智慧財產法院行政判決
105年度行專訴字第60號
原 告 黃慶賢
訴訟代理人 蔡清福律師
蔡律律師
蔡馭理專利師
被 告 經濟部智慧財產局
代 表 人 洪淑敏（局長）
訴訟代理人 陳聖
參 加 人 尼康股份有限公司
代 表 人 牛田一雄
訴訟代理人 江郁仁律師
上列當事人間因發明專利舉發事件，原告不服經濟部中華民國10
5 年6 月22日經訴字第10506306130 號訴願決定，提起行政訴訟
，並經本院命參加人獨立參加本件被告之訴訟，本院判決如下：
主 文
訴願決定及原處分均撤銷。
被告應就發明第146977號「曝光裝置及曝光方法」專利為舉發成立應予撤銷之處分。
訴訟費用由被告負擔。
事實及理由
一、程序事項：
㈠被告之代表人於起訴時為王美花，嗣於本院審理期間變更為 洪淑敏，並經其具狀聲明承受訴訟在卷（見本院卷二第409 至410頁），經核無不合，應予准許。
㈡原告起訴聲明第1 項原為：「原處分及訴願決定均撤銷」（ 見本院卷一第11頁），嗣於民國106 年3 月6 日當庭變更為 ：「原訴願決定及原行政處分均撤銷，被告應作成舉發成立 之審定」，被告及參加人並無異議（見本院卷二第473 至47 4 頁），而為本案之言詞辯論（本院卷二第538 至544 頁） ，依行政訴訟法第111 條第1 、2 項規定，自應允許。 ㈢又原告雖於本件行政訴訟階段始提出「原證6 是否可證明系 爭專利請求項1 、7 不具新穎性」、「原證2 、3 、6 、7 之組合或原證2 、5 、6 、7 之組合是否可證明系爭專利請 求項10不具進步性」之新爭點，惟按智慧財產案件審理法第 33條第1 項規定：「關於撤銷、廢止商標註冊或撤銷專利權 之行政訴訟中，當事人於言詞辯論終結前，就同一撤銷或廢 止理由提出之新證據，智慧財產法院仍應審酌之」。次按， 最高行政法院104 年度4 月份第1 次庭長法官聯席會議決議 （下稱104 年聯席會議決議）：「不論係基於原舉發證據或
新證據或新證據與原舉發證據之組合，於行政訴訟程序中倘 經法院適當曉諭爭點，並經當事人充分辯論，而專利權人自 行判斷後，復未向法院表明已向智慧局提出更正之申請時， 依行政訴訟法第200 條第3 款及100 年12月21日修正公布， 102 年1 月1 日施行前之專利法第67條第1 項第1 款或第10 7 條第1 項第1 款規定，法院審理之結果不論專利全部請求 項或部分請求項舉發成立者，均得就全案撤銷舉發不成立之 原處分及訴願決定，命智慧局為舉發成立、撤銷專利權之處 分。」基此，智慧財產案件審理法第33條第1 項之立法目的 ，係在於減少就同一專利權之有效性爭執，循環發生行政爭 訟，因此允許原告於行政訴訟中提出新證據及新證據組合。 並且，為避免當事人任意擴大事實審理範圍及平衡當事人審 級利益，將其限制在就同一撤銷或廢止理由提出之新證據。 查原告於本件原處分階段是以原證2 、6 之組合主張系爭專 利請求項1 、7 不具進步性，於本件行政訴訟階段方提出「 原證6 足以證明系爭專利請求項1 、7 不具新穎性」之主張 ，係減少原證據組合中之證據數而僅剩單一引證案欲證明系 爭專利請求項1 、7 缺乏新穎性，而在探究是否缺乏進步性 之前，本即可就新穎性為審查，且由主張缺乏進步性改為缺 乏新穎性，係有效性與否之轉降，在未提出新證據，且不用 考量證據間的交互相乘作用，而限縮審理範圍，在被告即原 處分機關已經對證據6 的整體技術內容曾加以審查之情況下 ，並不會造成突襲或延滯訴訟，職是，原告主張「原證6是 否足以證明系爭專利請求項1 、7 不具新穎性」應納入審理 範圍，應予准許。次查，原告於本件原處分階段係以原證2 、6 、7 之組合主張系爭專利請求項10不具進步性，於本件 行政訴訟階段方提出「原證2 、3 、6 、7 及原證2 、5 、 6 、7 之組合足以證明系爭專利請求項10不具進步性」之主 張，僅以原證據提出新證據組合，且由於原告於原處分階段 已提出「原證2 、3 、6 、7 及原證2 、5 、6 、7 之組合 足以證明系爭專利請求項5 不具進步性」之主張，系爭專利 請求項5 和請求項10的技術特徵一致，相對應的證據組合亦 已被被告即原處分機關審查過，因此，原告在本件訴訟階段 始提出前述主張並不會造成突襲或延滯訴訟。準此，本院對 於原告主張「原證2 、3 、6 、7 及原證2 、5 、6 、7 之 組合是否足以證明系爭專利請求項10不具進步性」之新爭點 ，亦應准許。
二、事實概要：
參加人前於89年11月22日以「曝光裝置及曝光方法」向被告 申請發明專利，並以西元1999年11月26日申請之日本第00-0
00000 號專利案及2000年10月17日申請之日本第0000-00000 0 號專利案主張優先權，經被告編為第89124732號審查，准 予專利，發給發明第146977號專利證書（下稱系爭專利）。 嗣原告以系爭專利違反核准時專利法第20條第2 項之規定， 對之提起舉發，參加人旋於104 年1 月9 日提出申請專利範 圍更正本，經被告審查，以105 年1 月20日(105) 智專( 二 )04169字第10520064240 號專利舉發審定書為「104 年1 月 9 日之更正事項，准予更正。請求項1 至11舉發不成立。」 之處分。原告對於原處分關於更正符合現行專利法第67條第 1 項第2 款與第2 、4 項之規定，作成「104 年1 月9 日之 更正事項，准予更正」部分不爭執，對舉發不成立部分不服 ，提起訴願，經經濟部105 年6 月22日經訴字第1050630613 0 號決定駁回，遂向本院提起行政訴訟。本院認本件判決之 結果，若認定應撤銷訴願決定及原處分，將影響參加人之權 利或法律上之利益，遂依職權命參加人獨立參加本件訴訟。三、原告聲明求為判決原訴願決定及原行政處分均撤銷，被告應 做成舉發成立之審定，並主張：
㈠原證2 、6 之組合足以證明系爭專利請求項1 、7 不具進步 性：
⒈原證6 存在系爭專利請求項1 「投影光學系統具有掃描方向 調整機構」之技術特徵，被告僅因原證6 將元件3a～3e命名 為投影光學系統，就逕行認為該元件3a～3e必須對應系爭專 利的投影光學系統（例如：原證1 元件12a ～12e ），顯然 速斷而屬無稽。尤其，「系統」泛指「由一群有關聯的個體 組成，根據某種規則運作，能完成個別元件不能單獨完成的 工作的群體」（參見維基百科定義），例如，系爭專利之「 倍率調整機構」把投影光路徑上的元件31～33及35～37之直 角稜鏡、透鏡、凹面鏡組合泛稱為「戴桑型光學系統」以及 元件45、47亦泛稱為「變焦距光學系統」。相同的，原證6 的倍率調整機構即「投影光學系統3a～3e」（其包括例如原 證6 圖11的凹透鏡及凸透鏡模組30a ～30c ），也都是泛指 投影光路徑上與倍率調整（changing magnification）有關 聯的光學器件總成，屬於抽象性元件概括，而非指具有固定 外形構件。更有甚者，由於投影的光路徑不能被打斷或遮蔽 ，否則無法成像。因此，系爭專利圖2 和原證6 圖6 的投影 光都是經過一連串複數個特定功能的光學器件或子系統，而 與該等光學器件或子系統共同構成一個完整作用系統。如前 所述，不同撰寫者既對相同或不同之系統或子系統有著不同 或相同之名稱，則吾人允不宜困於單一泛指名稱，並據之而 強加形式上區分內外，且竟指為實質上有所不同。被告因拘
泥於名詞本身，而機械性強為誤認原證6 與原證1 或原證2 的投影光學系統與掃描方向調整機構之從屬關係不同，誤會 其實質上有異，或竟誤認其無法與原證2 結合，顯有不當且 違法。
⒉原證6 的「投影光學系統3a～3e」在曝光裝置中的功能定位 上應該對應於系爭專利的「倍率調整機構」（其係由「戴桑 型光學系統」31～33、35～37及「變焦距光學系統」45、47 構成），而非對應系爭專利的「投影光學系統12a ～12e 」 ，同一曝光裝置本有多個器件或子系統，如何將多個器件歸 屬何一系統，乃專利撰稿者之任意選擇。如若拘泥或自陷於 詞語之記載形式相同，而將實質上不相同之器件（例如，系 爭專利的投影光學系統12a ～12e 和原證6 的投影光學系統 3a～3e），硬指為相同元件，豈非與根據說明書解釋申請專 利範圍的法理背道而馳？依通常概念，兩個子系統之組合可 以合稱為一個系統。例如，原證6 的「平行玻璃鏡片4a～4e 」在功能上為一「位移調整機構」（子系統），「投影光學 系統3a～3e」在功能上為一「倍率調整機構」（子系統）， 兩者之組合即可以合稱為一投影光學系統。由於系爭專利的 掃描方向調整機構120 同時包括「位移調整機構」及「倍率 調整機構」之功能，因此原證6 的對應部件應為平行平板玻 璃4a～4e（位移調整機構）及投影光學系統3a～3e（倍率調 整機構）內的倍率調整光學元件（例如，凹透鏡及凸透鏡模 組30a ～30c ）。綜言之，系爭專利請求項1 之曝光裝置雖 因撰稿者之偏好而擁自有定義之投影光學系統（例如，元件 12a～12e，其包含平行平板玻璃41、42與兩戴桑型光學系統 31～33及35～37與變焦距光學系統45、47之組合）而直接對 應原證6 曝光裝置中投影光學系統（即平行平板玻璃4a～4e 與投影光學系統3a～3e等兩個子系統之組合）；系爭專利的 掃描方向調整機構（例如，平行平板玻璃41、42與倍率調整 機構內的第一組戴桑型光學系統31～33與變焦距光學系統45 等倍率調整光學元件之組合），故直接對應了原證6 的掃描 方向調整機構（即平行平板玻璃4a～4e與投影光學系統3a～ 3e內的倍率調整光學元件（例如，凹透鏡及凸透鏡模組30a ～30c ）之組合）。此外，由原證6 圖2 ，當即可是認或證 明上述原告之論點，從原證6 圖2 很明顯可知，投影光學系 統3a～3e和平行玻璃鏡片4a～4e與放大倍率控制裝置（MAG CONT DEV，原證6 元件10）、控制裝置（CONT DEV，原證6 元件11）以及驅動裝置（DR DEV，原證6 元件12）等元件共 同形成一控制系統（control system），實現光軸AX1～AX5 的移動。因此，原證6 投影光學系統3a～3e和平行玻璃鏡片
4a～4e係在同一光學系統中之投影光路徑上連續作用以達成 投影之位移調整及倍率調整目的的兩個主要光學器件模組或 子系統。原證6 撰稿者所使用名稱投影光學系統3a～3e和平 行玻璃鏡片4a～4e兩者因為光源的直接進出，彼此間僅存在 命名或稱呼上之區別，且其間不存在任何殼體使之彼此物理 上有所分隔。被告所認原證6 的投影光學系統與掃描方向調 整機構為彼此分開的元件而不屬於同一光學系統，顯然是被 文字表面所迷惑，而未能回歸技術的本質所使然。綜上，原 證6 之曝光裝置因含有倍率調整機構與位移調整機構兩者， 與系爭專利或原證2 莫不相同，亦存有兩機構組成之投影光 學系統及包含其中之「掃描方向調整機構」，故其技術特徵 本得與原證2 結合。
⒊原證6 可完成系爭專利請求項1 「前述掃描方向調整機構是 基於前述基板中之曝光區域之外側中沿與前述掃描方向交叉 之非掃描方向形成之複數對準標記之計測結果，調整前述投 影像之前述掃描方向之位置」之技術特徵：
⑴利用原證6 的（Dx11－Dx12）與（Dx21－Dx22）平均值變 成基板或光罩沿著光軸的旋轉量並非比對重點，因為旋轉 量係用於調整影像旋轉校正，而非用於調整影像在掃描方 向之位移校正。其次，利用原證6 的（Dx11－Dx21）與（ Dx12－Dx22）轉換成感光基板在掃描方向（X 方向）的膨 脹量及收縮量才是比對重點，因為該膨脹量及收縮量係用 於位移校正而決定了如何調整前述投影像之掃描方向之位 置。其例示透過掃描方向調整機構120 對五個投影領域M1 ～M5根據旋轉量之計測結果進行旋轉校正（圓弧狀箭頭） ，以及在掃描方向或非掃描方向（X 方向及Y 方向箭頭） 根據各該方向的膨脹量及收縮量之計測結果進行位移校正 之示意圖（原證1 第36～37頁）。
⑵被告聲稱原證6 的曝光裝置透過參數（Dx11－Dx12）與（ Dx12－Dx22），調整的結果就如圖6 所示，調整的是影像 在基板上的y 方向（非掃描方向）位置乙節，被告顯然曲 解原證6 內容，企圖混淆視聽。因為，（Dx11－Dx21）與 （Dx12－Dx22）的平均值雖變成感光基板在掃描方向的膨 脹／縮減量，但是原證6 並未以圖式表示此揭露內容，僅 透過文字闡明。原證6 的圖6 是關於（Dy1 －Dy2 ）的計 測結果和調整方式（即調整影像在基板上的Y 方向〔掃描 方向〕位置），與（Dx11－Dx21）與（Dx12－Dx22）的計 測結果和調整方式剛好相反。因此，原證6 圖6 恰巧可以 旁證原證6 揭露（Dx11－Dx21）與（Dx12－Dx22）的計測 結果係用於調整影像在基板上的X 方向（掃描方向）位置
。
⒋詳言之，根據原證6 第8 欄第5 至8 行記載，係利用沿與前 述掃描方向交叉之非掃描方向（Y 方向）形成之複數對準標 記Dx11、Dx12、Dx21及Dx22，透過至少（Dx11－Dx21）與（ Dx12－Dx22）轉換成感光基板在掃描方向（X 方向）的膨脹 量及收縮量之計測結果（As a result, the average value of the differences〔Dx11－Dx21〕and 〔Dx12－Dx22〕of the respective positions becomes the amount of expan sion and contraction of the photosensitive substrate in the X-direction）。此外，根據原證6 第8 欄第49至55 行記載，此掃描方向（X 方向）的膨脹量及收縮量之計測結 果，於隨後的曝光階段，即作為調整投影像之掃描方向（X 方向）之位置依據，控制投影光學系統3a～3e及平行玻璃鏡 片4a～4e之改變光放大倍率及位移量（Then, when perform ing exposure to the photosensitive substrate 5, the control device 11 changes magnifications of the proj ection optical systems 3a to 3e by means of the magn ification control device 10 based on the amounts of expansion and contraction stored in the memory and sends instructions to a drive device 12 to drive the plane parallel glasses 4a to 4e to shift the optical axes）。準此，原證6 揭露的技術手段已完全揭露系爭專利 「沿與前述掃描方向交叉之非掃描方向（Y 方向）形成之複 數對準標記之計測結果，調整前述投影像之前述掃描方向之 位置」。
⒌原證6 第7 欄第17至21行亦明確揭露標記Dyl 、Dy2 是沿掃 描方向X 形成之複數對準標記（marks Dy1, Dy2…formed… successively along the scanning direction ）。原證6 第7 欄第22至25行明確揭露標記Dx11、Dx12、Dx21及Dx22是 沿非掃描方向形成之複數對準標記（marks Dx11、Dx12、Dx 21及Dx22…formed…in Y-direction），職是，被告在舉發 核駁理由中，對於原證6 揭露技術的解讀顯然錯誤。 ⒍此外，被告已經承認原證6 的對準標記Dyl －Dy2 揭露了「 基於…掃描方向之複數對準標記之計測結果，（以）調整前 述投影像在前述非掃描方向之位置」。這個結論可以與系爭 專利的技術內容作相同類比，例如系爭專利圖14揭露基於掃 描方向（X 方向）之複數對準標記24a ～24j 之計測結果， 以調整前述投影像在前述非掃描方向（Y 方向）之位置。相 同地，原證6 相似的技術揭露內容可參考圖6 的說明。首先 ，原證6 第8 欄第29至33行揭露掃描方向X 形成之複數對準
標記（即Dy1 及Dy2 ）係用以計測非掃描方向Y 的膨脹量及 收縮量Dy1 －Dy2 （"he amount of expansion and contra ction of the photosensitive substrate in the Y-direc tion due to its position in the X-direction can be obtained continuously by converting the difference between the detection signals of the mark Dy1, Dy2 to the distance in the Y-direction" ）。其次，原證6 第9 欄第63~67 行及第10欄第1~9 行揭露基於此掃描方向之 複數對準標記之計測結果，以調整前述投影像在前述非掃描 方向之位置。極其明顯者，系爭專利和原證6 在掃描方向（ X 方向）之複數對準標的作用是一致的。依此結果，本領域 具有通常知識者可直接而無歧異的反面論證，系爭專利和原 證6 在非掃描方向（Y 方向）之複數對準標的作用也是一致 的。例如，根據原證6 第11欄第6~11行內容可知，在非掃描 方向（Y 方向）之複數對準標記Dx同樣可以透過Dx11－Dx21 與Dx12－Dx22（可簡記為Dx1 －Dx2 ），計測出掃描方向X 的膨脹量及收縮量，以調整前述投影像在非掃描方向（Y 方 向）之位置（Also, when correcting the expansion and contraction of each arbitrarily chosen position on the photosensitive substrate in the X-direction, the magnifications of the projecti onoptical systems and the angles of rotations of the plane parallel glasse s are controlled continuously during scanning exposu re）。
⒎綜上，原證6 可完成系爭專利請求項1 「前述掃描方向調整 機構是基於前述基板中之曝光區域之外側中沿與前述掃描方 向交叉之非掃描方向形成之複數對準標記之計測結果，調整 前述投影像之前述掃描方向之位置」之技術特徵。由於系爭 專利與原證6 之曝光裝置兩者就掃描方向調整機構本身或其 設置，基於前述，並無所異，故強欲判斷掃瞄方向調整機構 與同一曝光裝置內吾人得隨意命名之某一相關特定名稱系統 之從屬關係是否相同，顯屬無稽，亦可輕易判知系爭專利與 原證6 兩者中相關投影光學系統與掃描方向調整機構兩者之 驅動方式亦無不同，故熟習該項技術者本可組合原證2 、6 的內容，而輕易完成系爭專利請求項1 的發明。再者，系爭 專利請求項1 記載之投影光學系統、其結構與「調整」影像 的方式，皆與原證6 實質相同；證據2 與原證6 在投影光學 系統的結構上並無實質差異，雖兩者透過位移量來調整的計 算方式有所不同，俾分別適用於投影光學系統本身誤差的校 正以及感光基板變形的校正，然因兩者適用於不同部分的校
正，兩者本無衝突之可言。更何況，原告之證據組合僅取其 一，即有關感光基板變形誤差的校正，而與另一投影光學系 統本身誤差的校正委無相涉，則此兩證據本得輕易組合。又 因爭專利更正後請求項7 僅是與請求項1 實質相同的曝光方 法，因此也可被輕易完成。故原證2 、6 的組合足以證明系 爭專利請求項1 、7 不具進步性。
㈡原證6足以證明系爭專利請求項1、7不具新穎性： 原證6 已然揭露系爭專利請求項1 之一種曝光裝置（元件1 ），其係沿既定方向（掃描方向X ）同步掃描具有圖案之光 罩（元件2 ）與基板（元件5 ），透過完整投影光學系統（ 元件3a～3e與4a～4e之組合）於前述基板上進行前述光罩圖 案之曝光者，其特徵在於：前述投影光學系統個別地具有掃 描方向調整機構（元件4a～4e與3a～3e內部倍率調整光學元 件之組合），以調整投影於前述基板之投影像在前述掃描方 向之位置。至於系爭專利請求項1 剩餘之區別技術特徵，即 「前述掃描方向調整機構是基於前述基板中之曝光區域之外 側中沿與前述掃描方向交叉之非掃描方向形成之複數對準標 記之計測結果，調整前述投影像之前述掃描方向之位置」， ，已被原證6 所完全揭露。又系爭專利更正後請求項7 僅是 與請求項1 實質相同的曝光方法。綜上，原證6 本身即足以 證明系爭專利請求項1 、7 不具新穎性。
㈢原證2 至7 之各相應組合足以證明系爭專利請求項2 至6 、 8至11不具進步性：
⒈原證2 、5 、6 之組合足以證明系爭專利請求項2 不具進步 性：
系爭專利請求項2 為請求項1 之附屬項，而包括請求項1 之 全部技術特徵，再做進一步之界定。被告及訴願決定均承認 原證5 、6 之組合已揭示請求項2 所進一步界定之技術特徵 。由於原證2 、6 之組合已揭露請求項1 所有技術特徵，故 原證2 、5 、6 之組合足以證明系爭專利請求項2 不具進步 性。
⒉原證2 、6 之組合足以證明系爭專利請求項3 、8 不具進步 性：
系爭專利請求項3 、8 分別為請求項1 、7 之附屬項，其包 括請求項1 、7 之全部技術特徵，而再做進一步之界定。由 於系爭專利請求項3 、8 進一步界定之技術特徵與請求項1 、7 ，實質差別僅在於投影光學系統具有沿與前述掃描方向 交叉之方向配設之複數投影光學系統模組，然而，不論原證 2 和原證6 都揭露了請求項3 、8 進一步之界定之技術特徵 。例如，原證2 揭露投影光學系統（元件5 ～9 投影透鏡）
係具有沿與前述掃描方向交叉之方向配設之複數投影光學系 統模組（元件400 ～402 、圖29～30之凹透鏡及凸透鏡模組 ），掃描方向調整機構（元件17～21調整機構）係調整前述 複數投影光學系統模組400~402 之各模組在前述掃描方向之 投影像位置（參見原證2 第5 欄第62至65行、第7 欄第12至 16行及第12欄第47至59行）。再例如，原證6 揭露投影光學 系統（元件3a～3e與4a～4e之組合）係具有沿與前述掃描方 向交叉之方向配設之複數投影光學系統模組（元件3a～3e、 30a ～30c ，圖11之凹透鏡及凸透鏡模組），掃描方向調整 機構（元件4a～4e與3a～3e內部倍率調整光學元件之組合） 係調整前述複數投影光學系統模組（3a～3e、30a ～30c ） 之各模組在前述掃描方向之投影像位置（參見原證第6 欄第 18至35行、第6 欄第35至43行及第11欄第63行至第12欄第1 行；圖1 、圖11）。原證2 、6 之組合已揭露請求項1 、7 所有技術特徵，故原證2 、6 之組合足以證明系爭專利請求 項3 、8 不具進步性。
⒊原證2 、3 、6 之組合足以證明系爭專利請求項4 、9 不具 進步性：
系爭專利請求項4 、9 分別為請求項1 、7 之附屬項，其包 括請求項1 、7 之全部技術特徵，而再做進一步之界定。由 於原證2 、6 之組合已揭露請求項1 、7 所有技術特徵，故 原證2 、3 、6 之組合足以證明系爭專利請求項4 、9 不具 進步性。
⒋原證2 、6 、7 、原證2 、3 、6 、7 、原證2 、5 、6 、 7 之組合足以證明系爭專利請求項5 、10不具進步性： 系爭專利請求項5 、10分別為請求項1 至4 、7 及8 之附屬 項，其包括請求項1 、7 之全部技術特徵，而再做進一步之 界定。由於原證2 、6 、原證2 、3 、6 、原證2 、5 、6 之組合已揭露請求項1 至4 、7 及8 所有技術特徵，故原證 2 、6 、7 、原證2 、3 、6 、7 、原證2 、5 、6 、7 之 組合足以證明系爭專利請求項5 、10不具進步性。 ⒌原證2 、4 、6 之組合足以證明系爭專利請求項6 、11 不 具進步性：
系爭專利請求項6、11分別為請求項1、7之附屬項，其包括 請求項1 、7 之全部技術特徵，而再做進一步之界定。由於 原證2 、6 之組合已揭露請求項1 、7 所有技術特徵，故原 證2、4、6 之組合足以證明系爭專利請求項6 、11不具進步 性。
四、被告聲明求為判決原告之訴駁回，並抗辯： ㈠原證2 、6 之組合無法證明系爭專利請求項l 及7 違反專利
法第20條第2 項的規定：
⒈系爭專利請求項1 於104 年1 月9 日更正後版本之記載「投 影光學系統具有掃描方向調整機構」，對照系爭專利說明書 第12頁之記載與圖2 、3 之顯示，投影光學系統12a 具備成 像特性調整機構120 （掃描方向調整機構）。投影光學系統 12a 具有上下組合2 組光學系統之構成，係由光學系統31～ 33、視場光闌34和第2 部份光學系統35～37所構成。第1 部 份光學系統，具有直角稜鏡31、透鏡32及凹面鏡33；第2部 份光學系統，具有直角稜鏡35、透鏡36及凹面鏡37，而掃描 方向調整機構120 所涵括的元件應參照圖2 所示。由上可知 ，系爭專利的投影光學系統12a 已包含掃描方向調整機構12 0 ，而掃描方向調整機構120 又包含多個透鏡與反射鏡組。 系爭專利請求項1 的各元件從屬（包含）關係與圖2 、3 相 符。證據6 的掃描方向調整機構（又稱平行玻璃片元件，元 件4a～4e）確實未被包含於投影光學系統（元件3a～3e）， 證據6 圖6 其實證明了成像特性調整可執行於投影光學系統 之外，此差異與請求項1 的限制不相符。再者，原告所舉原 證6 的掃描方向是X 方向，調整機構（元件4a～4e）調整的 是影像在基板上的Y 方向（非掃描方向）位置，如圖6 與第 9 欄第48行起的內容顯示原影像應落於α位置，藉由元件4a 的偏轉，調整為落於α’位置。反觀系爭專利說明書第13頁 對圖4 的說明，藉由位移部41、42（位移機構），其用來隨 著光罩10沿X 方向（掃描方向）及Y 方向（非掃描方向）之 移動，而系爭專利請求項1 僅限定「具有掃描方向調整機構 ，以調整投影於前述基板之投影像在前述掃描方向之位置」 。承上可知，系爭專利請求項1 記載之投影光學系統12a 所 具有的掃描方向調整機構120 ，其「調整」影像的投影位置 的方式，與原證6 有所不同。同時，原證2 圖1 的掃描方向 調整機構（元件17～21）是被包含於投影光學系統（元件5 ～9 ），再依據第7 、9 欄之記載，元件17～21可利用Δx1 、Δx2、Δy1、Δy2等位移量來調整水平方向（shift x 、 shifty）的位置與旋轉量（Rot ）。顯然原證2 與原證6對 位移量來調整計算方式完全不同，無法證實原證2 與原證6 組合後的計算方式為何。綜上，系爭專利請求項1 記載之投 影光學系統，其結構與「調整」影像的方式，皆與原證2、6 有所不同；復以證據2 與原證6 在投影光學系統的結構上有 差異，結構上並非可輕易組合，且原證2 與原證6 位移量來 調整計算方式完全不同，難以證實原證2 與原證6 可以輕易 組合，即便組合也還是欠缺「前述投影光學系統具有掃描方 向調整機構，以調整投影於前述基板之投影像在前述掃描方
向之位置」，故不足以證明系爭專利請求項l 違反專利法第 20條第2 項的規定。
⒉系爭專利請求項1 於104 年1 月9 日更正後版本之記載所新 增的技術特徵，係對應於圖18與說明書第32頁，圖18顯示沿 與前述掃描方向（箭頭方向）交叉之非掃描方向形成之複數 對準標記（元件24k ～24p ），調整前述投影像在前述掃描 方向之位置。前已說明爭專利請求項1 記載之「調整」影像 的投影位置的方式，與原證6 有所不同的原因。再者，原證 6 第8 欄第5 至10行等內容記載（Dx11－Dx12）與（Dx12－ Dx22）的平均值變成基板在掃描方向的膨脹／縮減量，（Dx 11－Dx12）與（Dx21－Dx22）的平均值變成基板或光罩沿著 光軸的旋轉量，調整的結果就如圖6 所示，調整的是影像在 基板上的y 方向（非掃描方向）位置。此外，原證6 第8欄 第25至28行等內容記載Stage 6 的Y 方向控制是藉由Dy1 、 Dy 2，與X 方向有關的Y 方向膨脹／收縮量控制也是藉由Dy 1 、Dy2 ，承上可知，原證6 其實未揭示原告所指摘請求項 1 的技術特徵。復與原證2 第7 欄及圖1 ～3 等記載shift x、shifty、Rot 等掃描、非掃描方向位置與旋轉量等修正 值計算公式並不相同，原證2 其實也沒有直接揭示原告所指 摘請求項1 的技術特徵。更且，由原證2 與原證6的 記載可 發現，二者的修正值之計算公式根本不同。綜上，因原證6 並未揭露系爭專利請求項1 的「調整前述投影像在前述掃描 方向之位置」技術特徵，且原證6 與原證2 在驅動投影光學 系統與掃描方向調整機構的從屬關係不同，調整影像的方式 不相同，且修正值計算公式差異頗大，熟習該項技術者應無 法組合申請前既有的原證2 、6 的內容，即便勉強組合申請 前既有的原證2 、6 的內容，亦無法輕易完成系爭專利請求 項1 的發明，故原證2 、6 的組合不足以證明系爭專利請求 項1 及7 （請求項1 所對應的方法請求項）違反核准當時專 利法第20條第2 項之規定。
㈡前已說明系爭專利更正後請求項1 、7 與原證6 技術特徵的 不同，包括結構與「調整」影像的方式等不同。因此，單以 原證6 不足以證明系爭專利請求項1 及請求項7 （請求項1 所對應的方法請求項）違反核准當時專利法第20條第1 項之 規定。
㈢雖證據5 、6 之技術特徵的組合已揭示系爭專利請求項2 所 附加的技術特徵，但由於因熟習該項技術者應無法組合證據 2 、6 的內容已於前所述，且證據5 並未揭露證據2 、6 與 系爭專利請求項1 之間具差異之技術特徵，是以由證據2 、 5 、6 所揭露內容之組合，熟習該項技術者仍無法輕易完成
系爭專利請求項2 之發明。
㈣原告認為原證2 與原證6 均已揭示系爭專利請求項3 、8 的 「前述投影光學系統，係具有沿與前述掃描方向交叉之方向 配設之複數投影光學系統模組；前述掃描方向調整機構，係 調整前述複數投影光學系統模組之各模組在前述掃描方向之 投影像位置。」技術特徵，並且分別於原證2 與原證6 各指 摘3 處內容。然所被指摘的原證2 與原證6 該等內容，皆與 系爭專利請求項3 、8 的「前述投影光學系統，係具有沿與 前述掃描方向交叉之方向配設之複數投影光學系統模組；前 述掃描方向調整機構，係調整前述複數投影光學系統模組之 各模組在前述掃描方向之投影像位置。」技術特徵無關，復 以證據2 與證據6 無法輕易組合的理由也敘明，故熟習該項 技術者仍無法依證據2 、6 所揭露內容之組合而輕易完成系 爭專利請求項3 、8 之發明。
㈤原告認為證據3 第13、34圖的內容與證據2 、6 等的重疊區 域內容，主張系爭專利請求項4 為證據2 、證據6 與證據3 的組合與修飾、置換而可輕易獲得，故系爭專利請求項4 不 具進步性。然證據3 與系爭專利的元件比對已於原處分說明 ，證據3 雖揭示系爭專利請求項4 所附加的技術特徵，但由 於證據2 與證據6 無法輕易組合而得到系爭專利請求項1 的 發明，且證據2 、6 所欠缺揭示系爭專利請求項1 的部分技 術特徵，該欠缺的技術特徵仍未於證據3 揭示，故證據2、3 、6 等的組合與修飾、置換仍不足以證明系爭專利請求項4 違反核准當時專利法第20條第2 項之規定。
㈥證據7 與系爭專利的元件比對已於原處分說明，證據7 雖揭 示系爭專利請求項5 所附加的技術特徵，但是由於證據2與 證據6 無法輕易組合而得到系爭專利請求項1 的發明，且證 據2 、6 所欠缺揭示系爭專利請求項1 的部分技術特徵都已 敘明，該欠缺的技術特徵仍未於證據7 揭示，故證據2 、6 、7 等的組合與修飾、置換仍不足以證明系爭專利請求項5 違反核准當時專利法第20條第2 項之規定，原處分之方式並 無違誤，訴願理由書第20頁下段至第27頁之主張不可採。相 同地，證據2 、6 所欠缺揭示系爭專利請求項1 的部分技術 特徵也未於證據3 、5 揭示，故證據2 、3 、6 、7 與證據 2 、5 、6 、7 等的組合與修飾、置換仍不足以證明系爭專 利請求項5 違反核准當時專利法第20條第2 項之規定。 ㈦證據4 與系爭專利的元件比對已於舉發審定書說明，證據4 雖揭示系爭專利請求項6 所附加的技術特徵；但是由於證據 2 與證據6 無法輕易組合而得到系爭專利請求項1 的發明， 且證據2 、6 所欠缺揭示系爭專利請求項1 的部分技術特徵
都已敘明，該欠缺的技術特徵仍未於證據4 揭示，故證據2 、6 、4 等的組合與修飾、置換仍不足以證明系爭專利請求 項6 違反核准當時專利法第20條第2 項之規定。五、參加人聲明求為判決原告之訴駁回，並主張： ㈠原證2 、6 之組合無法證明系爭專利請求項1 、7 不具進步 性：
⒈原告主張原證6 存在「投影光學系統具有掃描方向調整機構 」。然而，根據系爭專利請求項1 之定義，所謂「掃描方向 調整機構」是指「調整投影於前述基板之投影像在前述掃描 方向之位置」，詳言之係「基於前述基板中之曝光區域之外 側中沿與前述掃描方向交叉之非掃描方向形成之複數對準標 記之計測結果，調整前述投影像在前述掃描方向之位置」。 退萬步言，即使對於「將與系爭專利請求項1 中之投影光學 系統12a ～12e 對應之構件認定為原證6 中之光學系統3a～ 3e與平行玻璃鏡片4a～4e之組合」不爭執，從原證6 圖6亦 可得知，原證6 圖6 之發明不調整投影像在掃描方向（X 方 向）之位置，僅調整投影像在非掃描方向（Y 方向）之位置 ，故原證6 不存在「投影光學系統具有掃描方向調整機構」 。此外，原告主張「原證6 圖6 是關於（Dy1 －Dy2 ）的計 測結果和調整方式（即調整影像在基板上的Y 方向（掃描方
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