智慧財產法院行政判決
103 年度行專訴字第63號
民國104 年3 月12日辯論終結
原 告 聖凰科技股份有限公司
代 表 人 周傳華
訴訟代理人 劉法正律師
楊祺雄律師
複 代 理人 孫德沛律師
被 告 經濟部
代 表 人 鄧振中（部長）
訴訟代理人 陳力瑄
參 加 人 蘇裕詮
上列當事人間因發明專利舉發事件，原告不服經濟部中華民國
103 年5 月20日經訴字第10306103150 號訴願決定，提起行政訴
訟，本院判決如下：
主 文
訴願決定撤銷。
訴訟費用由被告負擔。
事實及理由
一、原告提起本件行政訴訟時，被告之代表人原為張部長家祝， 嗣變更為杜部長紫軍，再變更為鄧振中，原告聲明承受訴訟 ，核無不合，應予准許。
二、事實概要：
原告前手李○○前於民國（下同）96年4 月18日以「晶圓密 封供氣設備之氣體檢測裝置」向原處分機關經濟部智慧財產 局（下稱智慧局）申請發明專利，申請專利範圍共4 項，經 該局審查，准予專利，發給發明第I327755 號專利證書（下 稱系爭專利）。嗣經申准將該專利權讓與原告，而後參加人 以該專利有違核准時專利法第22條第4 項規定，不符發明專 利要件，對之提起舉發。案經智慧局審查，於102 年11月12 日以102 智專三㈡04024 字第10221540430 號專利舉發審定 書為「請求項1 至2 舉發成立應予撤銷。請求項3 至4 舉發 不成立。」之處分。參加人不服，針對上述舉發不成立部分 之處分提起訴願（對舉發成立部分，原告另提起訴願及行政 訴訟），經訴願機關為「原處分撤銷，由原處分機關另為適 法之處分。」之訴願決定，原告不服，遂提起本件行政訴訟 。本院因認本件訴訟之結果對於參加人之權利或利益將有影 響，乃依行政訴訟法第42條第1 項規定，依職權裁定命參 加人獨立參加本件被告之訴訟。
二、原告主張略以：
㈠本件訴願決定有未依系爭專利核准時專利法及「專利審查基 準」審查之違法：
⒈證據3 之量測室作用在於提供安裝空間供感應器作用，以 形成煙霧偵測器，證據3 揭露一種用於烹飪食物機器，而 系爭專利申請一種晶圓供氣設備的氣體檢測裝置，兩者無 論是必要元件，或者元件相對關係都完全不同，兩案在技 術關聯性及解決的問題均完全不同，訴願決定以證據3 已 揭露系爭專利請求項3 所界定之氣體檢測裝置的氣室及氣 體感測器，不僅違反進步性判斷時必須將發明所欲解決的 問題、解決問題之技術手段及達成功效作整體考量的判斷 原則，該項決定理由與事實不符，難謂適法、客觀。 ⒉被告將系爭專利請求項3 所界定之氣室視同為證據3 之量 測室，亦非的論。系爭專利之氣室的作用在於形成一穩定 之氣體容置空間，證據3 之量測室的作用在於提供安裝空 間供感應器安裝在其內部，以形成煙霧偵測器，兩者作用 並不相同，故被告所為，系爭專利請求項3 之氣室已為證 據3 之量測室所揭露之決定理由，認事明顯錯誤、不符合 事實。
⒊被告將系爭專利請求項3 所界定之氣體感測器，視同為證 據3 之感應器（煙霧偵測器）的決定理由，亦與事實不符 ，系爭專利請求項3 之氣體感測器與證據3 之感應器（煙 霧偵測器），兩者作用及與其他必要元件的連接關係皆不 相同，訴願決定謂「系爭專利於氣室41中設氣體感測器42 藉以感測氣室41中之氣體狀態，已為證據3 於量測室16中 設感應器30偵測量測室16的煙霧等所揭露」等情，認事亦 明顯錯誤，不符合事實。
㈡被告審認系爭專利請求項3 所界定之氣體檢測裝置的旁通閥 已為證據4 所揭露的決定理由，有未依系爭專利核准時專利 法及「專利審查基準」審查之違法：
⒈晶圓盒為可移動拆換之空間，故氣體偵測器不可能組裝於 該晶圓盒空間中，故從以往晶圓密封供氣設備的使用情況 分析，被告將系爭專利之晶圓盒與氣室視為一體之決定理 由，明顯與晶圓密封供氣設備之使用情況不符。 ⒉系爭專利請求項3 之界定，晶圓盒與氣室必須彼此分開的 兩個獨立元件，被告不當且過度的聯想，當保護氣體進入 該開口晶圓盒後，該開口晶圓盒中原本的氣體可經由該氣 壓平衡閥以及該排氣口排出該開口晶圓盒。顯然系爭專利 之旁通閥與其他元件的相對關係及產生的功效都和證據4 不同。綜上比較說明可知，證據4 並未揭露系爭專利請求 項3 所界定「在排氣管路31上於氣室41後依序設置旁通閥
43及控制閥32」之技術特徵，重要的是證據4 完全未揭示 當開口晶圓盒因抽氣動作造成之負壓大於保護氣體源之氣 體輸出壓力時，氣壓平衡閥可以引入外部氣壓，以使開口 晶圓盒空間內之氣壓與外部環境氣壓保持一致，進而可以 防止開口晶圓盒100 因負壓而內凹變形損壞的功效， ㈢依智慧局公布之「專利審查基準」第2-3-5 頁、第2-3-19頁 及第2-3-20頁所載內容可知，審查進步性時，應以引證文件 中所公開之內容為準：證據4 並未明確公開「當該開口晶圓 盒100 因抽氣動作造成之負壓大於保護氣體源之氣體輸出壓 力時，氣壓平衡閥可以引入外部氣壓，以使開口晶圓盒100 空間內之氣壓與外部環境氣壓保持一致」之技術內容，證據 4 並未公開該技術內容，被告卻據之以決定系爭專利請求項 3 不具進步性，當然有未依系爭專利核准時專利法及「專利 審查基準」審查之違法。
㈣被告對於系爭專利請求項3 專利權範圍的解讀有誤，依此作 出系爭專利請求項3 不具進步性之訴願決定，理應有未依系 爭專利核准時專利法第56條第3 項及「專利審查基準」審查 之違法，同時違反行政程序法第9 條及第43條規定： ⒈訴願決定理由對於系爭專利請求項3 之氣室、旁通閥的作 用隻字未提，被告完全未參考系爭專利說明書所載氣室、 旁通閥的作用，已明顯違反系爭專利核准當時專利法第56 條第3 項規定。在解釋系爭專利請求項3 之範圍時，不應 僅侷限於系爭專利請求項3 所界定「氣體檢測裝置40包括 氣室41、至少一氣體感測器42及旁通閥43」之字面意義， 實際上還應該參考系爭專利之發明說明及圖式，以瞭解氣 體檢測裝置40之目的、作用及效果。據上所述，在解釋、 確定系爭專利請求項3 之範圍時，實應參考系爭專利說明 書所載之氣室及旁通閥的目的、作用及效果，方符合系爭 專利核准時專利法第56條第3 項規定，被告未參考系爭專 利說明書所載氣室及旁通閥的作用，對於解釋、確定系爭 專利請求項3 之範圍確實有誤，依此錯誤基礎作出系爭專 利請求項3 不具進步性之訴願決定，當然亦屬錯誤。 ⒉原告於舉發程序之答辯理由書一再強調系爭專利之氣室與 證據3 之量測室的作用不同，系爭專利之旁通閥與證據4 之氣壓平衡閥作用不同，惟訴願決定理由對於原告上述主 張隻字未提，被告既未注意對於原告有利之情形，亦未將 不認同原告主張之心證理由詳載於訴願決定書，訴願決定 不僅違反行政程序法第9 條所規定之利益平衡原則，亦理 應有理由不備違反行政程序法第43條規定之違法。 ㈤依據「專利審查基準」之進步性審查原則，系爭專利之請求
項3 、4 皆未違反核准時專利法第22條第4 項之規定： ⒈系爭專利不僅與證據3 之間無共通的技術特徵，證據2 、 4 及證據3 也分屬不相同的技術領域，故被告將技術領域 不同且不相關之證據2 及證據3 、4 組合，並因此作出系 爭專利之請求項3 、4 不具進步性之決定理由，確實違反 「專利審查基準」所載之進步性判斷原則，應撤銷訴願決 定，方稱適法。
⒉承上所述，系爭專利與證據2 、證據3 、證據4 除所欲解 決之問題不同之外，其技術領域也完全不同，此外，系爭 專利請求項3 之氣體檢測裝置也不屬於公知常識，或見於 系爭專利申請前已公開之其他文件，或屬於該領域之通常 知識，則依進步性判斷原則，該發明所屬技術領域中具有 通常知識者並無合理的動機組合證據2 、3 、4 。 ⒊依智慧局之「專利審查基準」對於技術內容之組合是否明 顯之判斷原則說明，證據2 、3 、4 之組合皆非明顯，依 據進步性之審查原則，不能將證據2 、3 、4 進行組合用 以判斷系爭專利是否能輕易完成，則被告將證據2 、3 、 4 進行組合並作出系爭專利請求項3 不具進步性之決定， 不僅違反「專利審查基準」所載之進步性判斷原則，也理 應落入進步性判斷上嚴格禁止之「後見之明之組合」。即 使組合證據2 、3 、4 ，其本質與系爭專利請求項3 所界 定之必要技術特徵仍有不同，故本發明所屬技術領域中具 有通常知識者，理應無法由證據2 、3 、4 所公開之內容 輕易完成系爭專利請求項3 。
⒋系爭專利請求項3 相較於證據2 、3 、4 具有可以測得較 為穩定精準之氣體濃度狀態，該等功效並非由證據2 、3 、4 可預期獲得，系爭專利請求項3 相較於證據2 、3 、 4 之組合具有進步性。
⒌系爭專利請求項4 直接依附具備進步性之請求項3 ，故系 爭專利請求項4 相較於證據2 、3 、4 之組合，也具備有 進步性等語；並聲明：訴願決定撤銷。
三、被告答辯略以：
㈠系爭專利請求項3 之部分：
本件之爭點在於請求項3 另界定「一旁通閥43，係組設於該 氣室41後置位置之排氣管路31上，藉以令該氣室41以及晶圓 盒20空間內之氣壓得與外部環境氣壓保持一致者。」之技術 特徵是否為證據4 所揭露？而查
⒈系爭專利請求項3 所界定之旁通閥可以讓氣室及晶圓盒空 間內之氣壓得與外部環境氣壓保持一致之技術特徵，與證 據4 所揭示的前開口晶圓盒與氣壓平衡閥相較，僅在於系
爭專利增加氣室之差異，惟氣室的設計目的是為氣體檢測 器，由於晶圓盒與氣室相通，故可將晶圓盒與氣室視為一 體，透過旁通閥可同步調節其內部之壓力與外部環境氣壓 相同，此功能與證據4 之氣壓平衡閥相同。
⒉證據4 說明書第8 頁「氣壓平衡閥202a、202b、202c、 202d皆可允許氣體經由其進入前開口晶圓盒100 以及洩出 前開口晶圓盒100 中過多的氣體。」、說明書第9 頁「開 口晶圓盒100 與承載基座300 結合後，進氣口302 與氣壓 平衡閥202a連接，且進氣口302 亦與一保護氣體源連接， 藉此將保護氣體源提供之氣體經由進氣口302 輸入該開口 晶圓盒100 ，排氣口304 係與氣壓平衡閥202b連接，當保 護氣體進入開口晶圓盒100 之後，開口晶圓盒100 中原來 的氣體可經由氣壓平衡閥202b以及排氣口304 排出開口晶 圓盒100 。」及說明書第10頁「晶圓承載件本身即有將容 置於其中的晶圓與污染物隔開之功能，且具有多個氣壓平 衡閥以平衡晶圓承載件中的氣體壓力。」業已揭示氣壓平 衡閥202a、202b、202c、202d可以用來達到內外部壓力平 衡的狀態，即氣壓平衡閥可以達到晶圓盒內部壓力與外部 壓力保持一致的效果。且旁通閥之設計為所屬技術領域中 習知之裝置，參加人於言詞辯論時復未否認。是以，證據 4 已揭露系爭專利請求項3 旁通閥之技術特徵及所欲達成 之功效。
⒊依上所述，系爭專利請求項3 之技術內容為所屬技術領域 中具有通常知識者依證據2 、3 、4 的技術內容所能輕易 完成者，自不具進步性。
㈡系爭專利請求項4 之部分：
⒈系爭專利請求項4 係界定「依據請求項3 所述之晶圓密封 供氣設備之氣體檢測裝置，其中所述氣體感測器40係可藉 以感測該氣室41中所含氮氣或鈍氣之濃度；亦或者可藉由 該氣體感測器40之設置，達到偵測是否有氣體導入錯誤情 形之偵錯功能者。」等技術特徵。
⒉證據3 所揭露之氣體偵測器為氣體感測器，是所屬技術領 域中具有通常知識者，能依申請前之證據3 的技術內容輕 易完成系爭專利請求項4 之技術內容。又證據2 、3 、4 之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性，已如前述 ，自亦足以證明系爭專利請求項4 不具進步性。 ㈢原告所訴並不足採，被告就智慧局關於請求項3 及4 舉發不 成立之處分部分所為應予撤銷之決定，應無違誤等語；並聲 明：原告之訴駁回。
四、參加人陳述略以：
㈠原告稱系爭專利氣室的設置作用是形成一穩定的氣體容置空 間，而可將晶圓盒的排氣管路中的氣體導入氣室，才能以氣 室的氣體感測器準確測量氣體濃度。事實上系爭專利在其說 明書發明內容及實施方式談及氣室後置位置之排氣管路上組 設旁通閥，才能讓氣室與晶圓盒內之氣壓與外部環境壓力保 持一致，並非原告所述氣室是用於穩定氣體的容置空閥。又 熟悉系爭專利技術領域中通常知識者以流體力學來探討系爭 專利氣室的設置作用，是可透過流體管路的管徑尺寸大小的 改變是會改變於流體管路內部的壓力。因為流體管路不同的 截面積會有不同流速，而且截面積小的流速快而且壓力小， 截面積大的流速慢且壓力大。原告一再強調氣室是為了形成 穩定的氣體容置空間，實為流體管路所屬技術領域中通常知 識者中所具備的基本知識。況且證據3 圖式中爐具10與量測 室16之管46、排出管50等繪圖比例上同樣是將量測室16設計 呈截面積大於管46與排出管50，所以根據前述流體力學概念 來說，證據3 亦能揭示被告一再強調氣室的設置作用是形成 一穩定氣體容置空間。
㈡系爭專利是晶圓供氣設備之氣體檢測裝置，證據3 是烹飪裝 置之氣體感應設備，兩者雖所屬之技術領域不同，但同樣有 氣體檢測器的共通技術特徵，再者，系爭專利氣體檢測裝置 亦與晶圓合相互連通，證據3 之量測室與烹飪裝置相互連通 ，兩者構造相同，又氣體流向、測量方式及量測功效亦同， 證據3 同樣能發揮系爭專利請求項3 所界定檢測氣體狀態功 能，當然可以認定證據3 為系爭專利之先前技術。另可由系 爭專利說明書第9 頁第1 段最後1 行所記載「..藉由該氣體 感測器42進行該氣室41內部氣體W 之狀態檢測者..」，與證 據3 說明書第9 頁第2 段第5 行所記載「煙霧及/ 或氣體偵 測器係與量測室相連接以測量所要的煙霧及/ 或氣體參數」 來比較，同樣都是針對充填有待測氣體的氣室空間內進行氣 體的檢測，由此可知系爭專利與證據3 有著共同偵測氣室內 氣體的技術特徵，達到檢測氣體狀態的功能，所以證據3 依 照原證3 審查基準2-3-22頁確定相關先前技術考量事項中， 是可以認定為系爭專利的相關先前技術。
㈢原告於起訴狀提及「系爭專利之氣體感測器42的作用在於量 測晶圓密封供氣設備A 的正確氣體濃度狀態，意即該氣體感 測器42的作用在於量測出氣體濃度的絕對值」。綜觀系爭專 利說明亦未見可解釋為絕對值，實質上僅為穩定精確之檢測 值的記載，原告所述測得氣體濃度的絕對值乃擴張系爭專利 原說明書所揭示範圍。對於晶圓盒與氣室視為一體之爭點， 既然系爭專利以說明了晶圓盒與氣室內部壓力可以達到與外
界環境壓力一致之論點，又晶圓與氣室間以排氣管路相通， 在壓力狀態與氣體流通狀態下，將晶圖盒視為一體並未有不 恰當之認定，且兩元件透過組合方式成為一體使用，也是熟 悉該項領域通常知識者可以輕易聯想到的，不會因為拆解多 個元件而有無法預期功效，也可為熟悉該項領域通常知識者 所能依照現有技術簡易變化所達成。
㈣證據4 說明書第2 頁中文發明摘要第1 行所記載內容「本發 明係揭示一種晶圓承載件之承載基座。該晶圓承載件具有一 第一及一第二氣壓平衡閥（pressure balance valve）。該 第一氣壓平衡閥允許氣體經由其進入該晶圖承載件。該第二 氣壓平衡閥係用以洩出該晶圓承載件中過多的氣體。」，由 此可知氣壓平衡閥是為避免晶圓承載件內充填過多氣體所設 置，即在一空間內當充填氣體密度越高會導致內部壓力增加 而晶圓承載件會膨脹變形，因此證據4 是為避免晶圓承載件 內部壓力過大；而系爭專利所界定的防止抽氣裝置的負壓大 於供氣壓力而內凹變形，可見證據4 與系爭專利兩者壓力狀 況相反, 但對於系爭專利所屬技術領域之通常知識者來說在 晶圓盒控制內部壓力是在設計時必然所面臨到問題，因此晶 圓盒不論是輸入或輸出氣體的多寡皆會影響內部氣體壓力， 所以在設計時當然會採用可調節壓力的氣閥以避免失去壓力 平衡導致晶圓盒變形損壞，故熟悉該項領域通常知識者所能 依照系爭專利申請前之先前技術所能輕易完成調節壓力、平 衡壓力等效果。又由證據4 第二氣壓平衡閥名稱命名也是為 避免晶圓承載件壓力所設置，同樣可由證據4 說明書第10頁 第2 至4 行所述「晶圓承載件本身即有將容置於其中的晶圓 與污染物隔開之功能，且具有多個氣壓平衡以平衡晶圓承載 件中的氣體壓力」，由此可知為平衡內部壓力採用氣閥都能 達到系爭專利調整壓力效果。
㈤原告一再強調系爭專利的氣室41與證據3 之量測室16作用不 同，及系爭專利的旁通閥43與證據4 氣壓平衡閥202b作用不 同。惟系爭專利氣室41及證據3 量測室16同樣可供排氣的管 路傳送氣體並充填於此提供感測器進行氣體監測，何來不同 作用之說詞。況氣室41所能提供的穩態量測氣體乃是在排氣 管路31所組接的旁通閥43才能達成，要不然在抽氣裝置30作 動下氣室41會因排氣管路31連通晶圓盒20而形成一體連通的 管道空間，而會有系爭專利說明書第6 頁第4 行先前技術所 提及「管路中之氣體係為流動之不穩定狀態，故氣體偵測器 所檢測到的氣體濃度正確性顯然存在著相當大的誤差值」。 對於系爭專利旁通閥43與證據4 氣壓平衡閥202b同樣是為調 節壓力作用，何來不同作用之差別。系爭專利與證據4 只是
各別針對所呈受的壓力大小而選擇不同型態的氣閥而已，此 乃熟悉該項技術領域通常知識者可以透過先前技術對壓力調 整選擇適當型態氣閥，達到氣體壓力控制而已。 ㈥系爭專利所稱晶圓密封供氣設備有違核准時專利法第26條第 2 項「發明說明應明確且充分揭露，使該發明所屬技術領域 中具有通常知識者，能瞭解其內容，並可據以實施。」，系 爭專利其界定晶圓密封供氣設備A ，並於圖式中也將進、排 氣管路（11、13）設置於晶圓密封供氣設備A ，且旁通閥43 也位於晶圓密封供氣設備A 內，僅有晶圓盒20是裸露於外界 環境之中，要如何在呈現密閉的密封供氣設備A 內讓抽氣裝 置30可以引入外部氣壓？在無法引入外界氣體情況下又怎能 達到系爭專利所稱維持晶圓盒20與氣室41的氣壓與外部一致 ，使晶圓盒不致發生形變？是否在抽氣裝置30持續吸取晶圓 密封供氣設備A內部氣體而導致晶圓密封供氣設備A形態？ ㈦系爭專利請求項3 之技術內容以為證據2 、3 及4 所揭露， 而為其所屬技術領域中具有通常知識者依申請前之先前技術 證據2 、3 及4 揭示所能輕易完成，所以系爭專利請求項4 不具進步性。系爭專利請求項4 所界定技術特徵可由證據3 所揭露氣體偵測器32可感應一氧化碳、二氧化碳、水蒸氣、 數種氣體集中之複合成份，而系爭專利所屬技術領域中具有 通常知識者可以依照申請前的證據3 技術內容輕易完成，所 以證據3 可以揭示系爭專利請求項3 所界定的技術特徵，因 此證據2 、3 及4 的組合可以證明系爭專利請求項3 不具進 步性，證據2 、3 及4 之組合證明系爭專利請求項4 不具進 步性等語。
五、本件適用法律：
㈠上開事實概要欄所述之事實，為兩造所不爭執，並有系爭專 利舉發申請書、舉發理由書（見處分卷第1 至18頁）、智慧 局舉發審定書及訴願決定書（見本院卷第32至55頁）在卷可 稽，堪認為真正。
㈡按「發明專利權得提起舉發之情事，依其核准處分時之規定 。」，專利法第71條第3 項前段定有明文。立法理由係以： 「核准發明專利權之要件係依核准審定時之規定辦理，其有 無得提起舉發之情事，自應依審定時之規定辦理，始為一致 。」。故發明專利舉發情事，依核准處分時專利法規定。查 系爭專利申請日為96年4 月18日，智慧局於99年7 月21日公 告核發專利，依前揭規定，應以核准處分時所適用之92年2 月26日公布，93年7 月1 日施行之專利法（下稱修正前專利 法）規定。
六、本院判斷：
㈠按發明，指利用自然法則之技術思想之創作；又發明為其所 屬技術領域中具有通常知識者依申請前之先前技術所能輕易 完成時，不得依專利法申請取得發明專利，分別為93年專利 法第21條、第22條第4 項所明定；而發明有違反第22條第4 項規定之情事者，任何人得附具證據，向專利專責機關提起 舉發（93年專利法第67條第1 項第1 款、第2 項規定參照） 。準此，系爭專利有無違反同法第22條第4 項所定情事而應 撤銷其發明專利權，應由舉發人（即參加人）附具證據證明 之，倘其證據足以證明系爭專利有違前揭專利法之規定，自 應為舉發成立之處分。
㈡系爭專利技術分析
⒈系爭專利技術內容：
系爭專利係提供一種晶圓密封供氣設備A 之氣體檢測裝置 40，該晶圓密封供氣設備A 包括氣體供應裝置10、抽氣裝 置30、進氣管路11、排氣管路31和控制閥12、32；而該氣 體檢測裝置40係藉以檢測該等管路與晶圓盒20空間中之氣 體狀態；該氣體檢測裝置40包括一氣室41及氣體感測器42 ，該氣室41設有進氣部411 及出氣部412 ，該進氣部411 及出氣部412 與排氣管路31相通，藉以可將該排氣管路31 中之氣體導入氣室41中；復藉所述氣體感測器42感測該氣 室41中之氣體狀態。
⒉系爭專利主要圖式之第1 圖及第2 圖如本判決附圖一所示 。
⒊系爭專利申請專利範圍分析：
系爭專利申請專利範圍共計4 個請求項，其中系爭專利請 求項1 及3 為獨立項，其餘為附屬項，各個請求項之內容 如下。
第1 項：一種晶圓密封供氣設備之氣體檢測裝置，所述晶 圓密封供氣設備係包括一氣體供應裝置、一藉以 連結該氣體供應裝置與晶圓盒之進氣管路、一抽 氣裝置、一藉以連結該抽氣裝置與晶圓盒之排氣 管路，其中該進、排氣管路上並組設有控制閥； 而所述氣體檢測裝置係藉以檢測該等管路與晶圓 盒空間中之氣體狀態，該氣體檢測裝置係包括： 一氣室，該氣室係設有至少一進氣部及一出氣部 ，該進、出氣部外端係與前述排氣管路相連通， 藉以可將該排氣管路中之氣體導入該氣室中；至 少一氣體感測器，藉以感測前述氣室中之氣體狀 態者。
第2 項：依據申請專利範圍第1 項所述之晶圓密封供氣設
備之氣體檢測裝置，其中所述氣體感測器係可藉 以感測該氣室中所含氮氣或鈍氣之濃度；亦或者 可藉由該氣體感測器之設置，達到偵測是否有氣 體導入錯誤情形之偵錯功能者。
第3 項：一種晶圓密封供氣設備之氣體檢測裝置，所述晶 圓密封供氣設備係包括一氣體供應裝置、一藉以 連結該氣體供應裝置與晶圓盒之進氣管路、一抽 氣裝置、一藉以連結該抽氣裝置與晶圓盒之排氣 管路，其中該進、排氣管路上並組設有控制閥； 而所述氣體檢測裝置係藉以檢測該等管路與晶圓 盒空間中之氣體狀態，該氣體檢測裝置係包括： 一氣室，該氣室係設有至少一進氣部及一出氣部 ，該進、出氣部外端係與前述排氣管路相連通， 藉以可將該排氣管路中之氣體導入氣室中；至少 一氣體感測器，藉以感測前述氣室中之氣體狀態 者；一旁通閥，係組設於該氣室後置位置之排氣 管路上，藉以令該氣室以及晶圓盒空間內之氣壓 得與外部環境氣壓保持一致者。
第4 項：依據申請專利範圍第3 項所述之晶圓密封供氣設 備之氣體檢測裝置，其中所述氣體感測器係可藉 以感測該氣室中所含氮氣或鈍氣之濃度；亦或者 可藉由該氣體感測器之設置，達到偵測是否有氣 體導入錯誤情形之偵錯功能者。
㈢參加人提出之舉發證據：
⒈證據2：
⑴證據2 為95年11月11日公告之我國第94122840號「晶圓 盒氣體充填裝置」專利案，其公告日係早於系爭專利申 請日（96年4 月18日），為系爭專利之先前技術。 ⑵證據2 說明書揭示晶圓盒氣體充填裝置之習知設計，是 在一晶圓裝載埠平台10上間隔設置一進氣孔11與一排氣 孔12，其中該進氣孔11透過進氣管線13與一氣體供應裝 置15連接、該排氣孔12則透過排氣管線14與一抽氣裝置 16 連 接；以使晶圓盒20之底座23間隔兩處分別設有一 進氣接頭21與排氣接頭22，該二接頭得於晶圓盒底座23 組置於該裝載埠平台10上時，分別與該進氣孔11及該排 氣孔12相組配連通。
⑶證據2 之晶圓盒氣體充填裝置之習知構造的簡示圖，如 本判決附圖二所示。
⒉證據3 ：
⑴證據3 為92年8 月1 日公告之我國第91102223號「使用
於烹飪裝置之煙霧及/ 或氣體感應設備及方法」專利案 ，其公告日係早於系爭專利申請日（96年4 月18日）， 可為系爭專利之先前技術。
⑵證據3 係一種連結爐具控制組件12之爐具10，爐具控制 組件12包含量測室16、連結爐具內部14及量測室16的傳 送系統18，傳送系統18係以細長金屬管46連接至爐具10 及外殼22之輸入26，開關閥48係放置於管46中，介於爐 具10及量測室16之間，開關閥48連接至控制器20由其控 制開、關運作，量測室16以小型之管狀或盒狀外殼的形 式做為外牆24及做為爐具氣體入口26與氣體出口28，量 測室16 具 備感應器30以形成紅外線煙霧偵測器32，偵 測器32包括紅外線發光二極體（LED ）34及分隔的紅外 線偵測器36，得以偵測通過量測室的煙霧，外殼22包括 爐具氣體入口26 及 爐具氣體出口28及連結至爐具氣體 入口26的管46，排出管50係連接至爐具氣體出口28。 ⑶證據3 之控制組件爐具、量測室概要圖，如本判決附圖 三所示。
⒊證據4 ：
⑴證據4 為96年3 月11日公告之我國第92129053號「晶圓 承載件及晶圓加工方法」專利案，其公告日係早於系爭 專利申請日（96年4 月18日），為系爭專利之先前技術 。
⑵證據4 揭示前開口晶圓盒100 之盒狀外殼102 具有連接 底板112 設於其底部，連接底板112 上設有四個氣壓平 衡閥202a、202b、202c、202d及三個凹槽204a、204b、 204c。氣壓平衡閥202a、202b、202c、202d皆可允許氣 體經由其進入前開口晶圓盒100 以及洩出前開口晶圓盒 100 中過多的氣體。承載基座300 包含進氣口302 、排 氣口304 及三個突起物306a、306b、306c，三個突起物 306a 、306b 、306c用以與前開口晶圓盒100 的底部之 三個凹槽204a、204b、204c卡合，藉此固定前開口晶圓 盒100 與該承載基座300 的相對位置。開口晶圓盒100 與承載基座300 結合後，進氣口302 與氣壓平衡閥202a 連接，且進氣口302 亦與一保護氣體源連接，藉此將保 護氣體源提供之氣體經由進氣口302 輸入該開口晶圓盒 100 ，排氣口304 係與氣壓平衡閥202b連接，當保護氣 體進入開口晶圓盒100 之後，開口晶圓盒100 中原來的 氣體可經由氣壓平衡閥202b以及排氣口304 排出開口晶 圓盒100 。
⑶證據4 之晶圓盒與承載基座結合剖視圖，如本判決附圖
四所示。
㈣參加人提出舉發證據之爭點：
⒈證據2 、3 與4 之組合是否足以證明系爭專利請求項3 不 具進步性？
⒉證據2 、3 與4 之組合是否足以證明系爭專利請求項4 不 具進步性？
㈤對各爭點判斷：
⒈證據2 、3 與4 之組合不足以證明系爭專利請求項3 不具 進步性：
⑴系爭專利請求項3 與證據2 之技術比對如下： ①證據2 第1 圖以及說明書「先前技術」載：「至於上 述氣體充填裝置之習知型態設計，如第1 圖所示，其 大致上，是在一晶圓裝載埠平台（10）上間隔設置一 進氣孔（11）與一排氣孔（12），其中該進氣孔（11 ）透過進氣管線（13）與一氣體供應裝置（15）連接 、該排氣孔（12）則透過排氣管線（14）與一抽氣裝 置（16）連接；以使晶圓盒（20）之底座（23）間隔 兩處分別設有一進氣接頭（21）與排氣接頭（22）， 該二接頭得於晶圓盒底座（23）組置於前述裝載埠平 台上（10 ） 時分別與前述進氣孔（11）、排氣孔（ 12）相組配連通；」等語（見證據2 專利說明書第5 頁，本院卷第136 頁）內容可知，習知晶圓盒20之氣 體充填裝置（等同系爭專利請求項3 之晶圓密封供氣 設備）係包括一氣體供應裝置15、一藉以連結該氣體 供應裝置15與晶圓盒20之進氣管線13（等同系爭專利 請求項3 之進氣管路）、一抽氣裝置16以及一藉以連 結該抽氣裝置16與晶圓盒20之排氣管線14（等同系爭 專利請求項3 之排氣管路），其中該進氣管線13與排 氣管線14上均組設有控制閥（即證據2 第1 圖所示連 結氣體供應裝置15與進氣管線13之構件，以及連結抽 氣裝置16與排氣管線14之構件），故系爭專利請求項 3 之「晶圓密封供氣設備」的「包括一氣體供應裝置 、一藉以連結該氣體供應裝置與晶圓盒之進氣管路、 一抽氣裝置、一藉以連結該抽氣裝置與晶圓盒之排氣 管路，其中該進、排氣管路上並組設有控制閥」技術 特徵為證據2 所揭露。
②證據2 所揭示之習知晶圓盒的氣體充填裝置技術內容 當中，並未設置有可供進行氣體感測之氣體檢測裝置 以及旁通閥等技術內容，故系爭專利請求項3 之「氣 體檢測裝置」以及「旁通閥」等技術特徵非為證據2
所揭露。
⑶系爭專利請求項3 與證據3 之技術比對如下： ①由證據3 專利說明書第9 頁記載：「本發明之較佳控 制組件包括連接傳送系統（例如通道）的量測室，該 傳送系統係相通於烹飪裝置內部及量測室而用以於烹 飪期間傳送所產生的部分煙霧或氣體到量測室。」（ 見本院卷第150 頁）、同說明書第10、11頁記載：「 請參閱圖一，圖一係說明本發明連結爐具控制組件12 之爐具10。廣泛的說，該爐具10為常見的爐具並具有 內部14。該爐具10可藉由一般控制及計時電子裝置所 控制之類的爐具。爐具控制組件12包含量測室16、連 結爐具內部14及量測室16的傳送系統18。控制器20亦 構成為爐具控制組件12之一部分。更詳細的說，在使 用煙霧偵測器之實施例中，該量測室16係以高熱率之 合成樹脂鑄模而成為較佳，且以小型之管狀或盒狀外 殼的形式做為外牆24及做為爐具氣體入口26與相對應 之爐具氣體出口28。」等語（見本院卷第150 頁反面 、第151 頁）可知，證據3 之爐具控制組件12（等同 系爭專利請求項3 之氣體檢測裝置）具有一量測室16 （等同系爭專利請求項3 之氣室），該量測室16係分
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