智慧財產法院行政判決
102年度行專訴字第35號
民國102年7月3日辯論終結
原 告 群成科技股份有限公司
代 表 人 卓恩民
輔 佐 人 邱伯縣
訴訟代理人 江國慶專利師
黃宜婷律師
被 告 經濟部智慧財產局
代 表 人 王美花(局長)
訴訟代理人 簡信裕
參 加 人 米輯電子股份有限公司
代 表 人 麥瑞達
訴訟代理人 張哲倫律師
陳佳菁律師
蕭輔寬專利代理人
上列當事人間因發明專利舉發事件,原告不服經濟部中華民國10
2 年1 月10日經訴字第10106116160 號訴願決定,提起行政訴訟
,本院判決如下:
主 文
原告之訴駁回。
訴訟費用由原告負擔。
事實及理由
一、事實概要:訴外人○○○○○○○○○○前於民國90年12月 31日以「晶片封裝結構及其製程」向被告申請發明專利,經 被告編為第90133195號審查,准予專利,並於公告期滿後, 發給發明第503496號專利證書(下稱系爭專利,主要圖式如 附圖一所示),嗣經申准將系爭專利讓與參加人。其後訴外 人○○○○○○○○○○(下稱○○公司)以系爭專利有違 核准時專利法第20條之1 規定,不符發明專利要件,對之提 起舉發,參加人遂於101年4月6日提出系爭專利申請專利範 圍更正本,經被告審認該更正本應准予更正,且舉發證據不 足以證明系爭專利更正本有違前揭規定,乃以101年8月17日 (101)智專三(二)04069字第10120840210號專利舉發審 定書對○○公司為「舉發不成立」之處分,○○公司不服, 提起訴願,並於訴願期間之101年10月15日向被告陳報其已 於101年5月31日與原告合併,原告為存續公司等情。而後經 濟部於102年1月10日就上揭訴願仍以經訴字第10106116160 號為「訴願駁回」之決定,原告不服該訴願決定,遂向本院 提起行政訴訟。本院認本件判決之結果,將影響參加人之權
利或法律上之利益,依職權命參加人獨立參加本件訴訟。二、原告主張:
(一)系爭專利已為中華民國發明第531854號專利(下稱原證4 ,主要圖式如附圖二所示)(卷附原證5至原證9得作為證 明、建構系爭專利申請時之通常知識;原證12則為原證4 說明書第6頁所載之先前技術)所揭示而擬制喪失新穎性 :
1、系爭專利之「晶片(120)、金屬墊(126)、導電插塞(142b) 、圖案化導電層(144)、貫孔(142a)、介電層(146)」技術 特徵已為原證4之「晶粒(2a)、鋁墊(4)、銲錫(12)、銅導 線(14)、第三開口(15)、環氧樹脂(16)」所揭露,而系爭 專利申請專利範圍第1、2項(第1E圖)與原證4(圖11) 所附說明書或圖式載明之內容相同。
2、系爭專利申請專利範圍第1、2項之銅質圖案化導線層及導 電插塞已被原證4的銅導線及銲錫所揭示:
⑴系爭專利申請專利範圍第1、2項並未界定銅為貫孔內之材 料:
更正後系爭專利申請專利範圍第1 、2 項僅界定「圖案化 導線層……穿過該介電層之該些貫孔」和「該圖案化導線 層之材質為銅」,惟並未界定圖案化導線層如何穿過介電 層。而依系爭專利說明書第11頁第12至18行所載「亦可在 第1C圖之貫孔142a內預先填入導電材料,例如填入導電膠 而形成導電插塞142b,故無論是利用部分圖案化導線層14 4之導電材料直接填入貫孔142a之內,或是預先在貫孔142 a填入導電材料而形成導電插塞142b之後,再形成圖案化 導線層144,均可使得圖案化導線層144將可電性連接至晶 片120上的金屬墊126」等語,可知系爭專利之圖案化導線 層也可能是透過一導電膠穿過介電層,亦即系爭專利申請 專利範圍第1項之貫孔內部分(導電插塞)的材料可以是 一導電膠。因此,系爭專利申請專利範圍第1項並未界定 貫孔內材料之差異,而與原證4在貫孔內材料上並無差異 。此外,不論銅與錫之特性是否不同又是否互為上下位概 念,在半導體封裝領域中,圖案化導線層及貫孔內的導電 插塞之功能本在電性連接,為所屬技術領域之習知技術, 不論使用銅材料,抑或錫,均以達成電性連接為其技術目 的,而銅與錫均為所屬技術領域習知之電性連接材料。因 此,不論以銅或以銲錫作為圖案化導線層或作為貫孔內的 導電插塞的材料,皆為所屬技術領域所習知。
⑵系爭專利申請專利範圍第1、2項貫孔內的銅可被原證4之 銲錫(12)直接置換:
被告認定系爭專利申請專利範圍第1 項已界定「銅為貫孔 內之材料」,是依據系爭專利說明書第11頁第9至12行記 載「部分圖案化導線層144之導電材料將直接填入貫孔142 a之內,用以形成導電插塞(Via)142b,其中例如以銅( Cu)作為圖案化導線層144之材質」等語,然被告亦承認 系爭專利說明書中仍有其他「導電膠為貫孔內之材料」的 態樣,則依據系爭專利申請專利範圍第1項的敘述參酌說 明書既然有可能得出「導電膠為貫孔內之材料」,證明「 銅為貫孔內之材料」實質上未界定於系爭專利申請專利範 圍第1項中,自不能作為系爭專利區別於原證4的技術特徵 。又在不具有此一技術特徵的情況下,系爭專利申請專利 範圍第1項已被原證4所揭示。且系爭專利說明書舉出「導 電膠為貫孔內之材料」和「銅為貫孔內之材料」2種態樣 ,證明導電膠和銅可互相替換,又其共通性僅在於「能導 電」,證明只要是具有導電性的材質皆可直接置換銅。因 此,原證4之銲錫能導電,即能直接置換系爭專利申請專 利範圍第1項之銅,而不論是否具有不同的特性或不同的 導電性。
⑶原證4發明背景所列之美國專利U.S.Patent No.0000000 ,發明名稱為Metal Ball Grid Array Package with Improved Thermal Conductivity 已揭示銅作為貫孔內之 材料:
上開美國專利為原證4 之參考文件,自應視為引證文件之 一部分,屬單一文件所揭露之先前技術。而參酌該美國專 利圖15及其說明已明白揭示「A conductive via 148 is formed through the base 122.…The hole is then filled with a conductive material such as a solder ,silver filled polymer or a copper terminal pin. 」等語,亦即銅可作為貫孔內之材料,顯見原證4 確可證 明系爭專利申請專利範圍第1、2項擬制喪失新穎性。 3、系爭專利申請專利範圍第1、2項之被動元件已被原證4所 揭示:
⑴系爭專利申請專利範圍第1、2項未界定「被動元件不是相 對於圖案化導線層本身之一外加元件」:
①被告將系爭專利申請專利範圍第1、2項之更正「該被動 元件係由該圖案化導線層之部分結構所構成」解讀為「 被動元件係由圖案化導線層本身之部分結構所構成,並 非一外加元件」,此與系爭專利說明書的內容不同。參 照系爭專利說明書第23至24頁所載「接著請同樣參考第 6圖,外部線路642更包括至少一被動元件(Passive
Device)644,例如電容(Capacitor)、電感( Inductor)及電阻(Resistor)等元件,而被動元件64 4係可配置於單層圖案化導線層642a上,或兩層相鄰之 圖案化導線層642a之間。……可將被動元件644(如電 阻材料)利用印刷或其他方式,配置於圖案化導線層64 2a之兩接點間」等語,可知系爭專利說明書僅說明被動 元件配置於圖案化導線層之上,並未敘明被動元件不是 相對於圖案化導線層本身之一外加元件。
②至於系爭專利說明書第24頁所述之「如第10B 圖所示, 在兩層圖案化導線層642a之板狀接點間配置一絕緣材料 646,因而形成被動元件644(如電容),其中可以原先 的介電層(未繪示)來代替絕緣材料646」等語可知, 由於被動元件644所含的絕緣材料646或介電層係不同於 圖案化導線層642a的導電材料,推知被動元件在製程中 必須外加,因此被動元件應為一外加元件。
⑵系爭專利說明書未敘明被動元件是在何處形成,就無法證 明被動元件不是「外加元件」:
系爭專利說明書第24頁所述之「如第10A 圖所示,直接利 用單一圖案化導線層642a之梳狀結構來形成被動元件644( 如梳狀電容) ……或如第11A 圖所示,利用單層圖案化導 線層642a之圓形螺旋狀結構或方形螺旋結構(未繪示)來 形成被動元件644(如電感),或如第11B圖所示,利用雙 層圖案化導線層642a之斜線結構及多根導電插塞642b來包 覆並環繞一絕緣材料646,而形成柱狀之被動元件644(如 電感),或如第11C圖所示,同樣利用雙層圖案化導線層 之斜線結構及多根導電插塞來包覆並環繞一絕緣材料646 ,而形成環狀之被動元件644(如電感),故可利用上述 等結構,將原本銲接於晶片封裝結構上的被動元件,加以 整合至晶片封裝結構之內部」等語,其中並未說明梳狀結 構或方形螺旋狀結構是在何處形成,亦未說明其如何將被 動元件整合至晶片封裝結構之內部,因此梳狀結構或螺旋 狀結構亦可能是在外部另外形成後才移置於圖案化導線層 上,即使其可稱為圖案化導線層之部分,但仍屬於外加元 件。
⑶由前述可知,被告及參加人對於系爭專利申請專利範圍第 1、2項「被動元件係由圖案化導線層之部分結構所構成」 之解讀,並未獲得系爭專利說明書所支持,由此可知被動 元件仍為圖案化導線層之外加元件,故系爭專利申請專利 範圍第1、2項「被動元件」之技術特徵已為原證4所揭示 而擬制喪失新穎性。何況,系爭專利申請專利範圍第1、2
項之積層線路層配置於晶片時有可能繞線至晶片之側邊, 被動元件因而有可能位於晶片之側邊,未必一定位於晶片 上方,況被動元件位於晶片之上方或側邊等不同之相對位 置,並不因此有任何功效之改變。是以,該發明所屬技術 領域者皆可依通常知識將晶片位置進行置換,但不因此置 換而對於整體技術產生不同功效,仍屬直接且無岐異之置 換,系爭專利申請專利範圍第1、2項擬制喪失新穎性,仍 屬無疑。
(二)聲明:
1、訴願決定及原處分均撤銷。
2、被告應作成舉發成立撤銷系爭專利之處分。三、被告抗辯如下:
(一)原證4與系爭專利申請專利範圍第1、2項之差異: 1、系爭專利申請專利範圍第1、2項之圖案化導線層之材質為 銅,而原證4之圖案化導線層係由銅導線(14)與銲錫(1 2) 所構成:
系爭專利申請專利範圍第1、2項已載明「……其中該積層 電路層至少包括一圖案化導線層及一介電層,而該介電層 係配置於該陶磁基板及該晶片上,其中該介電層具有複數 個貫孔,且該圖案化導線層係配置於該介電層之上,並穿 過該介電層之該些貫孔而電性連接該晶片之該些金屬墊, 其中該圖案化導線層係構成外部線路及形成外部線路接合 墊,該外部線路更包含至少一被動元件,其中該被動元件 係由圖案化導線層之部分所構成,其中該圖案化導線層之 材質為銅」等語,故由系爭專利上開申請專利範圍記載, 可知其中圖案化導線層包含配置於介電層之上並穿過貫孔 而連接至晶片金屬墊之結構,且該結構之材質均為銅,此 可見於系爭專利圖式第1D圖及說明書第11頁第6至13行所 記載之實施態樣,故系爭專利申請專利範圍第1、2項之圖 案化導線層係配置於介電層之上並穿過貫孔而連接至晶片 金屬墊之材質均為銅,與原證4所揭示之圖案化導線層係 由銅導線14透過銲錫12連接至鋁墊4所構成之線路層,兩 者之材質即有不同,因原證4未揭示以銅作為貫孔內之材 料,故系爭專利申請專利範圍第1、2項非發明所屬技術領 域中具通常知識者依據原證4能直接且無歧異得知,且銅 與銲錫兩者間亦非上下位概念。再者,原證4之銲錫可當 作一緩衝區,減少不同層之間不同材質所引發的應力不平 衡問題,益證原證4之銲錫與系爭專利之銅金屬具有不同 特性,導電性亦不同,故申請專利範圍第1、2項之銅亦非 由原證4之銲錫所能直接置換。
2、原證4之晶粒電容係外加於晶片之側邊,該晶粒電容係外 加於圖案化導線層之元件,與系爭專利申請專利範圍第1 、2項之被動元件係由圖案化導線層之部分結構所構成, 兩者之位置分佈及技術手段及結構均不同:
依據申請專利範圍第1 、2 項所載:「該外部線路更包含 至少一被動元件,其中該被動元件係由圖案化導線層之部 分所構成」等語,並參酌說明書第24頁第15至25頁第10行 揭示「被動元件644 可配置於單層圖案化導線層642a上, 或兩層相鄰圖案化642a之間,如第9A、9B圖所示,可將被 動元件644(如電阻材料) 利用印刷或其他方式,配置於圖 案化導線層642a之兩接點,或是如第10A 圖所示,直接利 用單一圖案化導線層642a之梳狀結構來形成被動元件,… …或如第11A圖所示是利用單層圖案化導線層642a之圓形 螺旋狀結構或方形螺旋結構來形成被動元件」等語,可知 系爭專利申請專利範圍第1、2項之被動元件係由圖案化導 線層本身或由圖案化導線層本身結合介電層來達成,因圖 案化導線層係位於晶片之上,故系爭專利之被動元件係位 於晶片之上。而原證4揭示之晶粒電容係外加於晶片之側 邊,兩者之被動元件之配置位置即有差異,且原證4之該 晶粒電容係一外加元件,並非由圖案化導線層之部分所構 成,故原證4之晶粒電容與系爭專利申請專利範圍第1、2 項被動元件係由圖案化導線層之部分結構所構成(即被動 元件係由圖案化導線層本身之部分結構所構成,並非一外 加元件),兩者之技術手段及結構亦不同,非參酌引證文 件即能直接置換。
3、綜上,原證4尚難證明系爭專利申請專利範圍第1、2項擬 制喪失新穎性。
(二)聲明:原告之訴駁回。
四、參加人則辯稱:
(一)系爭專利所請發明相較於原證4具新穎性: 1、系爭專利所請封裝結構中之圖案化導線層及介電層貫孔內 之材質(插塞)俱為銅材料,並且同時成形;原證4 則係 採用銅、銲錫分層結構,並且在銅、銲錫之間存在鎳/ 銅 或鈦銅層(銅種子層):
⑴系爭專利所請封裝結構係包含一積層線路層,該積層線路 層至少包括一圖案化導線層及一介電層,而該介電層係配 置於矽基板及晶片之上,其中該介電層具有複數個貫孔, 且該圖案化導線層係配置於該介電層之上,並穿過該介電 層之該些貫孔而電性連接該晶片之該些金屬墊,其中該圖 案化導線層係構成外部線路及形成該外部線路之接合墊,
該外部線路更包括至少一被動元件,其中該被動元件係由 該圖案化導線層之部分結構所構成,其中該圖案化導線層 之材質為銅。
⑵由系爭專利說明書第11頁記載「其中部分圖案化導線層 144之導電材料將直接填入貫孔142a之內,用以形成導電 插塞(Via)142b,其中例如以銅(Cu)作為圖案化導線 層144之材質。另外,亦可在第1C圖之貫孔142a內預先填 入導電材料,例如填入導電膠而形成導電插塞142b」等語 ,明顯可知系爭專利說明書揭示2種不同實施態樣。而更 正後系爭專利申請專利範圍第1項及第2項係記載「圖案化 導線層係配置於該介電層之上,並穿過該介電層之該些貫 孔而電性連接該晶片之該些金屬墊」等語,此即為系爭專 利說明書所揭示之態樣「其中部分圖案化導線層144之導 電材料將直接填入貫孔142a之內,用以形成導電插塞(via )142b,其中例如以銅(Cu)作為圖案化導電層144之材質」 。是以,由於系爭專利所請積層線路層係由銅金屬材質之 圖案化導線層直接穿過介電層中銅材質(插塞)之貫孔電 性連接至晶片之金屬墊,因此系爭專利所請封裝結構中之 圖案化導線層及介電層貫孔內之材質(插塞)俱為銅材料 ,並且同時成形。然而,原證4結構中之積層線路層係由 銅導線與銲錫所構成(如原證4第13、14圖所示),其中 銅導線係經由銲錫電性連接至晶粒上之鋁墊,核與系爭專 利前述之技術特徵並不相同。
⑶原證4 與系爭專利所請發明之另一差異在於原證4 使用銲 錫作為貫孔材質,而系爭專利所請發明之相對應技術特徵 係於介電層貫孔( 插塞) 中使用銅金屬。銲錫金屬與銅金 屬的特性非常不同,無論在導電性、電阻值及熔點都具有 相當大的差異性。因此,原證4 並未揭露或建議在相對應 於系爭專利所請封裝結構之介電層貫孔中可以使用其他材 料取代銲錫。
⑷原證4之說明書第15至16頁載明「本發明能將環氧樹脂中 之銲錫當作緩衝區(buffer zone),在後續製程中,減 少不同層之間,由於材質使用的不同所引發的應力不平衡 問題,增加其可靠度(reliability)」等語,且原告於 專利舉發補充理由書中再三強調原證4之所以另聲明銅之 下有銲錫,乃欲增進與下層金屬墊物理接合之功效。銲錫 可當作一緩衝區,減少不同層之間不同材質所引發的應力 不平衡的問題,以增加可靠度,此為該技術領域工作者所 具之通常知識等情,益證原證4之銲錫與系爭專利所使用 之銅材料具有不同特性,實無法由銅所能直接置換。準此
,基於銲錫金屬與銅金屬不同的特性、銲錫金屬在原證4 中所具有之特定功能及原證4揭露之技術特徵對系爭專利 使用銅金屬之內容並未有任何教示或指導,應認該發明所 屬技術領域中具有通常知識者在參閱原證4之說明書後, 無法直接且無岐異地得知原證4之銲錫可以被銅所取代。 2、系爭專利所請封裝結構中之被動元件係由該圖案化導線層 之部分結構所構成,並且所形成之被動元件位置在晶片之 上方;原證4之被動元件(電容)係外加擺放於晶片側邊 :
⑴原證4之第16、17圖揭示將晶粒電容2b設置在底座6上,利 用該銅導線14及銲錫12而電性連接該晶粒電容2b,然而系 爭專利之結構與原證4之結構或形成方法完全不相似。系 爭專利所請求之發明「該外部線路更包括至少一被動元件 ,其中該被動元件係由該圖案化導線層之部分結構所構成 」,係可被系爭專利說明書第23頁第24行至第24頁第19行 所記載之內容所支持,並且依據上述內容可知,系爭專利 所請之被動元件係由圖案化導線層本身或圖案化導線層本 身結合介電層來達成,與原證4之外加的晶粒電容2b完全 不同。
⑵由於系爭專利的被動元件係由圖案化導線層之部分結構所 構成(因為圖案化導線層係配置於晶片上),其位置一定 在晶片之上方;即使封裝結構中僅有一層圖案化導線層時 ,系爭專利之被動元件之位置仍在晶片之上方。然而,原 證4之被動元件(電容2b)係外加擺放於晶片2a側邊,是該 發明所屬技術領域中具有通常知識者在參酌原證4之教示 後,不會也不可能將被動元件(2b)擺放於原證4之封裝結 構中晶片2a上方。
⑶據上,原證4 並未教示或建議被動元件由圖案化導線層之 部分結構所構成,並且依據原證4 之教示,被動元件係被 外加至原證4 之封裝結構中,並且擺放在晶片側邊,該被 動元件不會也不可能被擺放於晶片上方。因此,系爭專利 之封裝結構與原證4 之封裝結構實不相同。
3、綜上所述,系爭專利所請封裝結構相較於原證4(原證5至 原證9 僅為用以證明系爭專利申請時熟習該項技術者之通 常知識之佐證資料)具有擬制新穎性。
(二)聲明:原告之訴駁回。
五、得心證之理由:
本件兩造所爭執之處應在於原證4是否足以證明系爭專利申 請專利範圍第1、2項擬制不具新穎性?茲分述如下:(一)經查,系爭專利係於91年8 月26日審定准予專利,是系爭
專利有無撤銷之原因,應以核准審定時有效之90年10月24 日修正公布之專利法(下稱90年專利法)為斷。又按凡利 用自然法則之技術思想之高度創作,而可供產業上利用者 ,固得依90年專利法第19條暨第20條第1項之規定申請取 得發明專利。惟如「申請專利之發明,與申請在先而在其 申請後始公開或公告之發明或新型專利申請案所附說明書 或圖式載明之內容相同者,不得取得發明專利」,復為同 法第20條之1本文所明定。而對於獲准專利權之發明,任 何人認有違反前揭專利法第20條之1本文規定之情事者, 依同法第72條第1項規定,得附具證據,向專利專責機關 舉發之。從而,系爭專利有無違反前揭專利法之情事而應 撤銷其發明專利權,依法應由舉發人附具證據證明之,倘 其證據不足以證明系爭專利有違前揭專利法之規定,自應 為舉發不成立之處分,合先敘明。
(二)系爭專利技術分析:
1、系爭專利係一種晶片封裝結構及其製程,係將晶片貼附於 一矽基板上,並在晶片及矽基板上形成一積層線路層,其 中此積層線路層具有一外部線路,其電性連接晶片上之金 屬墊,且部分之外部線路係延伸至晶片之主動表面上方以 外的區域,用以將晶片之金屬墊扇出。此外,晶片之主動 表面上更具有一內部線路及多個主動元件,訊號係可從一 主動元件經由內部線路,而傳遞到外部線路,接著再從外 部線路經由內部線路,而傳遞至其他的主動元件。另外, 更可將功能相同或不同的晶片整合於同一封裝體內,並經 由外部線路使晶片之間得以相互電性連接。
2、系爭專利申請專利範圍(101年4月6日更正、101年9月1日 公告)共77項,其中第1、2、3、4、41為獨立項,其餘為 附屬項。本件兩造所爭執之申請專利範圍為其中之第1、2 項部分,均為獨立項,其內容如下:
⑴第1項:一種晶片封裝結構,至少包括:一矽基板;一晶 片,該晶片具有一主動表面及對應之一背面,且該晶片更 具有複數個金屬墊,其配置於該主動表面上,而該晶片係 以該背面貼附於該矽基板上;以及一積層線路層,配置於 該矽基板及該晶片上,該積層線路層具有一外部線路,其 中該些外部線路係電性連接該晶片之該些金屬墊,且至少 部分該外部線路係延伸至該晶片之該主動表面上方以外的 區域,並且該外部線路具有複數個接合墊,其位於該積層 線路層之表層,而每一該些接合墊係分別電性連接至該晶 片之部分該些金屬墊之一,其中該積層線路層至少包括一 圖案化導線層及一介電層,而該介電層係配置於該矽基板
及該晶片之上,其中該介電層具有複數個貫孔,且該圖案 化導線層係配置於該介電層之上,並穿過該介電層之該些 貫孔而電性連接該晶片之該些金屬墊,其中該圖案化導線 層係構成該外部線路及形成該外部線路之該些接合墊,該 外部線路更包括至少一被動元件,其中該被動元件係由該 圖案化導線層之部分結構所構成,其中該圖案化導線層之 材質為銅。
⑵第2 項:一種晶片封裝結構,至少包括:一矽基板;複數 個晶片,每一該些晶片分別具有一主動表面及對應之一背 面,且每一該些晶片更分別具有複數個金屬墊,其配置於 對應之該主動表面上,而每一該些晶片係分別以該背面貼 附於該矽基板上;以及一積層線路層,配置於該矽基板及 該些晶片上,該積層線路層具有一外部線路,其中該些外 部線路係電性連接該些晶片之該些金屬墊,且至少部分該 外部線路係延伸至該晶片之該主動表面上方以外的區域, 並且該外部線路具有複數個接合墊,其位於該積層線路層 之表層,而每一該些接合墊係分別電性連接至該些晶片之 部分該些金屬墊之一,其中該積層線路層至少包括一圖案 化導線層及一介電層,而該介電層係配置於該矽基板及該 些晶片之上,其中該介電層具有複數個貫孔,且該圖案化 導線層係配置於該介電層之上,並穿過該介電層之該些貫 孔而電性連接該些晶片之該些金屬墊,其中該圖案化導線 層係構成該外部線路及形成該外部線路之該些接合墊,該 外部線路更包括至少一被動元件,其中該被動元件係由該 圖案化導線層之部分結構所構成,其中該圖案化導線層之 材質為銅。
(三)原告主張系爭專利申請專利範圍第1、2項擬制喪失新穎性 ,所引用之證據為原證4,至於卷附原證5至原證9,原告 則係用來證明、建構系爭專利申請時熟悉該項技術之通常 知識之佐證資料,而卷附原證12則為原證4說明書第6頁所 載之先前技術,其等內容茲分述如下:
1、原證4為90年9月25日申請、92年5月12日公告之中華民國 發明第531854號「晶圓型態擴散型封裝之製程」專利案, 其申請日早於系爭專利申請日(90年12月31日),而公告 日則晚於系爭專利申請日,可執為系爭專利核准審定時所 適用之90年專利法第20條之1規定的先前技術。又原證4係 一種半導體封裝技術,特別是有關於利用擴散型(fan out)晶圓型態封裝製程製作封裝之方法。該發明包含切 割晶粒後,經過篩選,將晶粒黏著於玻璃底座上,再將黏 於晶粒上的金屬墊的I/O接頭透過特殊材質與方式,將I/
O 接頭植球的位置,以擴散型(fan out)方式,將接觸 點往外擴散到晶粒的邊緣甚至晶粒的外圍,此種接觸點往 外擴散,由於有較大的範圍來植入I/O植球,因此,一來 可以增加I/O植球的數目,增加更多I/O接觸點,二來可以 減少由於接觸點距(pitch)過於接近所造成的訊號干擾 (signal coupling)及銲錫接頭過於接近時造成的銲錫 橋接(solder bridge)問題。該發明的特徵是延用原來 之封裝機台,不需額外花費,同時,該發明可以應用到8 吋與12吋晶圓的封裝過程,又可以包含到晶粒與電容以及 多晶粒(multi-chip)或多種被動元件,例如中央處理器 、DRAM、SRAM等等在封裝底座的封裝過程。此外,由於所 選用的底座為玻璃底座,不會產生減少不同層之間,由於 材質使用的不同所引發的應力不平衡問題,增加其可靠度 。
2、原證5為1979年出版、JACOB MILLMAN 所著之「MICRO ELECTRONIC:Digital and Analog Circuits and Systems 」第115 頁及第167 頁部分影本(參本院卷第88 至90頁),其公開日早於系爭專利申請日(90年12月31日 ),得為證明、建構系爭專利申請時之通常知識。又原證 5第115頁記載整體電路佈局(monolithic-circuit layout)之設計規則(參本院卷第89頁);第167頁則記 載常見之封裝:雙列直插式(dual-in-line,塑膠或陶瓷 )封裝,其具有14個引線(leads),7個輸出(brought out)至積體電路(IC)之每一邊(參本院卷第90頁)。 3、原證6為1997年出版、Rao R. Tummala,Eugene J. Rymaszewski 以及Alan G. Klopfenstein所合著之「 MICROELECTRONICS PACKAGING HANDBOOK」第Ⅰ-12、Ⅰ-1 3、Ⅰ-64、Ⅰ-65、Ⅰ-82至87頁及第Ⅱ-133頁部分影本( 參本院卷第91至97頁),其公開日早於系爭專利申請日, 得為證明、建構系爭專利申請時之通常知識。又原證6第1 33頁第17至21行記載具有多層線路之晶片表面已經成為導 體與絕緣體結構之微觀結構圖,該結構普遍形成於先前的 多層印刷電路板上與多層陶瓷封裝上。
4、原證7為1999年出版、John H.Lau以及S. W. Ricky Lee 所合著之「Chip Scale Package」第157至161頁部分影本 (參本院卷第98至101頁),其公開日早於系爭專利案申 請日,得為證明、建構系爭專利申請時之通常知識。又原 證7第160頁第1至3行記載第二種型態差不多為具有扇出電 路與墊外接晶片區域之晶片尺寸封裝。
5、原證8為1989年出版之「Electronic Materials handbook
Volume 1 Packaging」第104至111頁部分影本(參本院卷 第102至106頁),其公開日早於系爭專利申請日,得為證 明、建構系爭專利申請時之通常知識。又原證8為一半導 體封裝技術領域之工具書,提供所有封裝技術領域者之相 關半導體封裝之技藝與資料,適用於所有該項技術領域者 使用。其中電子材料之物理特性一節中已說明,基板( substrate)作為一微電子電路之支持結構,主要為放置 各種微電子電路,例如導電元件、介電質、被動元件、電 阻材等,且基板必為絕緣體,以隔電路之導電通路,且必 須有良好的熱傳導性。
5、原證9為88年出版、郭嘉龍編譯之「半導體封裝工程」第 9-5頁部分影本(參本院卷第107至108頁),其公開日早 於系爭專利案申請日,得為證明、建構系爭專利申請時之 通常知識。又原證9為一半導體封裝技術領域之教科書, 主要適用大專院校學生作為教科書使用。其中第9-5頁表 9.1已揭露通常使用在封裝之主要材料,包含有各類絕緣 物,如氧化矽、碳化矽、氮化矽、氮化鋁、石英玻璃、聚 醯亞胺,環氧樹脂化合物等。
6、原證12為1997年5月13日公告之美國第5629835號「METAL BALL GRID ARRAY PACKAGE WITH IMPROVED THERMAL CONDUCTIVITY」專利案,其係原證4說明書第6頁所載之先 前技術。又原證12係關於一種具有整合凸塊(integral bumps)的電子封裝產品,當具整合凸塊元件為封裝基板 時可以減少焊球疲勞破壞(fatigue)。(四)原證4不足以證明系爭專利申請專利範圍第1項擬制喪失新 穎性:
1、原證4第12圖及說明書第10頁第12行揭示:一種晶圓型態 封裝;說明書第11頁第12至13行揭示:將進行封裝之晶圓 2 正面(或第一表面)具有做為輸入輸出之金屬墊,例如 是鋁墊;說明書第12頁第5至6行揭示:將晶粒2a擺置於玻 璃底座6上面,並透過黏著劑7黏著於玻璃底座6上面;說 明書第10頁第17至18行揭示:底座可以是玻璃、陶瓷或矽 晶。其中「晶圓型態封裝」、「玻璃底座6」、「晶粒2a 」及「鋁墊4」,可分別對應至系爭專利申請專利範圍第1 項之「晶片封裝結構」、「矽基板」、「晶片」及「金屬 墊」,故原證4已揭示系爭專利申請專利範圍第1項之「一 種晶片封裝結構,至少包括:一矽基板(6);一晶片(2a) ,該晶片具有一主動表面及對應之一背面,且該晶片更具 有複數個金屬墊(4),其配置於該主動表面上,而該晶片 係以該背面貼附於該矽基板上」技術特徵。
2、原證4 第12圖及說明書第12頁第7 行至第14頁第2 行揭示 :於矽基板6及該晶片2a上,由下而上依序形成有第一環 氧樹脂(EPOXY)10、銲錫(solder)12及鈦/銅(Ti/Cu)19、 銅導線14、第二環氧樹脂(epoxy)16,其中銲錫12係電性 連接該晶片之該些金屬墊4,銅導線14延伸至該晶片2a之 該主動表面上方以外的區域,並且具4個接合墊(圖12焊 錫球18的下方銅導線)位於第一環氧樹脂(EPOXY)10之表 層,而每一接合墊分別電性連接至晶片2a之金屬墊4。其 中「第一環氧樹脂(EPOXY)10、銲錫(solder)12和鈦/銅 (Ti/Cu)19、銅導線14及第二環氧樹脂(epoxy)16之堆疊」 、「電性連接金屬墊4的銲錫12、鈦/銅(Ti/Cu)19及延伸 至該晶片2a之該主動表面上方以外區域的銅導線14」,和 「焊錫球18的下方的銅導線部分」,係分別可對應至系爭 專利申請專利範圍第1項之「積層線路層」、「外部線路 」及「接合墊」,故原證4已揭示系爭專利申請專利範圍 第1項之「以及一積層線路層(10,12,19,14,16),配置於 該矽基板及該晶片上,該積層線路層具有一外部線路(12, 19,14),其中該些外部線路係電性連接該晶片之該些金屬 墊,且至少部分該外部線路係延伸至該晶片之該主動表面 上方以外的區域,並且該外部線路具有複數個接合墊(焊
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