智慧財產法院行政判決
107年度行專訴字第81號
原 告 王政宏
訴訟代理人 陳俊宏律師
蔡育盛律師
輔 佐 人 邱敏傑
被 告 經濟部智慧財產局
代 表 人 洪淑敏（局長）
訴訟代理人 李京叡
許哲睿
參 加 人 中勤實業股份有限公司
代 表 人 陳延方（董事長）
上列當事人間因新型專利舉發事件，原告不服經濟部中華民國10
7 年8 月23日經訴字第10706308440 號訴願決定，提起行政訴訟
，並經本院准許參加人聲請獨立參加被告之訴訟，本院判決如下
︰
主 文
訴願決定及原處分均撤銷。
被告就第M389931 號「卡匣結構」新型專利，應為「請求項1 至6 舉發成立，應予撤銷專利權」之審定。
訴訟費用由被告負擔。
事實及理由
一、程序事項：
參加人經合法通知，未於準備程序及言詞辯論期日到場，亦 未提出書狀為任何聲明或陳述（本院卷一第507 頁、本院卷 二第37頁），爰依原告聲請，由原告、被告辯論後為判決（ 本院卷二第143 頁）。
二、事實概要：
參加人中勤實業股份有限公司前於民國99年3 月31日以「卡 匣結構」向被告申請新型專利，申請專利範圍計6 項，經被 告編為第99205593號進行形式審查後，發給新型第M389931 號專利證書准予專利（下稱系爭專利），嗣參加人於105 年 3 月7 日提出申請專利範圍更正本，經被告准予更正並於10 6 年8 月1 日公告。其後，原告以系爭專利違反核准時專利 法第94條第1 項第1 款及第4 項之規定，不符新型專利要件
，對之提起舉發。案經被告審查，認系爭專利未違反前揭專 利法規定，以107 年4 月30日（107 ）智專三（二）04192 字第10720380200 號專利舉發審定書為「請求項1 至6 舉發 不成立」之處分。原告不服，提起訴願，經經濟部以107 年 8 月23日經訴字第10706308440 號決定駁回，原告向本院提 起行政訴訟。本院因認本件訴訟之結果，倘認訴願決定及原 處分應予撤銷，參加人之權利或法律上利益將受損害，乃依 行政訴訟法第42條第1 、3 項之規定，依參加人聲請准其獨 立參加本件被告之訴訟。
三、原告主張：
㈠證據2 足以證明系爭專利請求項1 不具新穎性： 查系爭專利請求項1 針對擋止部界定了「該擋止部係設於該 架體相對應該開口之另一側上」的特徵，而證據2 與系爭專 利為相同應用領域，其結構中具有複數個柱體（柱體14）連 接該第一板體與該第二板體16，以及至少一擋止部（中柱體 14），該擋止部係設於該架體相對應該開口之另一側上的結 構；對照系爭專利請求項1 ，證據2 圖2 虛線框中的connec ting member （連接件）14即相當於系爭專利範圍中的複數 個柱體連接該第一板體與該第二板體16，而實線框中的conn ecting member （連接件）14用來承載著晶圓18的底側；又 從證據2 圖2 可以看出虛線框上方，相當於卡匣結構容置晶 圓的開口，因為晶圓18是由該綠色區域容置在該卡匣結構內 ，而在實線框中的connecting member （連接件）14位於第 一板體與該第二板體16之底側（黃色區域B ），該底側可視 為位於該第一與第二板體上之開口的另一側，由此觀之，實 線框中的connecting member （連接件）14具有系爭專利請 求項1 所定義之擋止部所具有之「設於該架體相對應該開口 之另一側上」的特徵；且根據證據2 圖2 以及說明書中第4 欄64至66行所述「The wafer 18 rests on the connecting members 14 at the bottom of the wafer carrier 10. 」 亦可清楚得知，在開口的另一側，亦即整個卡匣結構10的底 部（bottom），具有connecting members（連接件）14，用 來支撐止擋晶圓18的底部，因此上圖實線方框中的兩個conn ecting members（連接件）14相當於系爭專利請求項1 中的 擋止部，且用來支撐晶圓。是證據2 之圖2 中的end plates 端板）16下側的兩個connecting members（連接件）14已揭 露系爭專利請求項1 所述之擋止部特徵；再者，系爭專利請 求項1 所請求的範圍為「大致呈一角錐狀」，而根據證據2 圖1 、圖3 所示，由於每一個支撐元件12呈現出角錐狀，且 角錐之凸端，其係與該等柱體中的對應一者的外緣表面相距
有一高度的特徵，亦已揭露呈現角錐狀的特徵。準此，證據 2 自足以證明系爭專利不具新穎性。
㈡證據2 、3 之組合、證據2 至4 之組合、證據7 、8 之組合 、證據2 至4 、7 、8 之組合足以證明系爭專利請求項1 不 具進步性：
⒈證據2 、3 之組合：
證據2 已揭露系爭專利請求項1 所述之擋止部特徵，業如前 述；而證據3 亦為相同之應用領域，其說明書所述之第3 欄 63-64 行、第4 欄第9- 11 行揭露說明「具有鋸齒形貌6 ， 且形狀近似於四邊金字塔形狀的結構，每一個鋸齒形貌6 具 有晶圓接觸邊10，當晶圓9 插入到晶圓承載結構1 時如證據 3 圖4 只會有兩個接觸點12和晶圓9 接觸」，而根據維基百 科中於四角錐數的描述，「在數學中，四角錐數，或金字塔 數，是一個有形數表示有多少球堆積成一個金字塔（四角錐 ，是以正方形為基礎（底面為正方形）」，是所屬技術領域 具有通常知識者可輕易明顯的得知證據3 之金字塔形狀就是 屬於一種角錐結構，證據3 圖3 之金字塔形狀構成了一種四 角錐，其係具有A'、B'、C'與D'四個部位。根據其說明書所 述，engaging elements 6 形成在支持元件2~4 上，其中支 持元件2 與4 在晶圓的兩側，每一個engaging elements 6 即相當於系爭專利請求項1 中所定義具有角錐狀的承載部； 又根據證據3 圖1 ，其結構3 設置在開口，也就是結構2 與 4 之框架所構成的開口的一側，又根據證據3 圖2 與圖4 所 示，結構3 係用來支撐晶圓，因此可以視為系爭專利的擋止 部。是證據3 亦已教導（teaches ）系爭專利請求項1 中至 少一擋止部，該擋止部係設於該架體相對應該開口之另一側 上的特徵。準此，所屬技術領域具有通常知識者自可根據證 據2 與3 的組合輕易思及系爭專利請求項1 之特徵，足證系 爭專利請求項1 不具進步性。
⒉證據2 至4 之組合：
證據2 、3 之組合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性， 業如前述；而證據4 亦為同領域之一種晶圓承載裝置，由證 據4 圖4 中所示的centre panel 32 及說明書第0029段、第 0046段「由center fixing grooves 33的內牆（inner wall ）構造形成與晶圓38部分接觸的以使接觸面最小化，因此， 透過縮小晶圓和支撐結構之接觸面積，可以使在晶圓清洗製 程中讓清洗溶液可以完全移除薄膜上的殘餘物，有利於清洗 效果的功效」之記載，亦已揭露系爭專利請求項1 中之承載 部特徵。故由證據2 、3 與4 之組合，亦足以證明系爭專利 請求項1 不具進步性。
⒊證據7 、8 之組合：
證據7 、8 亦與系爭專利屬相同之「晶圓置放架」技術領域 ，而證據7 已對應揭露系爭專利請求項1 所界定元件「卡匣 結構6 」、「架體10、第一板體（11、61）、第二板體（12 、62）及柱體（13、63）」、「擋止部2 」及「承載部（3 、3a、65、65a ）之技術特徵，雖證據7 所揭露「延伸板42 」之技術內容與系爭專利請求項1 所界定「複數個承載部… 該等承載部中的每一者大致呈一角錐狀，且該等承載部中的 每一者更包括有：一頂端，其係位於該等柱體中的對應一者 上，該頂端與相鄰之另一頂端沿該等柱體中的對應一者的延 伸方向相距有一間距；二側端，其係位於該等柱體中的對應 一者上，且分別位於該頂端之二側，該等側端分別與該頂端 沿該等柱體中的對應一者的延伸方向相距有一距離；一凸端 ，其係與該等柱體中的對應一者的外緣表面相距有一高度。 」之技術特徵有所差異，惟參照證據8 第3 欄第45至50行揭 示內容，及證據8 第4 圖之局部放大圖與系爭專利第3B圖之 比對，即可知系爭專利上開技術特徵已為證據8 所揭示。是 證據7 、8 之組合亦足以證明系爭專利請求項1 不具進步性 。
⒋證據2 至4 、7 、8 之組合：
證據2 至4 、7 、8 均與系爭專利為相同技術領域，且如前 述，參酌證據2 已揭示系爭專利請求項1 所定義之擋止部所 具有之「設於該架體相對應該開口之另一側上」以及「擋止 部」之技術特徵；證據3 已揭示「具有鋸齒形貌6 ，且形狀 近似於四邊金字塔形狀的結構，每一個鋸齒形貌6 具有晶圓 接觸邊10，當晶圓9 插入到晶圓承載結構1 時，只會有兩個 接觸點12和晶圓9 接觸」之技術特徵；證據4 已揭示「由ce nter fixing grooves 33的內牆（inner wall）構造形成與 晶圓38部分接觸的以使接觸面最小化，因此，透過縮小晶圓 和支撐結構之接觸面積，可以使在晶圓清洗製程中讓清洗溶 液可以完全移除薄膜上的殘餘物，有利於清洗效果的功效」 。證據7 所述之晶圓置放架已對應揭露系爭專利請求項1 所 界定元件「卡匣結構6 」、「架體10、第一板體（11、61） 、第二板體（12、62）及柱體（13、63）」、「擋止部2 」 及「承載部（3 、3a、65、65a ）之技術特徵；證據8 已對 應揭露系爭專利請求項1 所界定「複數個承載部，其係以適 當排列位於該等柱體的每一者上，該等承載部中的每一者大 致呈一角錐狀，且該等承載部中的每一者更包括有：一頂端 ，其係位於該等柱體中的對應一者上，該頂端與相鄰之另一 頂端沿該等柱體中的對應一者的延伸方向相距有一間距；二
側端，其係位於該等柱體中的對應一者上，且分別位於該頂 端之二側，該等側端分別與該頂端沿該等柱體中的對應一者 的延伸方向相距有一距離；一凸端，其係與該等柱體中的對 應一者的外緣表面相距有一高度。」等技術特徵。故證據2 、3 、4 、7 和8 之組合自亦足以證明系爭專利請求項1 不 具進步性。
㈢證據2 至4 之組合、證據2 至4 、7 、8 之組合足以證明系 爭專利請求項2 不具進步性：
系爭專利請求項2 為請求項1 之附屬項，而證據2 至4 之組 合及證據2 至4 、7 、8 之組合均足以證明系爭專利請求項 1 不具進步性，業如前述；又證據3 說明書0055段已揭露「 wire frame 7是具有內心15以及包覆層16的結構」，其中內 心15可以為不鏽鋼的鋼線（wire），以及系爭專利減震材質 的組合，故證據2 至4 的組合或證據2 至4 、7 、8 之組合 亦均足以證明系爭專利請求項2 不具進步性。
㈣證據2 、3 、5 之組合、證據2 至5 、7 、8 之組合足以證 明系爭專利請求項3 不具進步性：
系爭專利請求項3 為請求項2 之附屬項，而證據2 至4 之組 合、證據2 至4 、7 、8 之組合足以證明系爭專利請求項2 不具進步性，業如前述；又證據5 同樣教導一種承載卡匣， 於說明書第0065段提到「大面積板材」可以解釋為任意型式 的基板（substrate ）、晶圓（wafer ）…」，已經清楚揭 露用來承載基板的線材和其外表面具有塑膠材料的特徵，雖 證據5 並未直接提到橡膠的特徵，惟對於所屬技術領域中具 有通常知識者而言，橡膠具有減震效果一事本為習知技術， 且證據5 亦已清楚揭露出矽膠與塑膠材料包覆在支撐結構之 外圍的技術特徵，因此透過證據5 的教示，所屬技術領域具 有通常知識者可輕易思及以橡膠作為減震材料的技術特徵， 因此證據2 、3 、5 之組合、證據2 至5 、7 、8 之組合亦 足以證明系爭專利請求項3 不具進步性。
㈤證據2 至4 之組合、證據2 至4 、7 、8 之組合足以證明系 爭專利請求項4 不具進步性：
系爭專利請求項4 為請求項1 之附屬項，而證據2 至4 之組 合及證據2 至4 、7 、8 之組合均足以證明系爭專利請求項 1 不具進步性，業如前述；又證據3 已進一步揭示「內心15 之材質選自polyetheretherketones （熱塑性塑料）」，已 揭露一種由塑膠材料所構成的塑膠膠條的特徵，而由於矽膠 膠條與橡膠膠條為習知的材料，因此在證據3 的教導下，此 等習知材料在基於為解決震動問題的前提下，對於通常知識 者來說必為顯而易見之物。因此不論證據2 、3 證據2 至4
之組合，亦足以證明系爭專利請求項4 不具進步性。 ㈥證據2 、3 、6 之組合、證據2 至4 、6 至8 之組合足以證 明系爭專利請求項5 不具進步性：
系爭專利請求項5 為請求項1 之附屬項，而證據2 、3 之組 合及證據2 至4 、7 、8 之組合均足以證明系爭專利請求項 1 不具進步性，業如前述；又證據6 已經揭露「線體17平行 強化桿16，且每一個線體17的兩端分別連接到所述兩個垂直 桿14上。調整螺絲18設在所述兩個垂直桿14上，每一個線體 17由位於其兩側的調整螺絲18而固設在該垂直桿14上，並且 可以通過調整該調整螺絲18來調整線體17的張力」的技術特 徵，其中，載具10相當於系爭專利的架體，線體17由於係用 來支撐基板，因此相當於系爭專利的擋止部，而調整螺絲18 而固設在該垂直杆14上，從證據6 圖1 可以清楚得知該調整 螺絲18係設置於線體17的端部，並可通過調整該調整螺絲18 來調整線體17的張力。可知證據6 的調整螺絲18相當於系爭 專利的調整件。故證據2 、3 、6 之組合或證據2 、3 、4 、6 之組合，亦均足以證明系爭專利請求項5 不具進步性。 ㈦證據2 至4 、6 之組合、證據2 至4 、6 至8 之組合足以證 明系爭專利請求項6 不具進步性：
系爭專利請求項6 為請求項5 之附屬項，而證據2 、3 、6 之組合、證據2 至4 、6 至8 之組合足以證明系爭專利請求 項5 不具進步性，業如前述；又證據6 中的調整螺絲18要能 夠和線體17結合，所屬技術領域中具有通常知識者自然可以 輕易想到以焊接、熔接、黏合、扣合、套合、鎖合和嵌合的 其中之一來讓調整螺絲和線體結合，以利調整線體的張力。 因此，根據證據6 所揭露的內容，系爭專利請求項6 所載擋 止部與該調整件連結方式係採焊接、熔接、黏合、扣合、套 合、鎖合和嵌合的其中任一者之特徵為本技術所屬技術領域 中具有通常知識者可以輕易得知的技術特徵。故證據2 至4 、6 之組合、證據2 至4 、6 至8 之組合亦足以證明系爭專 利請求項6 不具進步性。
㈧並聲明：⒈訴願決定及原處分均撤銷。⒉被告應對第M38993 1 號新型專利請求項1 至6 為舉發成立之審定。四、被告辯稱：
㈠系爭專利請求項1 之擋止部係由獨立之擋止部（元件符號2 ）構成，證據2 並無關於擋止部之界定，且證據2 中之晶圓 並非被支撐在如系爭專利請求項1 之擋止部上，故證據2 未 揭示系爭專利請求項1 之擋止部，亦未揭示系爭專利請求項 1 界定之開口與擋止部設於該架體相對應該開口之另一側上 之元件連接關係。再者，僅由證據2 圖1 之支撐元件呈現角
錐狀參照證據2 圖1 、3 ，並無法得知系爭專利請求項1 對 該承載部界定之詳細技術特徵，亦無揭示系爭專利請求項1 界定之一凸端（其係與該等柱體中的對應一者的外緣表面相 距有一高度）等之技術特徵。準此，證據2 未揭示系爭專利 請求項1 所界定之所有技術特徵，不足以證明系爭專利請求 項1 不具新穎性。
㈡證據3 圖3 及說明書相對應部分仍未揭示系爭專利請求項1 對承載部界定之詳細技術特徵，且證據3 揭示之金字塔狀結 構亦無揭示系爭專利請求項1 界定之一凸端（其係與該等柱 體中的對應一者的外緣表面相距有一高度）等之技術特徵， 故證據3 仍未揭示系爭專利請求項1 所界定之所有技術特徵 （除外亦未揭示系爭專利請求項1 界定之擋止部），且原告 亦未提出證據2 、3 之可結合動機，而亦難謂上述未揭示之 技術特徵為通常知識之簡單變更，故證據2 、3 之結合不足 以證明系爭專利請求項1 不具進步性；再者，證據4 仍未揭 示系爭專利請求項1 界定之承載部、擋止部等及其發明整體 。又未提出證據2 、3 、4 之結合動機，而亦難謂上述未揭 示之技術特徵為通常知識之簡單變更，故證據2 、3 與4 之 結合亦不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。 ㈢證據2 、3 與4 之結合不足以證明系爭專利獨立項1 不具進 步性，已如前述，而證據5 至6 仍未揭示關於承載部之技術 特徵，故證據2 至6 之結合不足以證明系爭專利請求項2 至 6 不具進步性。
㈣原告於108 年3 月19日行政訴訟補充理由提出新證據即證據 7 、8 之組合及證據2 、3 、4 、7 、8 之組合，主張該等 組合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性云云。惟查： ⒈就欲解決之問題而言，證據7 是為防止晶圓在存放時破裂或 污損，達到容易取用、搬運的功效，證據8 則是為使本體可 抗高溫、保持本體形狀不變形，其二者間並無共通性，已難 認有結合動機。
⒉縱認證據7 、8 具有結合動機，惟查：
⑴證據7 並未揭示系爭專利請求項1 之「複數個承載部，其係 以適當排列位於該等柱體的每一者上，該等承載部中的每一 者大致呈一角錐狀，且該等承載部中的每一者更包括有：一 頂端，其係位於該等柱體中的對應一者上，該頂端與相鄰之 另一頂端沿該等柱體中的對應一者的延伸方向相距有一間距 ；二側端，其係位於該等柱體中的對應一者上，且分別位於 該頂端之二側，該等側端分別與該頂端沿該等柱體中的對應 一者的延伸方向相距有一距離；一凸端，其係與該等柱體中 的對應一者的外緣表面相距有一高度」技術特徵。
⑵證據8 第4 圖為側視圖，系爭專利第3B圖為正視圖，二者視 角不同無法逕行比對；原告雖在證據8 第4 圖側視圖之間隔 件18之局部放大圖中標示為【凸端】，惟從證據8 第1 、2 、5 、6 圖看來，該位置似乎為圓弧狀，而非端點，僅可認 為間隔件18具有一高度；且由證據8 第3 欄第45至50行「每 個管狀導軌17具有多個齒或間隔件18，它們與管狀導軌17一 體形成並從支架向內突出並朝向相對側上的另一個導軌。齒 或間隔件18用於支撐晶片並使晶片彼此保持間隔和相對的關 係。晶片W 將以圖5 所示的方式擱置在齒或間隔件18上。其 中晶片W 以虛線示出。管狀導軌的相鄰齒與晶片W 的寬度間 隔開，如圖5 所示」之記載，仍未揭示間隔件18的具體結構 於【凸端】是否具有端點，至原告在證據8 第4 圖之間隔件 18之局部放大圖中標示為【側端】、【頂端】處，從證據8 第1 、2 、5 、6 圖看來，【側端】或【頂端】具有一持續 的寬度，而非端點，故藉由證據8 無法直接且無歧異得知有 揭示系爭專利請求項1 「凸端」、「側端」、「頂端」為端 點之技術特徵。
⑶又因證據8 未揭示端點，且從證據8 第1 、2 、5 、6 圖看 來，間隔件18具有一持續的寬度，類似於盤狀，故證據8 未 揭示「該等承載部中的每一者大致呈一角錐狀」之技術特徵 。此外，系爭專利請求項1 之擋止部係由獨立之擋止部構成 ，然證據8 並無關於擋止部之界定，且證據8 中之晶圓係直 接被支撐在複數個側向結構件上，而並非被支撐在如系爭專 利請求項1 之擋止部上，故證據8 亦未揭示系爭專利請求項 1 之擋止部。
⒊綜上，證據7 、8 或證據2 、3 、4 、7 、8 之組合仍不足 以證明系爭專利請求項1 不具進步性；而系爭專利請求項2 至6 包含請求項1 所有技術特徵並進一步界定附屬技術特徵 ，故證據7 、8 之組合或證據2 、3 、4 、7 、8 之組合亦 不足以證明系爭專利請求項2 至6 不具進步性。 ㈤並聲明：原告之訴駁回。
五、本件爭點經當庭協同兩造確認如下（本院卷二第41至43頁） ：
㈠證據2 是否足以證明系爭專利請求項1 不具新穎性？ ㈡證據2 、3 之組合、證據2 至4 之組合、證據7 、8 之組合 、證據2 至4 、7 、8 之組合是否足以證明系爭專利請求項 1 不具進步性？
㈢證據2 至4 之組合、證據2 至4 、7 、8 之組合是否足以證 明系爭專利請求項2 不具進步性？
㈣證據2 、3 、5 之組合、證據2 至5 、7 、8 之組合是否足
以證明系爭專利請求項3 不具進步性？
㈤證據2 至4 之組合、證據2 至4 、7 、8 之組合是否足以證 明系爭專利請求項4 不具進步性？
㈥證據2 、3 、6 之組合、證據2 至4 、6 至8 之組合是否足 以證明系爭專利請求項5 不具進步性？
㈦證據2 至4 、6 之組合、證據2 至4 、6 至8 之組合是否足 以證明系爭專利請求項6 不具進步性？
六、本院得心證理由：
㈠本件應適用之專利法：
查系爭專利之申請日為99年3 月30日，核准日為99年8 月3 日，故本件關於系爭專利是否具有應撤銷事由之判斷，應依 核准審定時有效之92年2 月6 日修正公布、93年7 月1 日施 行之專利法（下稱92年專利法）。又按新型為其所屬技術領 域中具有通常知識者依申請前之先前技術顯能輕易完成時， 仍不得依本法申請取得新型專利，92年專利法第94條第4 項 定有明文。
㈡本院得審酌新證據：
按關於撤銷、廢止商標註冊或撤銷專利權之行政訴訟中，當 事人於言詞辯論終結前，就同一撤銷或廢止理由提出之新證 據，智慧財產法院仍應審酌之，智慧財產案件審理法第33條 第1 項定有明文。查原告於原處分階段僅提出證據2 至6 之 相關組合主張系爭專利請求項1 至6 不具新穎性、進步性， 於本件行政訴訟階段追加提出證據7 、8 與前開證據之組合 ，並追加主張如前述爭點㈡至㈦，係就同一撤銷理由（即系 爭專利請求項1 是否不具新穎性及進步性？請求項2 至6 是 否不具進步性）所提之新證據，並經被告就該新證據提出答 辯，依智慧財產案件審理法第33條第1 項規定，本院就上開 新證據，得併予審究。
㈢系爭專利技術內容分析：
本創作係提供一種卡匣結構1，該卡匣結構1包括：一架體10 、至少一擋止部2 以及複數個承載部3 。該架體10二端分別 具有相對應之一第一板體11以及一第二板體12，且以複數個 柱體13連接該第一板體11與該第二板體12，該架體10之一側 具有一開口15。該擋止部2 係設於該架體10相對應該開口15 之另一側上。複數個承載部3 以適當排列位於該柱體13上， 該承載部3 大致呈一角錐狀，該承載部3 更包括有：一頂端 31、二側端32、33以及一凸端34。該頂端31位於該柱體13上 ，該頂端31與另一頂端31a 沿該柱體13延伸方向91相距有一 間距s 。該側端32、33位於該柱體13上，且分別位於該頂端 31之二側，該側端32、33與該頂端31沿該柱體13延伸方向91
相距有一距離d 。該凸端34與該柱體13外緣表面相距有一高 度h 。當置入至少一基板7 進行清洗時，基板7 因貼靠該側 端32、33僅進行點接觸，可增加清洗面積，提升基板良率（ 其主要圖式如本判決附圖一所示）。
㈣系爭專利申請專利範圍分析：
系爭專利申請專利範圍所載請求項共6 項，其中請求項1 為 獨立項，其餘為附屬項。範圍如下：「1.一種卡匣結構，該 卡匣結構包括：一架體，二端分別具有相對應之一第一板體 以及一第二板體，且以複數個柱體連接該第一板體與該第二 板體，該架體之一側具有一開口；至少一擋止部，該擋止部 係設於該架體相對應該開口之另一側上；複數個承載部，其 係以適當排列位於該等柱體的每一者上，該等承載部中的每 一者大致呈一角錐狀，且該等承載部中的每一者更包括有： 一頂端，其係位於該等柱體中的對應一者上，該頂端與相鄰 之另一頂端沿該等柱體中的對應一者的延伸方向相距有一間 距；二側端，其係位於該等柱體中的對應一者上，且分別位 於該頂端之二側，該等側端分別與該頂端沿該等柱體中的對 應一者的延伸方向相距有一距離；一凸端，其係與該等柱體 中的對應一者的外緣表面相距有一高度。2.如申請專利範圍 第1 項所述之卡匣結構，其中該擋止部係為一包覆減震材質 之鋼索。3.如申請專利範圍第2 項所述之卡匣結構，其中該 減震材質係為矽膠、塑膠及橡膠之其中任一者。4.如申請專 利範圍第1 項所述之卡匣結構，其中該擋止部係為一矽膠膠 條、塑膠膠條及橡膠膠條之其中任一者。5.如申請專利範圍 第1 項所述之卡匣結構，其中該擋止部之至少一端係連結一 調整件，且該調整件係穿設於該架體之外側，以供調整該擋 止部之張力。6.如申請專利範圍第5 項所述之卡匣結構，其 中該擋止部與該調整件連結方式係採焊接、熔接、黏合、扣 合、套合、鎖合和嵌合的其中任一者。」
㈤舉發證據技術分析：
⒈證據2 為西元2001年5 月8 日公告之美國第6227590 號「ME THOD OF CONSTRUCTING A WAFER CARRIER」專利案，其公告 日早於系爭專利申請日（99年3 月31日），可為系爭專利相 關之先前技術。證據2 為一種用於半導體晶圓的運輸和存儲 的晶圓載具。更具體地，本發明是一種具有剛性結構和耐腐 蝕塗層的晶圓載具。晶圓載具包括整體框架，其具有通過連 接構件連接的多個晶圓支撐件。框架塗覆有諸如含氟聚合物 的材料，該材料耐受通常在半導體製造工藝中使用的腐蝕性 材料( 摘要中譯，其圖式如本判決附圖二所示)。 ⒉證據3 為西元2005年3 月29日公告之美國第6871657 號「LO
W PROFILE WAFER CARRIER 」專利案，其公告日早於系爭專 利申請日（99年3 月31日），可為系爭專利相關之先前技術 。證據3 乃用於在處理步驟之間傳輸半導體晶圓的裝置，其 也可用於在各種處理步驟期間承載晶圓。該裝置最大限度地 減少了處理罐中流體流動的阻礙，減少了由於邊緣排除而失 效的裝置數量，並減少了處理時間。在一個實施例中，該裝 置是晶圓載具，包括具有三個負載支撐構件的線框架( 摘要 中譯，其圖式如本判決附圖三所示)。
⒊證據4 為西元2003年6 月12日公開之美國第2003/0000000號 「WAFER GUIDE AND CLEANING APPARATUS HAVING THE SAME 」專利案，其公開日早於系爭專利申請日（99年3 月31日） ，可為系爭專利相關之先前技術。證據4 為一種用於在清潔 過程中支撐至少一個半導體晶圓的晶圓導向器( guide)，包 括側板，所述側板在其上表面上具有多個側固定槽，用於穩 定所述至少一個半導體晶圓並且用於保持所述至少一個半導 體晶圓的表面之間的足夠距離。至少一個半導體晶圓和相鄰 表面；中心板，在其上表面上具有多個用於支撐所述至少一 個半導體晶圓的中心固定槽，所述多個中心固定槽中的每一 個都具有內壁，其中在所述內壁的每個內壁上形成接觸線。 中心固定槽，其中，中心板位於一對側板之間；一對固定板 ，其中一對固定板固定連接在中心板和一對側板的兩端( 摘 要中譯，其圖式如本判決附圖四所示)。
⒋證據5 為西元2009年1 月15日公開之美國第2009/0000000號 「METHOD AND APPARATUS FOR PROVIDING FLAT PANEL DISP LAY ENVIRONMENTAL ISOLATION 」專利案，其公開日早於系 爭專利申請日（99年3 月31日），可為系爭專利相關之先前 技術。證據5 係提供一種用於支撐處理基板的容器。該容器 包括底座、頂部和連接底座和頂部的側板。支撐結構設置在 容器中而具有多排拉伸構件，其橫跨容器的寬度延伸。多個 拉伸構件的每排構造成支撐基板( 摘要中譯，其圖式如本判 決附圖五所示)。
⒌證據6 為西元2009年5 月6 日公告之大陸地區第100484848 號「用來容置薄板物的載具」專利案，其公告日早於系爭專 利申請日（99年3 月31日），可為系爭專利相關之先前技術 。證據6 涉及一種用來容置薄板物的載具，其包括一個框架 本體和至少一個板狀體。該框架本體包括至少四個垂直杆和 複數個固定所述這些垂直杆的水準杆。所述這些板狀體固設 於該框架本體之內，每一個板狀體具有一個上表面、一個下 表面和複數個透孔，該上表面用來容置該薄板物，所述這些 透孔用來供一個搬運裝置穿過來搬運該薄板物。藉此，可以
不需要常規載具的張力調整裝置，並且可以防止該薄板物插 入下一層容置平面( 其圖式如本判決附圖六所示)。 ⒍證據7 為西元2008年5 月21日公告之我國第M332935 號「晶 圓置放架」專利案，其公告日早於系爭專利申請日（99年3 月31日），可為系爭專利相關之先前技術。證據7 係一種晶 圓置放架，包含至少二呈相對應設置之側板；多數二端分別 設於各側板相對應一面上且鄰近各側板二側及底緣之支撐桿 ；多數二端分別設於各側板相對應一面上且鄰近各支撐桿相 對應內側緣之固定桿；以及多數分別相對應設於各固定桿內 側緣之承載單元。藉此，可將所需之晶圓集中置放於承載單 元中，除可防止晶圓於存放時產生破裂及污損之外，亦可同 時達到易於取用及搬運之功效( 其圖式如本判決附圖七所示 )。
⒎證據8 為西元1989年10月10日公告之美國第4872554 號「RE INFORCED CARRIER CARRIER WITH EMBEDDED RIGID INSERT 」專利案，其公告日早於系爭專利申請日（99年3 月31日） ，可為系爭專利相關之先前技術。證據8 為一種適用於晶圓 製程的矽晶圓及矽晶圓類似物的載具10，所述載具10具有多 個側部構件16及多個端部構件11，所述多個側部構件16是具 有間隔及支撐晶圓用的多個齒18從其上突出的管狀軌道17， 多個所述側部軌道皆由管狀塑料製成，並分別具有嵌入於其 中的剛性插入件或桿狀件，所述載具10的多個所述端部構件 11皆呈板形，並分別具有嵌入其中的剛性插入件或板體，以 桿體形式或板體形式構成的多個所述入件皆由具有高穩定性 、耐高溫性及耐化學腐蝕性的剛性材料形成，以保持其形狀 和結構的完整性，並且多個所述插入件可以例如是由許多材 料，如石英、陶瓷、玻璃或耐腐蝕金屬（如：不鏽鋼）等材 料所形成( 其圖式如本判決附圖八所示)。
㈥證據2足以證明系爭專利請求項1不具新穎性： ⒈系爭專利請求項1 界定一種卡匣結構，該卡匣結構包括：一 架體，二端分別具有相對應之一第一板體以及一第二板體， 且以複數個柱體連接該第一板體與該第二板體，該架體之一 側具有一開口；至少一擋止部，該擋止部係設於該架體相對 應該開口之另一側上；複數個承載部，其係以適當排列位於 該等柱體的每一者上，該等承載部中的每一者大致呈一角錐 狀，且該等承載部中的每一者更包括有：一頂端，其係位於 該等柱體中的對應一者上，該頂端與相鄰之另一頂端沿該等 柱體中的對應一者的延伸方向相距有一間距；二側端，其係 位於該等柱體中的對應一者上，且分別位於該頂端之二側， 該等側端分別與該頂端沿該等柱體中的對應一者的延伸方向
相距有一距離；一凸端，其係與該等柱體中的對應一者的外 緣表面相距有一高度。
⒉證據2 之摘要、圖1 至3 揭示一種用於半導體晶圓的運輸和 存儲的晶圓載具10( 相當於系爭專利之卡匣結構) ，其包含 有2 個端板16( 相當於系爭專利之第一、二板體) ，具有4 個連接件14，其中上側2 個連接件14( 相當於系爭專利之複 數個柱體) 連接於二個端板16，且晶圓載具10一側具有一開 口，是證據2 已揭露系爭專利請求項1 之「一種卡匣結構， 該卡匣結構包括：一架體，二端分別具有相對應之一第一板 體以及一第二板體，且以複數個柱體連接該第一板體與該第 二板體，該架體之一側具有一開口」技術特徵；又證據2 圖 1 、2 揭示下側2 個連接件14( 相當於系爭專利之擋止部) ，係設置於晶圓載具10相對應開口之另一側上，亦已揭露系 爭專利請求項1 之「至少一擋止部，該擋止部係設於該架體 相對應該開口之另一側上」技術特徵；再者，證據2 圖1 至 3 揭示複數個大致呈一角錐狀之支撐元件12( 相當於系爭專 利之承載部) ，其適當排列設置於4 個連接件14上，各支撐 元件12具有一頂端、二側端及與連接件14外緣表面相距有一 高度之凸端，證據2 已揭露系爭專利請求項1 之「複數個承 載部，其係以適當排列位於該等柱體的每一者上，該等承載
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