智慧財產法院行政判決
102年度行專訴字第114號
103年7月9日辯論終結
原 告 羅門哈斯電子材料CMP控股公司
代 表 人 布雷克T.畢德曼（董事長）
訴訟代理人 郭雨嵐律師（兼送達代收人）
呂紹凡律師
輔 佐 人 洪珮瑜
被 告 經濟部智慧財產局
代 表 人 王美花（局長）
訴訟代理人 李聖賢
董必正
參 加 人 劉勝芳
訴訟代理人 彭國洋律師
徐念懷律師
陳翊芬專利師
上列當事人間因發明專利舉發事件，原告不服經濟部中華民國10
2 年9 月12日經訴字第10206106170 號訴願決定，提起行政訴訟
，並經本院裁定命參加人獨立參加本件之訴訟，本院判決如下︰
主 文
原處分及訴願決定均撤銷。
訴訟費用由被告負擔。
事實及理由
一、事實概要：
訴外人羅戴爾股份有限公司（下稱羅戴爾公司）前於民國85 年8 月27日以「拋光墊」（嗣修正為「可用於積體電路晶圓 之拋光墊」）」向經濟部中央標準局（88年1 月26日改制為 智慧財產局）申請發明專利，經該局編為第85110408號審查 ，准予專利，並於公告期滿後，發給發明第97574 號專利證 書（下稱系爭專利）。嗣羅戴爾公司於89年8 月9 日將系爭 專利移轉予原告並核准登記在案。其後參加人以系爭專利申 請專利範圍第1 、3 、4 項有違核准時專利法第20條第1 項 第2 款之規定，對之提起舉發；原告則於99年2 月4 日於另 案（舉發NO2 案）提出申請專利範圍更正本。案經被告審查 ，認系爭專利前揭更正本雖符合審定時專利法第64條第1 項 第1 款及第2 項規定，應准予更正，惟更正後系爭專利仍有 違核准時專利法第20條第1 項第2 款規定，乃以101 年11月 28日（101 ）智專三（三）05053 字第10121338980 號專利 舉發審定書為「舉發成立，應撤銷專利權」之處分。原告不 服，提起訴願，經經濟部於102 年9 月12日以經訴字第1020
6106170 號訴願決定駁回，原告仍不服，遂向本院提起行政 訴訟。因本院認本件判決之結果，將影響參加人之權利或法 律上之利益，依職權命參加人獨立參加本件被告之訴訟。二、原告主張：
（一）證據2 並未揭示系爭專利申請專利範圍1 、3 、4 項「不 具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」之技術特徵，顯非系 爭專利之「相同發明」，自非適格證據：
１、證據2 並未明確揭露「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能 力」之技術特徵，惟原處分竟以不具添加物、具透射性而 錯誤「推論」不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力，顯非 「直接且無歧異得知」，且其推論亦屬有誤：
⑴根據Hanny等人之論文「預成形撓性發泡體之化學硬化（ Chemical Rigidization of Preformed Flexible Foams ）」、美國專利公開第2004/0000000A1號、日本專利公開 第0000-000000 號可知，含有「添加物」可不影響其對光 線的「透射性」，且有「吸收或傳輸淤漿粒子之固有能力 」。
⑵是否含有「添加物」（或是否具有「透射性」）皆與「吸 收或傳輸淤漿粒子之固有能力」無關，並非具有添加物之 聚氨酯即表示具有「吸收或傳輸淤漿粒子之固有能力」， 亦非不具添加物之聚氨酯即表示不具有「吸收或傳輸淤漿 粒子之固有能力」，證據如下：
①美國專利第6,860,793 號可證並非具有添加物之聚氨酯 即具有「吸收或傳輸淤漿粒子之固有能力」。
②Szycher 論文可知並非不具添加物之聚氨酯即不具「吸 收或傳輸淤漿粒子之固有能力」。
⑶基此，原處分及訴願決定認為「不具添加物」之「堅硬的 聚氨酯不具吸收或傳輸淤漿粒子之能力」云云，顯將證據 2 中聚氨酯之抑制透光性添加物的有無錯誤理解為視窗材 質的固有研磨能力，錯認只要聚氨酯不具添加物（亦即具 有高透光性）即代表其無法吸收或傳輸淤漿粒子之固有研 磨（拋光）能力，其論證顯屬錯誤。
２、綜上，證據2 並未揭露「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有 能力」之技術特徵，惟原處分竟以不具添加物、具透射性 等而錯誤「推論」不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力， 既然原處分經過層層推論，即顯非「直接且無歧異得知」 ，更何況原處分之前揭推論亦屬錯誤，殊無足採。（二）況原處分及訴願決定對於證據2 的揭露更屬矛盾，且自行 演繹證據2 中所無之內容：
１、按原處分第（四）點引用證據2 說明書第17頁倒數第9 行
所載之技術內容「雖然使用在墊片之覆蓋層中的聚氨酯材 料實質上對於雷射光束具有穿透性，其不含某些抑制透射 性之添加物」，並據以稱「該聚氨酯插塞42係一固體的片 材。該證據二所揭之堅硬的聚氨酯插塞，不具添加物，熟 悉該項技術者可瞭解該堅硬的聚氨酯不具吸收或傳輸淤漿 粒子的固有能力」云云。詎原處分又於第（九）、1 點中 引用證據2 與前述相同之內容，但卻稱該內容「應為其含 有某些抑制透射性之添加物之誤記」云云，顯與其先前之 論述完全相反，顯有錯誤。
２、又訴願決定明知證據2 之揭露為「不含某些抑制透射性之 添加物」，卻另外引用證據2之美國對應案即第5964643號 專利而稱「墊片材料仍含有某些抑制透射性之添加物」云 云，顯然違反辯論主義。
３、末者，原處分及訴願決定稱證據2 「第3C圖實施例之聚氨 酯插塞不具添加物，以代替該區域之典型墊片材料」云云 ，惟觀諸證據2 之整份說明書，並無一處記載「第3C圖之 聚氨酯不具添加物」，足證原處分及訴願決定係自行演繹 證據2 所無之內容，顯屬違背法令。
（三）證據2 已明確揭示其視窗係一「插塞」，卻無任何關於「 片材」之記載，原處分竟稱「該聚氨酯插塞42係一固體的 片材」且「申請專利範圍第1 項所載『該墊具有至少一個 部分係由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻 聚合體片材所組成』係相同於證據2 所揭示之一聚氨酯片 材或一堅硬的聚氨酯插塞」等顯非證據2 所揭露之內容， 並進而判認系爭專利擬制喪失新穎性云云，其處分顯屬違 法。又證據2 之美國對應案中，通篇都使用「plug（中譯 ：插塞）」，而無使用「sheet （中譯：片材）」，依原 處分之邏輯，更可證明證據2 所揭示者與系爭專利不同。（四）系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項並未被證據2 所揭 露，且與證據2 在目的、形狀、構造、功效等整體觀察上 均屬不相同之發明，並無擬制喪失新穎性：
１、系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項所載發明係一種用 於積體電路晶圓之拋光墊，該等申請專利範圍所請之拋光 墊主要具有下列共同技術特徵：該拋光墊是由兩個部分所 構成，包括「透光之視窗（即第一部分）」以及「墊片（ 即第二部分）」。又「透光之視窗（即第一部分）」是由 一固體均勻聚合體片材所組成；且該「透光之視窗（即第 一部分）」不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力。 ２、然而，證據2 揭示一種用於化學機械拋光操作之定位監測 的方法及裝置（即「半導體設備」），與系爭專利之「拋
光墊」已屬不同發明。又證據2 所揭技術內容為如何利用 通過「窗」（無論是將窗設置在旋轉平台上、以整個墊片 作為「窗」、或是將窗設置在墊片中）的透射光束來進行 晶片層均一性的監測，其僅記載「窗」具有透光性，而與 墊片上之窗的製法、材質與性質無涉，更完全沒有揭示系 爭專利中「由固體均勻聚合體片材組成」以及「不具吸收 與傳輸淤漿粒子的固有能力」之技術特徵。
（五）證據2 係使用「堅硬的聚氨酯」非「堅硬均質的聚氨酯， 詎參加人竟自行添加證據2 所無之用語，並將「solid 」 改為「solid homogeneous 」，顯屬無據。既然證據2 係 使用「堅硬的聚氨酯」，而所謂補強證據3 係使用「堅硬 均質的聚氨酯」，兩者所述內容顯非同一，則參加人及被 告以兩者相互勾稽，實不可採。
（六）被告僅引「有添加物即有研磨能力」作為其依據，並進而 推論證據2 「不含添加物即無研磨能力」云云，其推論邏 輯顯有疑義，且與事實不符：
證據2 究竟係揭露「包含」或「不含有」添加物，被告已 前後矛盾，且證據2 說明書第17頁明揭「不含有」添加物 卻有研磨能力，此已與被告之推論不符。又擬制喪失新穎 性僅能使用我國專利，證據2 之美國對應案既非我國專利 ，自不得作為本件證據，且該美國對應案，依其文義僅提 及不添加例如尼龍微球體（nylon microspheres）之添加 物，而非不含任何添加物，詎被告及參加人擴張證據2 美 國對應案之內容，自無可採。
（七）綜上，證據2 並未揭示系爭專利「由固體均勻聚合體片材 組成」的視窗、「不具傳輸或吸收淤漿粒子之固有能力」 的視窗等技術特徵，與系爭專利並非相同發明。（八）並聲明求為判決：原處分及訴願決定均撤銷。三、被告抗辯：
（一）證據2足資證明系爭專利申請專利範圍第1、3、4項違反核 准時專利法第20條第1項第2款之規定：
１、系爭專利說明書第7 頁第23行至第8 頁第7 行揭示「固體 聚合體塞之表面具有如US專利第5,489,233 號案所述之表 面紋理或圖樣，如此，在其整個拋光墊表面之拋光作用係 接近均勻。除以上所提及之聚合物（聚氨基甲酸乙酯、丙 烯、聚碳酸酯酯、尼龍及聚酯）外，可由聚氯乙烯、聚偏 氟乙烯、聚醚石風、聚苯乙烯、聚乙烯及聚四氯乙烯等製 成透明視窗。此類視窗可藉由聚合體之鑄形及押出，隨後 剪裁聚合體成所欲厚度及尺寸。」亦即系爭專利之固體聚 合體塞（視窗）係由聚氨基甲酸乙酯所製成，而證據2 之
插塞亦係由一對於雷射光束具有高度透射性的聚氨酯（聚 氨基甲酸乙酯之縮寫）製成。由於系爭專利之固體聚合體 塞（視窗）與證據2 皆由相同之材質所製成且皆是具高度 透射性之特性，其所能達成之「不具吸收或傳輸淤漿粒子 的固有能力」之功效當然亦屬相同，否則若具吸收或傳輸 淤漿粒子，則無法具有高度透射性。
２、又證據2 之美國對應案其說明書第6 欄第9 至12行所載內 容，與證據2 說明書第17頁第19至21行所揭示大致相同， 係記載「雖然使用在墊片之覆蓋層中的聚氨酯材料實質上 對於雷射光束具有透射性，其含有某些抑制透射性之添加 物，如尼龍微球粒，會抑制透射性。此一問題在描述於第 3C圖中之本發明實施例中已被消除。在此實施例中，覆於 平台孔30上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨 酯插塞42代替。其係由不含尼龍微粒之聚胺脂材料製成， 以作為可供雷射光束使用之窗口，是以，經由該塞片42所 穿透的雷射光束34之衰減將會降到最低的程度，此一插塞 42係被一體成型於墊片18中。」因此由證據2 之美國對應 案可知含有「添加物」縱使其對光線具有透射性，惟含有 某些抑制透射性之添加物，如尼龍微球粒，會抑制透射性 。亦即含有「添加物」之聚胺脂材料會影響透射性，因此 證據2 之美國對應案第3C圖之發明態樣係「於平台孔30上 方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞42代 替。其係由不含尼龍微粒之聚胺脂材料製成，以作為可供 雷射光束使用之窗口，是以，經由該塞片42所穿透的雷射 光束34之衰減將會降到最低的程度，此一插塞42係被一體 成型於墊片18中」。因此原處分並無原告所稱「原處分及 訴願決定對於證據2 的揭露更屬矛盾，且自行演繹證據2 中所無之內容」之情事。
３、又原處分第（四）點，係直接引述證據2 說明書第17頁關 於第3B圖之視窗材質的教導說明，原處分第（九）、1 點 ，則於引用該相同內容時，則善盡職權調查義務，進一步 指出，參見證據2 之英文本可知，第3B圖「其不含某些抑 制透射性之添加物」應為「其含有某些抑制透射性之添加 物」之誤記（此由上述證據2 之美國對應案亦可佐證）。 因此原處分並無原告所稱「與先前之論述完全相反，顯有 錯誤。」之情事。
４、基於證據2 之說明書以及圖式的整體內容，證據2 第3C圖 之插塞42，毫無疑問是一薄且平坦的片材。且證據2 係揭 示一種在拋光一基材時在原來的位置上（in-situ ）測定 其層之均一性的方法，其說明書第4 頁第6 至8 行述及「
在製造現化之半導體積體電路（ICs ）的程序中，需要在 先前形成之層與構造上形成多種材料層以及構造。但是， 先前的成形往往使得在製品晶片（晶圓）的頂部表面地形 高度不規則」。其第3 圖揭示運用一終點偵測器產生一雷 射光束34透過旋轉平台16所形成之孔30緊鄰的窗朝向晶片 14上的該層，監測自該層反射之光束所造成的干涉信號， 再由干涉信號計算出均一性。旋轉平台16上覆有一拋光墊 片18 ， 拋光墊片具有一與平台形成接觸面之背襯層20， 及一被化學研漿濕潤且與晶片形成接觸面之覆蓋層22。該 拋光墊片18之窗至少在晶片置於窗上面的期間提供一光束 之通道以照射於該晶片上。其說明書第5 頁第7 至9 行述 及：「覆蓋層22通常為一開孔泡沫聚氨酯（例如Rodel ICl000），或者一片具有槽紋表面之聚氨酯（例如Rodel IC2O00）」。其說明書第16頁倒數第4 行起述及：「第3B 圖繪示平台16和墊片16（應為18）的替代實施例。在此實 施例中，石英插入物已被去除且為有通孔存在於墊片18中 。在置於平台16中之孔30上的區域墊片18之背襯層20（如 果存在）已被除去。僅留下墊片18的聚氨酯覆蓋層22在晶 片14與平台16底部之間。業已發現使用在覆蓋層22中的聚 氨酯材料大體上可透射來自雷射干涉儀32之雷射光束34」 。其說明書第17頁第13至15行述及：「可注意到的是利用 敞開式或開槽式表面之墊片型態已證明雷射光束相對於開 槽式表面墊片減弱地較少。因此，最好使用此型態的墊片 」。其說明書第17頁倒數第9 行述及：「雖然使用在墊片 之覆蓋層中的聚氨酯材料實質上對於雷射光束具有穿透性 ，其不含有某些抑制透射性之添加物。此一問題在描述於 第3C圖中之本發明實施例中已被消除。在此實施例中，覆 於平台孔30 上 方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的 聚氨酯插塞42 代 替」。其說明書第7 頁第13至14行述及 ：「此插塞最好係由一對於雷射光束具有高度透射性的聚 氨酯製成」。因此，在第3C圖的實施例中，覆於平台孔30 上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞42 代替。因為第3C 圖 之實施例中該插塞為「聚氨酯」，該 聚氨酯插塞42係一固體的片材。該證據2 所揭示之堅硬的 聚氨酯插塞，不具添加物，熟悉該項技術者可瞭解該堅硬 的聚氨酯不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力。其說明書 第31頁最後一段至第32頁第一段述及：「至於雷射光束之 波長，可利用從遠紅外線至紫外線區間的波長…選擇的理 由有兩重，首先…波長愈長散射愈少。但是…波長愈短， 一週期中被切削之材料愈少。合意的是在每一週期期間所
切削之材料愈少愈好，俾使得任何過量材料被切削的可能 性減至最少。…咸信如果選擇紅光雷射光束則在波長的選 擇中這兩種相抗因素中有最佳的平衡。紅光提供一可接受 程度的散射，同時不會造成每一週期有過量之材料被切削 」。由上述可知系爭專利申請專利範圍第1 項所載「一種 用於積體電路晶圓之拋光墊」等同於證據2 所揭示一種用 於積體電路晶圓之拋光墊18。系爭專利申請專利範圍第1 項所載「該墊具有一個部分係由不具吸收或傳輸淤漿粒子 的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成」係相同於證據 2 所揭示之一聚氨酯片材或一堅硬的聚氨酯插塞。系爭專 利申請專利範圍第1 項所載「波長在190 至3500nm範圍間 之光」相同於證據2 所揭示之「至於雷射光束之波長，可 利用從遠紅外線至紫外線區間的波長」（第31頁第23至24 行）以及「如果選擇紅光雷射光束則在波長的選擇中這兩 種相抗因素中有最佳的平衡」（第32頁第12至13行）。由 於遠紅外線至紫外線區間的波長包含000-0000nm之間波長 範圍的光，而紅光的波長亦落在000-0000nm之間波長範圍 內。因為證據2 已揭示可利用從遠紅外線至紫外線區間的 波長，而等同於已揭示系爭專利申請專利範圍第1 項所請 之「波長在190 至35 00nm 範圍間之光」。且舉發附件7 亦揭示常見雷射光之波長範圍係在000-0000nm之間波長範 圍。因此系爭專利申請專利範圍第1 項所請求之發明係為 證據2 所揭露，擬制喪失新穎性。
５、證據2 之說明書第5 頁第7 、8 行揭示「覆蓋層22通常為 一開孔泡沫聚氨酯（例如，Rodel IC1000）」。因此證據 2 實質上已揭示系爭專利申請專利範圍第3 項之「該墊含 一個由該透光之固體均勻聚合體片材所組成之第一部分， 以及一個由微孔聚胺基甲酸乙酯結構所組成之第二部分」 ，可證明系爭專利申請專利範圍第3 項擬制喪失新穎性。 證據2 之說明書第5 頁第7 、8 行揭示「覆蓋層22通常為 一開孔泡沫聚氨酯（例如，Rodel IC1000）」，熟悉該技 術領域之人士應了解，泡沫材料係藉由吹入空氣而形成， 而固體材料與泡沫聚氨酯之組合本質上就是一複合結構， 因此泡沫聚氨酯為膨脹的複合聚氨酯結構，故系爭專利申 請專利範圍第4 項之「該墊含有一個由不具吸收或傳輸淤 漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成之第一部 分，以及一個由充填或膨脹之複合聚胺基甲酸乙酯所組成 之第二部分」已為證據2 所揭露，擬制喪失新穎性。 ６、綜上說明，證據2 足資證明系爭專利申請專利範圍第1 、 3 、4 項違反核准時專利法第20條第1 項第2 款之規定。
（二）並聲明求為判決：駁回原告之訴。
四、參加人部分：
（一）系爭專利申請專利範圍之用語「固體均勻聚合體片材」， 依其說明書之揭露，所述「固體均勻聚合體片材」先天上 「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」且「具有透光性 」：
１、依系爭專利說明書第5 頁最後一段「發明摘要」所述，系 爭專利旨在提供一種用於拋光矽晶片用之機械的墊，當拋 光晶片時，該墊可進行晶片表面狀態之偵測。為達成上述 目的，系爭專利利用「固體均勻聚合體片材」作為窗，以 用於光學偵測，因此「固體均勻聚合體片材」必須「具透 光性」。關於此「固體均勻聚合體片材」之材料選擇，根 據系爭專利說明書第6 頁第2 至5 行即「發明詳細說明」 段落所述，其可為詳述於證據3 （US5,489,233 ）中之聚 合體。系爭專利於說明書第6 頁第7 至11行解釋使用此類 固體均勻聚合體片材係達成「具透光性」之目的所採用的 手段，習知技藝之墊的結構的「非均勻部（non-uniformi ties）」會造成光線無法通過，故系爭專利使用固體均勻 聚合體片材消除光線無法通過（不透光）之問題。另，此 「非均勻部」即為墊之大體結構中的孔隙與添加物（諸如 微小球體「microballoon，或可譯為微氣球」）。 ２、「具透光性」以及「不具固有拋光能力」皆是「固體均勻 聚氨酯（聚合體）片材」的先天性質：
⑴按照系爭專利之說明書所述，用以解決光線無法通過「不 透光」之問題的「固體均勻聚合體片材」（諸如固體均勻 聚氨酯片材）之先天性質包括「不具固有拋光能力」以及 「具透光性」，依系爭專利說明書第6 頁第3 至5 行所述 ，於US5,489,233 所揭露之彼等「固體均勻聚合體片材」 不具吸收或傳輸淤漿粒子之能力。
⑵此外，系爭專利說明書第6 頁第13至17行提及：「如US專 利5,489,233 號案所指出，此種墊可為包含聚乙烯甲酸酯 『原文為polyurethane，故應即亦可譯為「聚氨酯」』、 聚丙烯、聚碳酸酯、尼龍及聚酯等之任何固體均勻聚合體 所製成。由於其等為具190 至3500nm之波長範圍之光可通 過的聚合體所製成，而製成可同步使用如干涉計之端點偵 測的光學方法之墊」。
⑶根據如上所提及之系爭專利說明書段落，可知「不具固有 拋光能力」以及「具透光性」是系爭專利申請專利範圍第 1 項所記載之「固體均勻聚合體片材」（諸如固體均勻聚 氨酯片材）的先天性質。
（二）根據系爭專利之說明書之解釋，其申請專利範圍中所用之 用語「均勻」即指「不具孔隙與添加物」：
系爭專利之說明書第6頁第7至11行敘明：「所有習知技藝 之墊的大體結構為纖維所製成，含有填充以微小球體或製 造中進氣所造成之孔隙，或是填充有研磨『即拋光』料。 儘管習知技藝之墊可為固體聚合體所製成，因其非均勻結 構並會嚴重地散射……。」此外，系爭專利以引述的方式 列入本文所參考引用之證據3 於第2 欄第37至48行揭露「 表面微紋理係源自墊製造過程中所刻意引入的主體的非均 勻部」，並且於第2 欄第49行至第3 欄第2 行以及第6 欄 第65行至第7 欄第1 行揭露各種習知的具表面微紋理之墊 的內部結構為具有添加物及/ 或孔隙（非均勻部）。由此 可知，系爭專利所屬之技術領域中，「非均勻」即指「具 有添加物及/ 或孔隙」。因此，系爭專利所要求之「均勻 」即為「不具孔隙與添加物」。
（三）在系爭專利申請前，發明所屬技術領域中具有通常知識者 即能直接而無歧異地瞭解證據2揭露作為拋光墊之窗係「 固體均勻聚氨酯」：
１、對照證據2之外文說明書，可得知證據2中文說明書第17頁 所述之「其不含有某些抑制透射性之添加物」應為「其『 含有』某些抑制透射性之添加物」之誤記。
２、證據2 及證據3 均已揭露solid homogeneous ，世人均知 諸如一片solid homogeneous 聚氨酯之聚合物不具吸收或 傳輸淤漿之能力。再者，證據2 於中文說明書第7 頁第13 至14行揭露「插塞最好係由一對於雷射光束有高度透射性 的聚氨酯製成」，且於中文說明書第17頁第19至20行揭露 「覆於平台孔30上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬 的聚氨酯插塞42代替」；又，習知技藝中，堅硬的聚氨酯 插塞必然為固體。因此，基於上述段落，發明所屬技術領 域中具有通常知識者能瞭解證據2 要求其窗必須是對雷射 光束有高度透射性的聚氨酯插塞。在系爭專利申請前的技 術背景下（即證據3 ），發明所屬技術領域中具有通常知 識者瞭解，倘若聚氨酯中具有「非均勻部」（諸如添加物 ），此非均勻部會因嚴重散射光線而影響透射性。因此， 在系爭專利申請前，發明所屬技術領域中具有通常知識者 可以理解，證據2 的具有高透射性的固體聚氨酯必須是均 勻的；換言之，該聚氨酯中必須不具有添加物與孔隙。 ３、證據2 提及第3C圖之實施例消除「添加物抑制窗之透射性 」的問題，且證據2 說明書第17頁倒數第6 行至倒數第5 行之內容，已指出覆於平台孔30上方之區域中之典型墊片
材料（例如第3B圖中之覆蓋層22）係被一堅硬的聚氨酯（ 即『solidhomogeneous』）插塞43代替。另證據2 於中文 說明書第5 頁第7 至8 行揭露「覆蓋層22通常為一開孔（ open-cell ）泡沫聚氨酯（例如，Rodel IC1000）」，已 知Rodel IC1000是由填充有微氣球的聚氨酯製成，而孔隙 即由該微氣球之中空內部所造成。足見證據2 的聚氨酯中 必須不具有諸如微氣球之添加物，否則會抑制透光性。準 此，證據2 說明書第3C圖之插塞（窗）缺乏添加物與孔隙 ，即該插塞即為固體均勻聚氨酯。
４、證據2於中文說明書第17頁第18至19行揭露「覆於平台孔3 0上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞4 2代替」。證據2並未進一步揭露該插塞中存在任何其他材 料或結構性特徵。發明所屬技術領域中具有通常知識者在 參閱證據2 之中文說明書時，會預期該中文說明書正面表 列該插塞之材料與結構。當發明所屬技術領域中具有通常 知識者參閱證據2 之中文說明書，見到對於聚氨酯之敘述 ，且發現中文說明書中無對於窗之其餘材料及進一步結構 的探討，會直接而無歧異地瞭解該窗為純質的聚氨酯，無 任何添加物與孔隙，且能夠瞭解證據2 要求使用固體均勻 聚氨酯作為拋光墊之窗。
（四）證據2 之外文說明書應視為證據2 所揭露之內容的一部分 ，可用於解釋證據2 之不明確之記載：
１、證據2 之外文說明書為取得申請日之文件，且為公眾所能 取得之公開文件，故應視為證據2 所揭露之內容的一部分 。
２、證據2 之外文說明書已揭露系爭專利申請專利範圍第1 項 之「固體均勻聚合體」之技術特徵：
⑴根據證據2 之外文說明書第18頁第3 至7 行，可知證據2 實則揭露「雖然使用在墊片之覆蓋層中的聚氨酯材料實質 上對於雷射光束具有透射性，其確實含有某些抑制透射性 之添加物。」此外，關於插塞42之材質與結構，可由證據 2 之外文說明書第18頁第10至14行進一步釐清，該段落描 述如下：「此插塞42作為雷射光束之窗，由缺乏周圍墊材 料之溝紋（或開孔『open-cell 』結構）的聚氨酯材料製 成，且無抑制透射性之添加物。」由於該堅硬（固體）聚 氨酯插塞42缺乏孔隙（即開孔結構）及添加物，換言之， 缺乏不均勻部，故此聚氨酯是均勻的。
⑵儘管證據2 之中文說明書揭露「堅硬聚氨酯插塞」，但證 據2 之外文說明書中相對應段落揭露「solid polyurethan e plug」。「solid polyurethane plug 」
可解釋成具備下述性質之聚氨酯插塞：「其內無孔隙、且 其完全為單一材料（聚氨酯）」，即「不具孔隙、無雜質 」。此聚氨酯插塞可視為「均勻」，故證據2 之外文說明 書足以佐證證據2 揭露之「堅硬聚氨酯插塞」為「固體均 勻聚氨酯插塞」。因此，系爭專利之申請專利範圍第1 項 之技術特徵「固體均勻聚氨酯片材」已被證據2 所揭露。（五）原告提出之原證1至原證5不具證據能力或證據力，無法據 以否定「固體均勻」（不具添加物）、「透光」、「缺乏 拋光能力」等特徵之間無必然關聯性。
（六）補強證據3至補強證據7用於解讀系爭專利之申請專利範圍 中所記載之用語，及解釋系爭專利申請前之技術背景，而 非用於與證據2組合以否定系爭專利之新穎性。（七）綜上所述，發明所屬技術領域中具有通常知識者能夠直接 而無歧異地從證據2 之中文說明書中得知證據2 之堅硬聚 氨酯插塞必為「固體均勻聚氨酯」。再者，證據2 之外文 說明書為證據2 所揭露之內容的一部分，亦揭露該「 solid polyurethane plug 」缺乏添加物與孔隙，即該插 塞為固體均勻聚氨酯，故系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項所載之所有技術特徵，皆已為證據2 揭露在案，因 此系爭專利違反核准時專利法第20條第1 項第2 款之規定 。被告原依同法第71條第1 款作成撤銷系爭專利專利權之 處分，即無違誤。
（八）並聲明求為判決：駁回原告之訴。
五、上開事實概要欄所述之事實，為兩造所不爭執，並有系爭專 利說明書（見舉發卷第1 至10、166 頁）、系爭專利證書（ 見本院卷第163 頁）、專利舉發申請書（見舉發卷第17至18 頁）、專利更正申請書（見本院卷第164 背頁至165 頁）、 經濟部智慧財產局專利舉發審定書（見本院卷第23至31頁） 、經濟部訴願決定書（見本院卷第32至40頁）在卷可稽，堪 認為真正。
六、經核本件兩造爭點為證據2 是否足以證明系爭專利申請專利 範圍第1 、3 、4 項有違核准時專利法第20條第1 項第2 款 之規定？本院判斷如下：
（一）查系爭專利係於85年8 月27日申請，經審定核准專利後， 於87年9 月11日公告等情，有系爭專利證書及專利說明書 附卷可參（見本院卷第163 、164 背頁至165 頁、舉發卷 第1 至10頁），因此，系爭專利有無撤銷之原因，應以核 准審定時即83年1 月21日修正公布之專利法為斷（下稱83 年專利法）。次按利用自然法則之技術思想之高度創作， 而可供產業上利用者，固得依法申請取得發明專利，然若
有相同之發明或新型申請在先並經核准專利者，不得取得 發明專利，同法第19條、第20條第1 項及第1 項第2 款分 別定有明文。而發明有違反同法第20條第1 項第2 款規定 者，任何人得附具證據，向專利專責機關舉發之。準此， 系爭專利有無違反同法第20條第1 項第2 款所定情事而應 撤銷其專利權，依法應由舉發人（即參加人）附具證據證 明之，倘其證據足以證明系爭專利有違前揭專利法之規定 ，自應為舉發成立之處分。
（二）系爭專利之技術內容：
１、系爭專利發明之主要目的，在「提供一種用於拋光矽晶片 用之機器中的墊，當拋光晶片時，該墊可進行晶片表面狀 態之偵測。其完成係藉由在不具有吸收或傳輸淤漿粒子的 固有能力之固體均勻聚合物片材上建構一完整或部分之墊 ，且其可為光學方法中用以偵測晶圓表面狀態之光所通過 。適用於建構此種墊之聚合物係可為190 至3500nm波長之 光線所通過。」（見舉發卷第8 頁系爭專利說明書中文摘 要）。
２、系爭專利於99年2 月4 日申請更正，經智慧局核准更正並 於101 年12月11日公告，是其更正溯及自申請日生效，本 件應以更正後之申請專利範圍為審理，又更正後之系爭專 利申請專利範圍共計5 項，其中第1 、3 至5 項為獨立項 ，第2項 為依附於第1 項之附屬項，參加人主張系爭專利 申請專利範圍第1 、3 、4 項擬制喪失新穎性，是本院僅 就系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項為審理，上開請 求項之申請專利範圍如下：
⑴第1項：
一種用於積體電路晶圓之拋光墊，該墊具有一個部分係由 不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片 材所組成，該聚合體片材可為波長在190 至3500nm範圍間 之光所通過。
⑵第3 項：
一種用於積體電路晶圓之拋光墊，該墊含一個由不具吸收 或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成 之第一部分，以及一個由微孔聚胺基甲酸乙酯結構所組成 之第二部分，該聚合體片材可為波長在190 至3500nm範圍 間之光所通過。
⑶第4 項：
一種用於積體電路晶圓之拋光墊，該墊含有一個由不具吸 收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組 成之第一部分，以及一個由充填或膨脹之複合聚胺基甲酸
乙酯所組成之第二部分，該聚合體片材可為波長在190 至 3500nm範圍間之光所通過。
（三）本件舉發證據之說明：
１、證據2 之技術內容（見舉發卷第59至131頁）： ⑴證據2 為88年9 月11日公告之我國第85104954號「用於化 學機械拋光操作之定位監測的方法及裝置」專利案，其公 告日雖晚於系爭專利申請日（85年8 月27日），但其申請 日（85年4 月25日）早於系爭專利申請日，故可執為系爭 專利核准審定時所適用之83年專利法第20條第1 項第2 款 的引證資料。
⑵證據2 係「揭露一種在拋光一基質上之層期間原地測定其 均一性的方法，此方法包括之步驟有使一光束在拋光期間 導向該層；監測由自基質反射之光束所造成之干涉信號； 以及由干涉信號計算出均一性之尺寸」。其主要示意圖如 附圖一所示。
２、證據3 之技術內容（見舉發卷第52至58頁）： ⑴證據3 為西元1996年2 月1 日公告之美國第5,489,233 號 「PO LISHING PADS AND METHODS FOR THEIR USE 」專利 案。其為明確記載於系爭專利說明書第6 頁第2 至4 行（ 見舉發卷第5 頁）之納入參考之相關專利案。
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