一類，又光阻是否具進步性，尚須依據線性值、解析度等審定之，而本案亦未具此項數據供查。是原告主張由引證一無法獲知本案實例之進步性，且引證二之具環縮酮結構之有機添加物根本與本案含縮酮部分之酸不穩定化合物不相當，一般熟習技藝之人尚無法由引證一及引證二之教示，而輕易完成本案發明且達其效益云云，尚不足採。綜上所述，原處分不予本案發明專利於法並無不合，一再訴願決定遞予維持，均無違誤，原告起訴意旨，核無理由，應予駁回。據上論結，本件原告之訴為無理由，爰依行政訴訟法第二十六條後段，判決如主文。中 華 民 國 八十九 年 五 月 二十五 日
行 政 法 院 第 二 庭
審 判 長 評 事 陳 石 獅
評 事 彭 鳳 至
評 事 黃 合 文
評 事 林 茂 權
評 事 王 立 杰
右 正 本 證 明 與 原 本 無 異
法院書記官 蘇 金 全
中 華 民 國 八十九 年 五 月 二十九 日
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