債務不履行損害賠償等
臺灣桃園地方法院(民事),重訴字,102年度,13號
TYDV,102,重訴,13,20160108,2

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臺灣桃園地方法院民事判決       102年度重訴字第13號
原   告 洋華光電股份有限公司
法定代理人 白志強
訴訟代理人 許惠峰律師
      陳昱龍律師
被   告 台灣布勒有限公司
法定代理人 傅德利
訴訟代理人 高亘瑩律師
複 代理人 陳逸融律師
      黃美婷
上列當事人間債務不履行損害賠償等事件,於民國104 年12月15
日辯論終結,本院判決如下:
主 文
原告之訴及假執行之聲請均駁回。
訴訟費用由原告負擔。
事實及理由
壹、程序方面:
按當事人喪失訴訟能力或法定代理人死亡或其代理權消滅者 ,訴訟程序在有法定代理人或取得訴訟能力之本人承受其訴 訟以前當然停止。又聲明承受訴訟,應提出書狀於受訴法院 ,由法院送達於他造,民事訴訟法第170 條、第176 條分別 定有明文。經查,原告法定代理人原為林德錚,於本案訴訟 繫屬中變更為白志強,並經白志強以書狀聲明承受訴訟;被 告則先將其公司名稱由台灣萊寶亞太光電有限公司變更為台 灣布勒有限公司,並將公司之法定代理人由貝格利變更為傅 德利,此有民事聲明承受訴訟狀、經濟部函、公司變更登記 表等件在卷可稽(見本院卷一第123 頁、卷二第13-17 頁、 卷四第294頁),揆諸前揭說明,核無不合,均應予准許。貳、實體方面:
一、原告主張:
(一)原告於民國99年12月24日向被告訂製「鉬-鋁-鉬三層鍍 膜(下稱MAM 製程)」之「捲繞式濺鍍機(Roll to Roll Sputter ,簡稱R to R SPT,下稱系爭設備)」,被告稱 其為訴外人德商APIK GmbH 公司(下稱APIK)之臺灣代理 商,惟其並無此組裝技術,因此乃轉介原告向APIK訂製, 並與APIK一同洽談系爭設備訂製事宜,其中MAM 客製化過 程,皆係由被告及APIK共同提供工作物之全部材料之承攬 前端工作,並由APIK提供組裝技術之承攬中端工作後,移 轉財產上所有權予原告,再由被告提供維修技術之承攬後 端工作,故系爭設備非為單純所有權移轉之買賣契約,而



須具備「合適之裝置(parts )」及「組裝技術」,否則 無法完成,其中真空幫浦係使用德商萊寶公司(被告為德 商萊寶公司百分之百持股之臺灣子公司)所製造生產之型 號,APIK組裝技術之勞務供給,則須符合原告客製化要求 。原告嗣於100 年3 月17日與被告、APIK簽訂系爭設備之 承攬、買賣契約(下稱系爭契約),約定報酬為1,750,00 0 歐元,交貨日期為同年8 月31日,是兩造間成立之契約 為承攬與買賣之混合契約。
(二)原告嗣依約分別於100 年3 月25日、同年9 月30日、同年 12月16日支付總報酬金額之40%、30%、15%即700,000 歐元、525,000 歐元、262,500 歐元予APIK。詎被告及AP IK未依約提供符合規格之系爭設備零件,致系爭設備有如 下之瑕疵,茲分述如下:
1.傳送用滾輪(Roller):依約滾輪表面應以硬化層處理, 惟所有滾輪未施以硬化層處理,且於100 年10月進廠時即 發現滾輪表面已受損。
2.鍍膜用靶機(Cathode ):依約應使用Bekaert 公司cust om .750/150R之產品(使用之靶材長度750 ㎜),惟被告 使用SCI 公司之產品,型號不明,且其靶機內部磁鐵較長 (適用950 ㎜靶材)。
3.質流控制器(MFC ):依約應使用Bronkhorst公司EL-FL OW系列之產品,惟被告使用M +W Instruments 公司MASS -STREAM系列D6311DR 型號產品,使用品質不良或次級品 之氣體質流控制器,易使氣體流量不穩定,造成鍍膜品質 不良而產品報廢,嚴重時甚至會造成設備當機,靶機及相 關零組件(電源供應器)損壞。
4.直流電源供應器(DC power supply ):依約應使用AE公 司氣冷式Pinnacl ○10KW型號產品,惟被告使用AE公司水 冷式Ascent○60KW型號產品,上述裝置適用在12~48KW製 程(全輸出20%~80%),原規格書有記載其製程條件約 5KW ,故此不適用。如使用在上述範圍外(0 ~12或48~ 60KW),電力輸出易出現偏差及不穩定,造成鍍膜厚度錯 誤及電阻值不均勻而產品報廢。APIK人員測試鋁靶時,使 用過高電力20KW(大於原規格書之電源供應器最大輸出電 力10KW),造成靶材熔毀。
5.製程冷卻水管及閥件:依約不可使用黃銅材質,然被告製 程冷卻水管及閥件使用黃銅材質。
6.進/ 出料腔體:依約腔壁及門板有適當大小之窗戶,然被 告未依規格書內容及圖示來設計及製作窗戶。
(三)承攬工作之完成,可能為有形之結果,亦可能為無形之結



果,故若承攬之工作較為複雜且多階段者,承攬之範圍應 不僅限於工作物之完成,尚包括完成工作物過程中一定勞 力之付出(無形結果),故若有多數人對於承攬工作物加 以分工,例如設備裝置(Parts :例如設備之真空幫浦, 前端作業)提供,設備裝置之組裝(Assemble,中端作業 )及系爭設備之維修(後端作業),則應將參與所有過程 之人視為共同承攬人。而依兩造信件往來可知,被告主觀 上係以系爭設備共同承攬人與原告往來,非僅單純提供翻 譯工作,且在完成系爭設備最終驗收測試後,被告亦為負 責提供技術服務之人,顯見被告確有參與系爭設備前端、 中端及後端工作,與APIK為共同承攬人。縱認被告與APIK 並非共同承攬人,惟被告與原告曾以口頭約定之方式與AP IK一同負責完成系爭設備,此由兩造往來信件中,被告不 僅以自身為主體向原告確保系爭設備將會在一個良好的狀 態,亦答覆原告關於系爭設備運轉及裝置問題,並曾傳達 APIK之意見等情,顯見被告就系爭設備之完成或有「共同 參與」或有「經APIK之授權」,故被告應依民法總則施行 法第15條規定與APIK負連帶責任。
(四)綜此,系爭設備經測試後有如上所述之產品刮傷、靶材熔 毀、零組件規格不符之情形,係系爭設備完全無法運作使 用,與系爭契約所預訂之效用不同,顯有嚴重瑕疵,且屬 可歸責連帶債務人事由而違反債之本旨,致原告受有履行 利益之損害。經原告一再催告請求修補,被告既已明示拒 絕修補瑕疵,原告自得依民法第494 條、第227 條規定向 被告解除契約,並請求回復原狀,故被告應與APIK連帶返 還原告前後3 次以約定報酬1,750,000 歐元之85%結匯時 之匯率計算,分別為29,176,000元(700,000 歐元,賣出 匯率41.68 )、21,771,750元(525,000 歐元,賣出匯率 41.17 )、10,374,000元(262,500 歐元,賣出匯率39.5 2 ),並加計原告派訴外人徐春祺張尚民至德國進行寄 送前檢驗系爭設備之費用137,607 元(包括機票一人來回 各50,000元、徐春祺住宿及其他雜項費用26,998元、張尚 民住宿及其他雜項費用10,609元),合計61,459,357元。(五)並聲明:
⑴被告應給付原告61,459,357元及自起訴狀繕本送達之日起 至清償日止,按年息5%計算之利息。
⑵願供擔保,請准宣告假執行。
二、被告則以:民法總則施行法第15條,所謂行為人係以該外國 法人之名義與他人為負義務之行為而言,且須外國法人有責 任時,行為人始有連帶賠償責任可言。是外國法人之損害賠



償責任在本件中有優先調查之必要性,嗣APIK之賠償責任成 立始為追究被告要否負連帶賠償責任之前提。依原證7 所示 之產品驗收單,其中附表一,原告檢測人員徐春祺除目測及 尺量測之外觀檢視外,尚使用電錶量測確認、Running Test 、點檢及動作確認、傳送測試等較為仔細地確認檢驗方法, 且在鑑驗後均填寫「OK」並署名以示負責。是原告就驗收簽 署之部分自應負合法受領標的物之責任,不得就已驗收之機 具部分再行爭執。況被告並非系爭設備之共同承攬人,亦非 民法總則施行法第15條之使用人。被告一直係協助本件契約 履行之地位,並非契約當事人,不僅未有以自己名義與原告 成立任何契約形式,亦未曾假APIK之名義與原告進行任何法 律行為。被告即便有權利義務亦係基於與APIK之保固契約而 生,且該契約被告亦尚未回簽生效。原告主張被告為系爭契 約當事人一節不僅欠缺證據相佐,亦與事證有違,且對於被 告是否有單獨履約行為及是否有以APIK名義為法律行為一事 復未舉證以實其說,原告之訴顯無理由等語置辯。並聲明: ⑴原告之訴及假執行之聲請均駁回。⑵如受不利之判決,願 供擔保請准宣告免為假執行。
三、兩造不爭執事項:
(一)原告與APIK於100 年3 月17日訂立系爭設備客製化機械設 備採購契約(原證五、附件16),約定交貨日期為100 年 8 月31日,報酬為1,750,000 歐元,最終式樣書為第11.5 版(Specification For Roll Coaster Type EREZ650/3 Version 11.5,原證3 、33、附件2 ),原證33最終式樣 書上有訴外人APIK之蘇佑宇及訴外人原告公司林世堯之簽 名,採購契約上僅有原告及APIK之簽名,並無被告之簽名 。原告與APIK所簽署之最終式樣書中附有被告所出具對於 系爭設備之保固服務提案(Customer Support Proposal for YoungFast Roller Coater Type EREZ 650/3Project Version 2.0 ,原證2 ,本院卷一第35-42 頁、原證33, 本院卷二第66-73頁)。
(二)原告業將系爭契約所約定之價金於如附表一所示之時間給 付如附表一所示之數額與APIK收受,總計1,487,500 歐元 。依採購契約所約定之付款方式,剩餘15% 價金約定應在 最終驗收測試(Final Acceptance Test , FAT )簽署後 押匯(原證五)。
(三)原告與APIK曾就系爭設備可否改為銅製程進行討論,APIK 曾出具升級系爭MAM 製程之設備為銅製程之報價單,需追 加355,500 歐元,且零件設備之供貨範圍須更改部分零件 部位如附表二升級為銅製程之報價單內容及本院卷一第64



頁報價單表格所載,惟原告與APIK並未對升級為銅製程之 報價單達成合意,最終仍維持MAM 製程(原證七,見本院 卷一第62-65頁)。
(四)於101 年1 月至3 月間測試系爭設備時,發生靶材熔毀及 鍍膜表面刮傷之情形,如原證16、39、41照片所示,直至 APIK離開前,系爭設備所生產出之成品仍有鍍膜表面刮傷 之問題。
(五)最終式樣書第2.4 項為靶材條件,靶材之尺寸及規格係由 APIK提供圖面規格與原告。
(六)系爭設備所使用之零件部位之規格、型號如最終式樣書第 4 條供貨範圍(SCOPE OF DELIVERY )所載,而APIK所交 付之系爭設備所使用之零件部位,有如附表二所載與最終 式樣書所約定之供貨範圍不同之情事。又最終式樣書第4 條及第4. 1.1項亦約定系爭設備不可使用黃銅材質、所有 滾輪須施以硬化層處理、出料的真空腔體(vacuumchambe r ofunwind)須設有視窗玻璃(viewing glasses )。(七)原告於101 年7 月10日寄發中壢建國路郵局第882 號存證 信函催告APIK應於兩週內修補系爭設備規格不符及成品鍍 膜表面刮傷之瑕疵,APIK迄今仍未修補。
四、本件之爭點為:(一)原告主張被告與APIK為共同契約當事 人,而應與APIK負連帶責任有無理由?(二)倘被告非共同 契約當事人,被告應否依民法總則施行法第15條與APIK負連 帶損害賠償責任?(三)若原告主張有理由,原告得請求之 數額若干?析述如下:
(一)被告並非系爭契約之共同契約當事人:
1、原告主張被告與APIK共同承攬系爭設備,由被告與APIK共 同提供工作物之全部材料之承攬前端工作後,APIK提供組 裝技術之承攬中端工作後,移轉財產上所有權予原告,再 由被告提供維修技術之承攬後端工作云云,固據其提出系 爭設備簡圖、系爭設備初步設備規格書、報價單、售後服 務及相關資料、系爭設備規格書最終確認版本、報價單、 系爭契約、匯款記錄、電子郵件、會議紀錄等件為證,然 參諸系爭設備之採購契約上僅有原告及APIK之簽名,而原 證33最終式樣書亦僅有APIK業務經理蘇佑宇及原告公司工 程師林世堯之簽名;原告就系爭設備詢問可否改為銅製程 一事,係由APIK出具升級系爭MAM 製程之設備為銅製程之 報價單予原告;系爭契約之總價金85% 共1,487,500 歐元 亦係匯予APIK等節,為兩造所不爭執(見兩造不爭執事項 第1 、2 、3 點),足見有關系爭設備之重要商業交易文 件均無被告之簽名。再佐以原告於100 年3 月10日出具之



意定書(LETTER of INTENT)中對象僅有「APIK」,於支 付系爭契約報酬之預付應付憑單中關於供應廠商欄位亦僅 載明「APIK」而已,均隻字未提及被告(見本院卷一第60 頁、第84頁、第93頁、第140 頁),則原告主張被告與AP IK係系爭契約之共同契約當事人一節,已非無疑。 2、原告雖再以被告實際參與系爭設備保固提案服務,且其與 被告之往來電子郵件中,被告主觀上係以系爭設備之共同 承攬人與原告往來,非單純提供翻譯工作云云,並提出保 固服務提案、電子郵件等件為憑。惟查,APIK之業務部經 理蘇佑宇(DANIEL SU )曾於100 年1 月20日寄發電子郵 件暨最初報價單、最初規格書、機械規格清單、被告保固 服務提案、驗收規格清單等件予原告副理張尚民、工程師 林世堯、陳柏榮等人,此有原告提出之上開電子郵件在卷 可參(見本院卷一第19-42 頁),原告則依此為據與APIK 於100 年3 月17日訂立系爭設備之機械設備採購契約,是 APIK係以自己名義與原告成立系爭契約,應可認定。而被 告曾於上開APIK簽署之最終式樣書中出具系爭設備之保固 服務提案(Customer Support Proposal for YoungFast Roller Coater Type EREZ650/3 Project Version 2.0, 見本院卷一第35-38 頁),此雖為被告所不爭執,惟被告 上開保固服務(Customer Support)僅係提案(Proposal )而已,被告尚未依上開提案與APIK簽定保固協議,亦有 被告提出之Service Agreement 在卷可佐(見本院卷一第 137 頁)。復有APIK於102 年3 月13日出具之聲明略為: 「APIK前獲YFO (即原告)訂單一紙。台灣萊寶亞太光電 有限公司(即被告)有意承接本單的服務及備品業務,萊 寶因此參與YFO 在台的安裝及調適作業。APIK及萊寶間無 合約或義務存在,萊寶亦非APIK代理,雙方之間無付款、 服務費或任何協議的存在。萊寶僅為台灣YFO 本案諸多類 似廠商之一。」(見本院卷一第251 頁、卷四第122 頁背 面)。APIK復於102 年5 月20日具狀答辯略稱:「…4.AP IK與台灣萊寶亞太光電有限公司(LOT ,即被告)無合約 關係,LOT 並非APIK代理。APIK未曾付款給LOT 。」,此 有APIK答辯狀及原告所提出之相關中譯本在卷可參(見本 院卷一第183-186 頁、卷四第89頁)。是被告辯稱其僅係 與APIK約定將來承作APIK對原告之保固,故協助APIK履行 系爭契約,嗣因故而未能與APIK成立保固服務契約,並非 系爭契約之共同契約當事人,尚堪採信。又被告總經理王 凱民曾於100 年7 月2 日傳送電子郵件予原告副理張尚民 、工程師林世堯等人,惟內文中載:「Enclosed is from



API K the revised schedule(隨函覆上APIK更新後的時 間表)…」(見本院卷三第117 頁)、100 年7 月6 日之 電子郵件則為:「Reply from APIK …」(見本院卷一第 70頁)、100 年7 月10日之電子郵件則為:「I discusse d with APIK GM Rainer regarding your concerns . APIK is strongly interested to establish a long-te rn cooperation with YFO …(我與APIK總經理Rainer討 論過你的想法。APIK很想與洋華建立長期合作關係…)」 (見本院卷一第75頁)、100 年9 月3 日之電子郵件:「 I am sorry that APIK is not ready to run the Cu process test at this moment in Germany…」(見本院 卷一第79頁);原告工程師徐春祺甚於100 年10月31日傳 送電子郵件予被告駐廠經理邱縱釗,表示:「…請貴司協 調APIK將delay 的進度追回,務必要在本週完成相關硬體 安裝…」見本院卷一第288 頁背面),又於101 年2 月6 日傳送電子郵件予APIK及被告業務處長翁楷、駐廠經理邱 縱釗等人表示:「APIK先前提出之schedule,看起來已經 跳票了!APIK何時可以提出解釋及後續裝機計劃?…以下 幾個問題請協助向APIK確認…APIK要如何改(原文誤繕為 「己」)善?…APIK要如何處理?…。」(見本院卷一第 100 頁),依上開電子郵件內容以觀,被告均係代APIK傳 達或為聲明及陳述,此復為原告所明知,尚難認被告係以 契約相對人自居。
3、原告雖另以被告曾派員出席100 年10月22日、同年11月4 日、同年11月29日三方會議,被告或保證系爭設備將於10 0 年12月4 日完成試車,或承諾將提供Daily updated re port予原告,故被告應為共同契約當事人云云。惟觀諸上 開會議,被告雖均有派員出席,然依上開期日會議紀錄所 載(見本院卷一第86-89 頁、第281-286 頁),多原告與 APIK就系爭設備安裝細節進行討論,或係原告課予APIK義 務,如「APIK表示裝入機台內部後不會有損傷…APIK人員 認為此設備會造成ITO 表面damage故並未安裝…APIK人員 確認只有一顆TP在安裝上會有高度不足的問題…。」、「 APIK聲明:此類問題應屬上層回答,非裝機人員回答…銅 靶已於德國倉庫,Rainer(即APIK法定代理人)必須知道 假使沒退回之餘,他才會寄予貴司(指原告)…。」、「 APIK應於12/1完成下列事項,洋華才同意簽hardware set up費用(總費用之15% )…」,而被告雖依100 年11月29 日會議,自101 年1 月12日至同年月17日提供Daily upda ted report給原告,有電子郵件暨日誌在卷可憑(見本院



卷第297-306 頁),然依該日會議所載「APIK回覆pre-tr eatment 將於12/2以空運方式寄出,設備安裝及測試需要 一天的時間,(12/16 )前測試完成,目前設備已到德國 測試發現疑似有問題,APIK會每日update進度…」,可知 系爭契約履約過程每日須向原告報告進度者仍為APIK,並 非被告,被告僅係代APIK傳送日誌,承此,縱被告依會議 決議須提供日誌予原告,系爭契約之相對人仍為APIK,被 告並非因此即成為系爭契約之相對人,原告前揭主張,亦 屬無據。
4、原告雖主張被告公司業務經理王凱民100 年8 月30日、同 年月31日之電子郵件中就本身可得決定部分,以「I 」為 開頭,就與APIK共同作業部分,則以「WE」開頭,可見被 告並非僅從事翻譯工作,又王凱民於100 年7 月2 日、同 年月7 日亦曾針對系爭設備用於銅製程及技術更改問題回 復原告,佐以被告客觀上有實際參與系爭設備提案服務、 規格討論、裝機服務,並提供真空幫浦零件組裝,甚至保 證將依原訂規格書完成驗收,可見被告就系爭契約具有相 當程度之決定權,當屬契約之當事人云云。然查,被告並 未簽署系爭契約中之任何相關重要文件,業經論述如前, 契約之當事人應於100 年3 月7 日系爭契約締結當時即已 確定為原告及APIK,縱使被告公司人員於電子郵件分別曾 以「I 」及「WE」為主語回覆電子郵件提及系爭設備之狀 況或修復問題,亦僅為被告於系爭契約履約過程中扮演協 助APIK履約之角色而已,究非謂契約當事人業經變更,不 能以之遽認被告即為系爭契約之當事人,原告前揭主張, 並無足取。
5、綜上可知,被告於原告與APIK間就系爭契約之履約過程僅 為翻譯、協調,即協助履約之角色,堪認被告前揭所辯應 屬可採。更何況,上開商業交易文件(Purchasing Agree ment)關於協議的一方(Parties )、原告出具之意定書 (LE TTER of INTENT )、最終式樣書之製作者、賣匯水 單之受款人及原告公司自行製作之轉帳傳票所列供應廠商 之記載,皆係APIK,無一記載為被告,APIK亦明確聲明其 與被告間無合約關係、被告非APIK代理,APIK亦未曾付款 予被告,而被告員工與原告聯繫時,均係以轉達APIK意見 自居,而非以被告之獨立名義與原告為交易行為,被告所 辯其並非系爭契約之共同契約當事人,應屬可信。是以, 被告既非與原告為系爭契約交易相對人,原告依民法第49 4 條、第227 條規定請求被告返還已給付之承攬報酬及派 遣員工赴德國檢驗系爭設備之相關損失共計61,459,357元



,即屬無據。
(二)原告依據民法總則施行法第15條之規定,請求被告負連帶 責任,亦無理由:
1、按未經認許其成立之外國法人,以其名義與他人為法律行 為者,其行為人就該法律行為,應與該外國法人負連帶責 任,固為民法總則施行法第15條所規定。但所謂行為人係 指以該外國法人之名義與他人為負義務之法律行為者而言 ,最高法院26年上字第622 號判例可資參照。是以,必須 行為人曾以未經認許其成立之外國法人之名義,與他人為 法律行為,其行為人就該法律行為始應與該外國法人負連 帶責任。
2、經查,APIK與原告交易時,既均係以自己之名義,亦未授 與被告代理權而使其與原告為系爭契約之法律行為,被告 亦非系爭契約之相對人,已詳如前述。被告於原告與APIK 間就系爭契約之履約過程既係以自己名義協助履約,而未 以APIK之名義為任何法律行為,則原告依民法總則施行法 第15條,請求被告與APIK就原告因解除系爭契約,APIK應 返還報酬及相關損失61,459,357元債務負連帶責任,即屬 無據。
五、綜上所述,被告並未與APIK共同承攬系爭契約,被告亦無以 APIK之名義與原告為法律行為,則原告依民法第494 條、第 227 條及民法總則施行法第15條規定提起本訴,並聲明被告 應給付原告61,459,357元及自起訴狀繕本送達翌日起,按年 息5%計算之利息,均無理由,應予駁回。其假執行之聲請, 亦皆失所附麗,應併予駁回。
六、本件事證已臻明確,兩造其餘攻擊防禦方法及所提證據,經 審酌,核與本件判決結果不生影響,爰不另一一論述,附此 敘明。
七、訴訟費用負擔之依據:民事訴訟法第78條。中 華 民 國 105 年 1 月 8 日
民事第二庭 法 官 劉佩宜
法 官 林文慧
法 官 何宗霖
正本係照原本作成。
如對本判決上訴,須於判決送達後二十日內向本院提出上訴狀。如委任律師提起上訴者,應一併繳納上訴審裁判費。中 華 民 國 105 年 1 月 11 日
書記官 許婉茹
附表一:
┌──┬───────┬───────────┬────┐




│編號│時間 │數額(歐元) │卷證資料│
├──┼───────┼───────────┼────┤
│1 │100 年3 月18日│700,000 (總價金40%)│原證6 │
├──┼───────┼───────────┼────┤
│2 │100 年9 月21日│525,000(總價金30%) │原證12 │
├──┼───────┼───────────┼────┤
│3 │100 年12月6日 │262,500 (總價金15%)│原證15 │
└──┴───────┴───────────┴────┘
附表二
┌─┬────────────┬────────────┬────────┬──────────┐
│編│系爭設備零件部位 │最終式樣書內容 │升級為銅製程之報│系爭設備目前所使用之│
│號│ │ │價單內容 │零件部位 │
├─┼────────────┼────────────┼────────┼──────────┤
│1 │鍍膜用靶機(Rotatable │Bekaert custom. 750/150R│不變 │SCI 950/150R │
│ │DC-driven sputtering │ │ │ │
│ │Cathode) │ │ │ │
├─┼────────────┼────────────┼────────┼──────────┤
│2 │質流控制器 │ │不變 │ │
│ │(MFC Ar │Bronkhorst EL-FLOW │ │(M+W Instruments )│
│ │ MFC O2) │Bronkhorst EL-FLOW │ │MASS-STREAM D6311DR │
│ │ │ │ │(M+W Instruments )│
│ │ │ │ │MASS-STREAM D6311DR │
├─┼────────────┼────────────┼────────┼──────────┤
│3 │直流電源供應器(DC power│AE Pinnacle 10KW │Ascent DC Power │Ascent DC Power │
│ │supply) │ │Supplies 60KW │Supplies 60KW │
└─┴────────────┴────────────┴────────┴──────────┘

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參考資料
台灣萊寶亞太光電有限公司 , 台灣公司情報網
洋華光電股份有限公司 , 台灣公司情報網
台灣布勒有限公司 , 台灣公司情報網