發明專利舉發
臺北高等行政法院(行政),訴字,97年度,739號
TPBA,97,訴,739,20080910,2

臺北高等行政法院判決
　　　　　　　　　　　　　　　　　　 97年度訴字第00739號
　　　　　　　　　　　　　　　
原　　　告　英屬蓋曼群島商．周星科技股份有限公司
代　表　人　甲○○Lee Y
訴訟代理人　黃章典 律師
　　　　　　張哲倫 律師
　　　　　　己○○ ○○專利
被　　　告　經濟部智慧財產局
代　表　人　王美花（局長）
訴訟代理人　丙○○
　　　　　　戊○○
參　加　人　美商‧應用材料股份有限公司
代　表　人　乙○○○○○○
訴訟代理人　徐念懷 律師
　　　　　　丁○○專利代理人
上列當事人間因發明專利舉發事件，原告不服經濟部中華民國97
年1 月18日經訴字第09706100310 號訴願決定，提起行政訴訟，
並經本院依職權命第三人美商‧應用材料股份有限公司參加訴訟
，本院判決如下：
主 文
原告之訴駁回。
訴訟費用由原告負擔。
事 實
一、事實概要：
參加人美商應用材料股份有限公司前於民國（下同）90年1 月16日以「電漿室中以可彎曲方式懸固之氣體散流組件」向 被告智慧財產局申請發明專利，同時並以受理國家為美國， 申請日為西元2000年1 月20日，申請案號為09/488,612號之 專利案主張優先權。經被告編為第00000000號審查，准予專 利，並於公告期滿後，發給發明第152996號專利證書（下稱 系爭專利）。嗣原告於93年3 月22日提出專利舉發申請書， 對系爭專利提起舉發，並分別在93年10月15日、94年9 月29 日、95年3 月31日及96年2 月15日提出專利舉發補充理由書 ，主張系爭專利違反核准時專利法第20條第1 項第1 款、第 2 項、第22條第4 項、第71第3 款、第4 款及專利法施行細 則第16條第2 項規定。嗣參加人於93年8 月13日提出系爭專 利申請專利範圍更正本，因所援引之法律依據有誤，經被告 就本件專利舉發案於94年9 月2 日進行面詢時，告知參加人 應更正。參加人乃於95年1 月6 日再提出系爭專利申請專利



範圍更正本，請求更正系爭專利申請專利範圍第1 項、7 項 、8 項、9 項、16項、28項及第40項，經被告審查，因其中 申請專利範圍第16項及第40項有不准予更正之情事，乃以95 年12月7 日（95）智專三（五）01064 字第09521047520 號 函通知參加人限期重新提出更正本。參加人依被告之函知， 復於95年12月25日重新提出系爭專利申請專利範圍更正本（ 更正部分為申請專利範圍第1 項、第7 項、第8 項、第9 項 、第28項及第40項）。經被告將該更正本與系爭專利91年3 月1 日公告本比較，核認該等請求項之更正，或為「申請專 利範圍之縮減」，或為「誤記事項之訂正」，或為「不明瞭 記載之釋明」，且均未實質擴大或變更申請專利範圍，符合 專利法規定，准予更正。本件專利舉發案依系爭專利95年12 月25日更正本審究。案經被告審查，於96年7 月10日以（96 ）智專三（五）01064 字第09620383880 號專利舉發審定書 為「舉發不成立」之處分（下稱原處分）。原告不服，提起 訴願，經經濟部97年1 月18日經訴字第09706100310 號訴願 決定駁回，原告仍不服，遂向本院提起行政訴訟。本院依職 權命參加人參加訴訟。
二、兩造聲明：
　㈠原告聲明：
⒈訴願決定及原處分均撤銷。
⒉被告應作成舉發成立之處分。
　㈡被告聲明：原告之訴駁回。
三、兩造之爭點：
⑴參加人95年12月25日所為之更正是否合法？ ⑵系爭專利之實施是否可能？
⑶證據3 、4 可否證明系爭專利不具新潁性及進步性？　㈠原告主張：
⒈依系爭專利更正時之專利法規定，專利更正「不得超出申 請時原說明書或圖式所揭露之範圍」，系爭專利95年12月 25日之更正申請，明顯悖於前揭規定，被告仍准予更正， 並逕以非法更正後之申請專利範圍審斷本件舉發，原處分 自無可維持：
⑴專利更正之申請應依申請更正時之專利法審斷，本件專 利舉發案審斷之客體「係依系爭專利95年12月25日申請 專利範圍更正本審究」（訴願決定第4 頁第13行），則 系爭專利更正之法律基礎，自應適用現行專利法之規定 。此等涉及系爭專利更正之法律及事實基礎，被告應無 爭執。
⑵依現行專利法第64條第2 項之規定：「前項更正，不得



超出申請時原說明書或圖式所揭露之範圍，且不得實質 擴大或變更申請專利範圍」。故系爭專利任何更正之申 請，必應有系爭專利原說明書或圖示之支持，始可謂為 適法。
⑶另更正是否「超出申請時原說明書或圖式所揭露之範圍 」，依現行專利審查基準所定之標準，係以「該發明所 屬技術領域中具有通常知識者自原說明書或圖示所記載 事項能直接且無歧異（directly and unambigiously） 得知者」為限，此等基準所定之標準，深信被告亦無爭 執。
⑷查參加人於95年12月25日對系爭專利申請專利範圍第1 項之更正，將原先核准公告之內容：「該第一端與該第 二端之間的至少一可彎曲部分」，改變為「該第一端與 該第二端之間且位於該氣體散流盤之上的至少一可彎曲 部分」。
⑸關於該更正是否超出申請時原說明書或圖式所揭露之範 圍，被告僅簡單表示：「該懸置機構及氣體散流盤之相 對位置關係可由說明書第9 頁第16至19行之敘述及第4 圖所支持」（參見原處分第3 頁第16行）。然原處分並 未說明系爭專利說明書第9 頁第16至19行或第4 圖如何 能支持該懸置機構之至少一可彎曲部分係位於該氣體散 流盤之上。
⑹查系爭專利說明書第9 頁第16至19行之內容係：「進氣 歧管是屬於反應室（chamber ）的內部且其底部係裝置 於氣體散流盤或是散流器盤之上，其旁邊為可彎曲式的 側壁或懸置機構24（suspension），頂部接連外壁或者 背壁」（系爭專利90年1 月16日說明書公告本第9 頁， 見本院卷㈠第68至133 頁）。該內容係表示「進氣歧管 」（而非可彎曲式的側壁或懸置機構）係置於「氣體散 流盤或是散流器盤之上」，完全未論及可彎曲之側壁或 懸置機構之相對位置，故系爭專利原說明書第9 頁之內 容，完全無法支持系爭專利第1 項所為之更正內容：即 「該懸置機構之至少一可彎曲部分係位於該氣體散流盤 之上」。顯見原處分核准系爭專利申請專利範圍第1 項 更正之審定，完全違背現行專利法第64條第2 項之規定 。
⑺事實上，被告亦察覺利用系爭專利說明書第9 頁第16至 19行之內容用來支持申請專利範圍第1 項所主張之「進 氣歧管」，將造成兩組氣體散流盤及兩組懸置機構之錯 誤解讀，而無法實施。然其竟以：「系爭案說明書第9



頁第15至20行之文字尚不致於使熟悉此項技術之人士混 淆」為由，而認為爭專利說明書第9 頁第16至19行之錯 誤描述可被接受（原處分第8 頁末行）。
⑻惟查，更正是否「超出申請時原說明書或圖式所揭露之 範圍」，專利審查基準所定之標準係以：「直接且無歧 異（directly and unambigiously）得知」為斷，其係 正面判斷且要求甚高之標準，被告明知系爭專利說明書 第9 頁第16至19行之內容不僅不足以支持系爭專利更正 之申請，且為錯誤的描述，卻反以該錯誤的內容作為核 准更正之理由，則原處分審認更正之申請合於專利法第 64條第2 項規定之見解，顯悖於基準所示之規定。 ⑼被告更認為系爭專利申請專利範圍第1 項之前述更正（ 按：即「該第一端與該第二端之間且位於該氣體散流盤 之上的至少一可彎曲部分」）可由系爭專利之第4 圖所 支持（原處分第3 頁第17行）。惟查，系爭專利之第4 圖雖畫出懸置機構位於氣體散流盤之上的部份其兩旁有 空隙，然而被告於評論證據3 （西元1999年3 月16日公 告之美國第5,882,411 號專利案，下同）時，明確表明 ：「無法據以想像、或由圖形目視、或認為該懸置壁13 0 旁有空隙而推論該懸置壁係為可彎曲」（原處分第5 至6 頁理由㈤-1- ⑵），且被告於評論證據4 （西元19 97年7 月15日公告之美國第5,647,911 號專利案，下同 ）時亦表明：「無法據以想像、或由圖形目視而推論該 間隔器44為可彎曲」（原處分第6 頁理由㈤-1- ⑶）； 則既然被告認為無法由圖形目視而推論圖中之結構為可 彎曲，卻不具任何說明或理由，就逕行認定系爭專利之 第4 圖可支持位於氣體散流盤之上的懸置機構為可彎曲 。顯見被告之見解前後矛盾，而其准許更正之審定顯無 足採。
⒉系爭專利違反系爭專利核准時專利法第71條第3 款規定： 說明書「不載明實施必要之事項，使實施為不可能或困難 」之規定，應構成撤銷發明之事由：
⑴系爭專利於90年1 月16日提出申請，於91年3 月1 日核 准公告，故其核准時之專利法為90年10月24日公布之版 本，此部分事實兩造並無爭執。
⑵系爭專利核准時專利法第71條第3 款規定：「有下列情 事之一者，專利專責機關應依職權撤銷其發明專利權， 並限期追繳證書，無法追回者，應公告作廢：…三、說 明書或圖式不載明實施必要之事項，或記載不必要之事 項，使實施為不可能或困難」。另同法第22條第3 項規



定：說明書「應載明申請專利範圍」，足徵系爭專利核 准時之專利法所稱之「說明書」，包括「申請專利範圍 」在內（90年10月24日公布之專利法，見本院卷㈠第13 4 至147頁）。
⑶系爭專利第1 、第16及第28等3 個獨立項關於「懸置機 構」之定義如次：
①第1 項：「一懸置機構有一第一端、一第二端、及該 第一端與該第二端之間且位於該氣體散流盤之上的至 少一可彎曲部分」（系爭專利95年12月25日申請專利 範圍更正本，見專利補充、更正申請書第25頁，本院 卷㈠第148 至164 頁）。
②第16項：「一懸置機構有一第一端、一第二端、及該 第一端與該第二端之間的至少一可彎曲部分」（系爭 專利95年12月25日申請專利範圍更正本，見專利補充 、更正申請書第29頁）。
③第28項：「一懸置機構具有四片側壁，其中各側壁有 一第一端、一第二端以及一可彎曲方形片延伸於該第 一端與該第二端之間」（系爭專利95年12月25日申請 專利範圍更正本第25頁）。
⑷前揭申請專利範圍中，第1 項與第16項之差別在於：第 1 項有「位於該氣體散流盤之上」的要件，第16項則無 。另第1 項及第16項兩者，與第28項之差別在於：第28 項之懸置機構界定為「四片」，第1 項及第16項則無此 限制。
⑸系爭專利之發明目的在於其：「包含一穿透之氣體散流 盤，並以一可彎曲式側壁懸吊住該側壁中，且此側壁中 可以容忍氣體散流盤的熱擴散或熱收縮，本發明之優點 在於避免因為熱擴散與熱收縮而導致氣體散流盤的斷裂 與扭曲」（系爭專利90年1 月16日說明書公告本第3 至 4 頁，本院卷㈠第68至133頁）。
⑹以上之申請專利範圍與發明目的得以圖示說明如本院卷 ㈠第9 頁。
⑺依上圖所示，有孔洞的部分即為「氣體散流盤」（系爭 專利說明書又稱為「散流器」），由於：「在電漿化學 蒸汽沈積製程中，用於氣體散流盤的溫度至少為200 ℃ ，而較佳為250 至325 ℃，最佳為300 ℃」（見發明專 利說明書第23頁第2 行，本院卷㈠第68至133 頁），因 此氣體散流盤自然會因熱膨脹而產生體積擴大的現象， 而導致扭曲或斷裂。
⑻依系爭專利說明書所示：「具體實施例中方形的氣體散



流盤20，以四件或四邊之既薄又可彎的金屬板片，形成 可彎曲側壁或懸置機構24，其中每一片金屬可代表氣體 散流盤的一邊」（見發明專利說明書第10頁倒數第9 行 ）；「因為散流器20之熱導致機械擴張及收縮會在側壁 角區域生成過量的應力，所以依然不希望有一完整而不 中斷的設計」（見發明專利說明書第17頁第2 行）。 ⑼根據前揭圖示及系爭專利說明書之內容，系爭專利說明 書已明確排除側壁係「完整而不中斷的設計」，是以側 壁或懸置機構必須定義為「四片」，方始符合說明書所 描述之技術特徵。若懸置機構係「完整而不中斷」之設 計，則氣體散流盤在高達300 ℃的工作溫度下，將產生 如前揭說明書所描述「角區域應力過大」之問題。故， 系爭專利之美國對應案及韓國對應案，一律將申請專利 範圍中之懸置機構，定義為「四片」，此等韓國及美國 對應案之技術特徵，應為被告及參加人所不爭執。 ⑽綜前，系爭專利除第28項之文字將懸置機構定義為「四 片」之外，申請專利範圍第1 項及第16項皆因欠缺「四 片」之定義，而未符合說明書所揭示之技術特徵。鑑於 「申請專利範圍」乃屬核准時專利法所稱「說明書」， 而系爭專利第1 項及第16項申請專利範圍因欠缺記載「 四片」之要件，而涵蓋其說明書所稱「不希望」之設計 而致無可實施或實施顯有困難，則系爭專利申請專利範 圍第1 項及第16項顯該當其核准時專利法第71條第3 款 所稱：「不載明實施必要之事項（按：即「四片」）， 使實施為不可能或困難」，而顯應構成撤銷專利之事由 。
⑾同理，系爭專利第36項之「側壁」亦欠缺記載「四片」 之要件，而違反核准時專利法第71條第3 款規定，顯應 構成撤銷專利之事由。
⒊原處分認定系爭專利與證據3 之區別，在於系爭專利懸置 機構之可彎曲部分在氣體散流盤「之上」，證據3 則在「 之下」，原處分故而認定系爭專利具可專利性，惟系爭專 利第16項及第36項並無「之上」或「之下」之要件，原處 分之認定與第16項及第36項之文義顯有矛盾，依原處分之 見解，第16項及第36項顯屬無效：
⑴系爭專利第4 圖及局部放大圖，見本院卷㈠第18頁。 ⑵證據3 之圖示及局部放大圖，見本院卷㈠第18頁。 ⑶系爭專利之懸置機構為前揭標示之紅色長條部分，證據 3 之懸置機構亦為前揭標示之紅色長條部分。查證據3 同屬參加人自己之前案專利，系爭專利與證據3 之說明



書皆將前揭紅色部分所標示之懸置機構定義為鋁質金屬 ，具有得彎曲之性質，故原告遂於原處分階段主張證據 3 已揭露系爭專利所稱懸置機構可彎曲之技術特徵。 ⑷惟原處分竟稱：「證據3 兩個深槽140 及142 （按：即 前揭圖示紅色圈所標示之兩深槽）係設於面板（按：即 氣體散流盤）底部邊緣，其長度受限於噴灑頭（按：即 氣體散流盤）之厚度。系爭專利懸置機構係設於背壁及 氣體散流盤之上，結構明顯不同，其可有更大的彈性來 做設計以緩衝較大之熱膨脹應力」（原處分第5 頁第⑵ 點）。
⑸依原處分認定之邏輯，系爭專利與證據3 之技術差異在 於：系爭專利之可彎曲部分在氣體散流盤之之上；證據 3 之可彎曲部分在於氣體散流盤之下。姑不論原處分此 等認定是否適法適當，縱依原處分此等邏輯，系爭專利 第1 項之要件或可符合原處分此等認定，因為系爭專利 第1 項經專利權人更正加入「之上」兩字，致系爭專利 更正後之第1 項之要件為：「位於該氣體散流盤之上的 至少一可彎曲部分」。然系爭專利第16項及第36項明顯 並無「之上」的要件，故依原處分前揭認定之邏輯，系 爭專利第16項及第36項將無從與證據3 之技術內容區別 ，而致第16項及第36項之技術為證據3 所揭露，第16項 及第36項當無任何可專利性可言。
⑹原處分一方面認定系爭專利與證據3 之區別，在於可彎 曲部分係位於氣體散流盤「之上」或「之下」之差異； 一方面復認定系爭專利申請專利範圍第16項及第36項具 可專利性，原處分此等認定不僅自相矛盾；且此等以第 1 項具可專利性，即逕認第16項及第36項亦具可專利性 之認定，亦違反「逐項審查」原則。
⒋被告審認系爭專利與證據3 及證據4 有所區別之理由，在 於系爭專利第1 項、第16項、第28項及第36項申請專利範 圍所稱「可彎曲部分」之範圍，不包括一般金屬之延展性 ；然系爭專利之專利權人卻明確表示：系爭專利申請專利 範圍界定之「可彎曲」涵蓋「一般金屬之延展性」，被告 認定系爭專利為有效之關鍵理由，竟與參加人自承之解釋 相左，則原處分之認定，顯乏憑據：
⑴被告於原處分第5 頁第㈤-1- ⑵節比較舉發證據3 與系 爭專利，並認為：「金屬材質（鋁材質）具有延展性， 其於受到外力時有可能產生形變或彎曲，此故為金屬材 質（鋁材質）之固有特性，亦為眾所皆知，然其必須有 特定的設計方能應用及承受氣體散流盤之熱膨脹應力，



換言之，在證據3 或系爭專利之系統操作條件下，並非 只要是鋁材質就可彎曲（尚需視其尺寸長厚比例及承受 之外力），或其彎曲程度足以緩衝該系統之熱膨脹應力 」，亦即被告認為「一般金屬之延展性」並非系爭專利 申請專利範圍第1 項界定之「可彎曲」。原處分第6 頁 第㈤-1- ⑶節比較舉發證據四與系爭專利時，亦採相同 之見解。
⑵被告是採納參加人於95年7 月17日提出之舉發補充答辯 書的理由，於該舉發補充答辯書第5 頁第10至11行中， 參加人特別強調：「材料具延展性並不表示該材料的最 終結構必然可彎曲」。
⑶然而，參加人於96年11月20日針對專利侵權民事訴訟所 提出之民事準備書㈦狀（見本院卷㈠第165 至173 頁） ，完全推翻其原先之主張，於該民事準備書㈦狀第6 頁 第18至20行，參加人以黑體字強調：「原告（按：即參 加人）於舉發答辯狀之陳述及智慧局舉發審定書意見中 ，均未將『一般金屬之延展性』排除於『可彎曲』之適 用範圍外…」；亦即，參加人完全推翻其原先之主張， 而認為系爭專利申請專利範圍第1 項、第16項、第28項 及第36項之「可彎曲」涵蓋「一般金屬之延展性」的情 況。
⑷查參加人新提出之主張，不僅與與被告據以作成原處分 之理由相左，更顯示系爭專利申請專利範圍第1 項、第 16項、第28項及第36項明確涵蓋證據3 或證據4 所揭示 之習知技術。系爭專利其他申請專利範圍，亦包含此相 同特徵，顯均不具可專利性。
⒌被告審認系爭專利第40項與證據3 及證據4 有所區別之理 由，在於「系爭專利側壁係設於背壁及氣體散流盤之上， 結構明顯不同」（原處分第7 頁第㈤-5節），然而，系爭 專利申請專利範圍第40項從未界定「側壁係設於背壁及氣 體散流盤之上」，原處分之認定，顯乏憑據：
原處分第7 頁第㈤-5節比較舉發證據3 、證據4 與系爭專 利，並認為：「經查證據3 所揭實施例之『熱阻氣門（Th ermal Choke ）』係利用兩共軸溝槽140 、142 間之壁14 6 ，兩個深槽140 及142 係設於面板底部邊緣，其長度受 限於噴灑頭之厚度。而系爭專利側壁係設於背壁及氣體散 流盤之上，結構明顯不同…證據4 揭示之熱阻抗方法係利 用具高阻抗之石英環48材質本身之特性來抵抗熱衝擊，與 本案特徵明顯不同」，亦即被告認為「側壁係設於背壁及 氣體散流盤之上」為系爭專利申請專利範圍第40項有別於



證據3 及證據4 之技術特徵。惟，系爭專利第40項並未界 定「側壁係設於背壁及氣體散流盤之上」，而僅界定「其 中連接進氣岐管之步驟更包含施予實質熱阻斷於該反應室 壁的該區域與該氣體散流盤的該區域之間」。被告既已肯 認證據3 揭示「熱阻氣門（Thermal Choke ）」及證據4 揭示熱阻抗方法，二者均能施予實質熱阻斷，則系爭專利 第40項明確涵蓋證據3 或證據4 所揭示之習知技術，顯不 具可專利性。
⒍系爭專利之韓國對應案於申請程序中尚未經韓國專利局核 准前，參加人為爭取系爭專利對應案之加速審查，乃於西 元2004年3 月15日呈送一份「加速審查申請狀」，並檢附 一份實施該專利之產品設計圖（該申請狀及該申請狀證據 2 之設計圖，見本院卷㈡第98至114 頁），參加人自承該 證據2 之設計圖即為實施該專利案之設計，該設計圖清楚 顯示方形散流盤懸置機構的4 個角落，明確有截開之截角 ，屬於「不完整而中斷」（切割為「四片」）之設計，而 非屬「完整而不中斷」之設計，完全與系爭專利說明書之 描述相符，益證原告之主張信而有徵。
⒎原告謹再就參加人前揭2004年3 月15日「加速審查申請狀 」及前揭實施專利之設計圖，提出附有英、韓文翻譯對照 、並經韓國公證人公證及我國駐韓外交單位認證之公證書 （見本院卷㈡第115 至140 頁），以證原告之主張合於事 實。該公證書第2 頁第7 行及第10頁第6 行，均明確證明 參加人已自承前揭設計圖係實施其韓國對應案之圖示。 ⒏另參加人代理人於97年7 月1 日臺灣新竹地方法院（下稱 新竹地院）庭訊時，稱：「側壁的區域不一定會如被告（ 按：即本件原告）所言因為完整而不中斷設計導致破裂， 縱使會破裂，但因為可彎曲側壁已足以吸納氣體散流盤之 應力，所以還是達到本發明目的，可達到避免氣體散流盤 的斷裂扭曲」（97年7 月1 日新竹地院審判筆錄，見本院 卷㈡第141 至146 頁）。惟查，側壁（即「懸置機構」） 若破裂，則電漿室內的氣體會由破裂處四處散逸，根本無 從藉由噴灑頭（即「氣體散流盤」）達成沈積於液晶面板 之目的，顯見系爭專利顯不具產業可利用性。此亦足徵因 為系爭專利之申請專利範圍過大而不明確，參加人得任意 主張其申請專利範圍之解釋，甚至超出產業可利用性之範 圍，原處分未及於此，實有應撤銷而重為認定之必要。　㈡被告主張：
⒈起訴理由第1 點主要係針對被告准予更正系爭專利申請專 利範圍第1 項提出爭執。惟申請專利範圍第1 項中原為「



該第一端與該第二端之間的至少一可彎曲部分」更正為「 該第一端與該第二端之間且位於該氣體流散盤之上的至少 一可彎曲部分」，經查原敘述「該第一端與該第二端之間 的至少一可彎曲部分」之文義實際包括彎曲部分可能在「 氣體散流盤旁邊那一段」或「氣體散流盤之上的部分」或 「前兩者之組合」（其中氣體散流盤旁邊那一段《或稱下 方》亦可彎曲可參考參加人94年7 月15日之舉發案補充答 辯書第9 頁第24至27行中）。該更正將彎曲部分的位置限 縮為「氣體散流盤之上的部分」，符合「申請專利範圍之 減縮」之規定，故被告准予更正並無違誤。有關原告對系 爭專利說明書第9 頁第15至20行之文字與申請專利範圍第 1 項「進氣歧管」之界定將造成兩組氣體散流盤及兩組懸 置機構之解讀一節，於原處分理由第㈦點已作完整說明。 至於該懸置機構及氣體散流盤之相對位置關係，即該可彎 曲的部分位於第一端與該第二端之間，而參加人將其縮限 於「氣體散流盤之上的部分」，如此之空間相對之結構關 係，「該技術領域中具通常知識者」由說明書第9 頁第16 至19行之敘述及第4 圖之相對位置關係亦可瞭解而不致混 淆，第4 圖亦足以說明該空間相對關係。至於懸置機構可 彎曲乃是參加人發明專利說明書之技術說明及特徵主張， 兩者應無混淆。起訴理由並不成立。
⒉起訴理由第2 點指稱系爭專利違反系爭專利核准時專利法 第71條第3 款規定：說明書「不載明實施必要之事項，使 實施為不可能或困難」一節。查系爭專利之技術特徵在於 懸置機構有一第一端、一第二端、及該第一端與該第二端 之間且位於該氣體散流盤之上的至少一可彎曲部分（第1 至39項）；該第一端連接於該背壁；該第二端連接於該氣 體散流盤；以及該懸置機構圍繞著該進氣歧管中的區域， 該區域延伸至該背壁與該氣體散流盤之間。至於該懸置機 構與背壁或氣體流散盤是否為一體成型則並非系爭專利之 特徵。又氣體散流盤可以為不同之形狀（圓形、方形、或 其他形狀），故懸置機構可配合氣體散流盤形狀而做不同 之設計，故其懸置機構是否為多數個部件組成且各部件間 以間隙間隔則非為系爭專利之必要特徵，例如證據3 之懸 掛壁130 、薄璧146 等即成圓柱形。起訴理由並不成立。 ⒊起訴理由第3 點指稱「原處分認定系爭專利與證據3 之區 別，在於系爭專利懸置機構之可彎曲部分…，第16項及第 36項顯屬無效」，並稱原處分違反「逐項審查」原則，起 訴理由第4 點爭執系爭專利與證據3 及證據4 之比較，及 起訴理由第5 點有關系爭專利申請專利範圍第40項與證據



3 及證據4 之比較等節，茲綜合答辯如下：
對於系爭專利申請專利範圍各項與證據3 及證據4 之比較 ，原處分理由第㈤項已經逐項做技術之比對。以系爭專利 申請專利範圍第1 項為說明，證據3 為美國專利US000000 0 ，其揭示形成於面板100 之邊緣之兩個深槽140 及142 彼此徑向偏移而於其間形成一薄壁146 ，藉此薄壁以將噴 灑頭102 與其支撐壁作熱隔絕以及緩衝熱膨脹產生之應力 ，其做為熱隔絕以及緩衝熱膨脹產生之應力之原理固然與 系爭專利利用可彎曲之懸置機構24以達成熱阻隔及緩衝熱 膨脹產生之應力之原理相同，但兩者之結構並不相同。證 據3 兩個深槽140 及142 係設於面板底部邊緣，其長度受 限於噴灑頭之厚度，而系爭專利懸置機構係設於背壁及氣 體散流盤之上，結構明顯不同，其可有更大的彈性來做設 計以緩衝較大之熱膨脹應力。此外，原告指稱證據3 之圓 柱形懸掛壁130 係可彎曲的一節，惟查證據3 並未有任何 說明及界定指出該圓柱形懸掛壁130 係為可彎曲之特徵， 且金屬材質（鋁材質）具有延展性，其於受到外力時有可 能產生形變或彎曲，此故為金屬材質（鋁材質）之固有特 性，亦為眾所皆知，然其必須有特定的設計方能應用及承 受氣體散流盤之熱膨脹應力，換言之，在證據3 或系爭專 利之系統操作條件下，並非只要是鋁材質就可彎曲（尚需 視其尺寸長厚比例及承受之外力），或其彎曲程度足以緩 衝該系統之熱膨脹應力，故證據3 縱然使用金屬或鋁材質 為懸置壁130 ，但全文並未有任何說明及界定指出該懸置 壁130 係可彎曲之特徵，即無法據以設想、或由圖形目視 、或認為該懸置壁130 旁有空隙而推論該懸置壁係為可彎 曲，故據證據3 結構與系爭專利明顯不同，且未揭示系爭 專利申請專利範圍第1 項之技術特徵，亦非熟悉該項技術 者所能輕易完成，故證據3 尚難證明系爭專利申請專利範 圍第1 項不具新穎性及不具進步性，而違反專利法第20條 第1 項第1 款及第2 項之規定。另，證據4 為美國專利US 0000000 ，雖揭示有一鋁製的間隔器44，惟該鋁間隔器係 用於調整該氣體散流盤至晶圓之間距，證據4 並未有任何 說明及界定指出該鋁製的間隔器44係為可彎曲，或做為緩 衝熱膨脹之特徵。理由同證據3 ，金屬材質（鋁材質）具 有延展性，其於受到外力時有可能產生形變或彎曲，此為 金屬材質（鋁材質）之固有特性，亦為眾所皆知，然其必 須有特定的設計方能應用及承受氣體散流盤之熱膨脹應力 。換言之，在證據4 或系爭專利之系統操作條件下，並非 只要是鋁材質就可彎曲（尚需視其尺寸長厚比例及承受之



外力），或其彎曲程度足以緩衝該系統之熱膨脹應力，故 證據4 縱然使用鋁材質為間隔器44，但全文並未有任何說 明及界定指出該間隔器44係可彎曲之特徵，即無法據以設 想或由圖形目視而推論該間隔器44為可彎曲，故證據4 特 徵與系爭專利明顯不同，未揭示系爭專利案申請專利範圍 第1 項之技術特徵，亦非熟悉該項技術者所能輕易完成， 故據證據4 尚難證明系爭專利申請專利範圍第1 項不具新 穎性及不具進步性，而違反專利法第20條第1 項第1 款及 第2 項之規定。此外，系爭專利申請專利範圍第1 、16、 28、36、40項分屬系爭專利發明之不同態樣，其細部結構 當然有差異（否則又何必重複申請），但其主要技術特徵 則為相同，經被告逐項就其結構及技術特徵仔細比對並歸 納，其中申請專利範圍第1 、16、28、36項其主要技術特 徵皆在於懸置機構有一第一端、一第二端、及該第一端與 該第二端之間且位於該氣體散流盤之上的至少一可彎曲部 分；該第一端連接於該背壁；該第二端連接於該氣體散流 盤；以及該懸置機構圍繞著該進氣歧管中的區域，該區域 延伸至該背壁與該氣體散流盤之間，並利用該懸置機構在 第一端及第二端之間具有可彎曲之部分藉以達到緩衝熱阻 抗及熱膨脹應力之目的，故第1 、16、28、36各項主要特 徵皆為相同。至於起訴理由強調第16、28、36項並未有如 第1 項強調可彎曲部分「位於該氣體散流盤之上」，惟第 16、28、36項皆已具體界定該可彎曲部分位於第一端及第 二端之間，其主要特徵及原理完全相同。此外，該懸置機 構與背壁或氣體散流盤是否為一體成型則並非系爭專利之 必要特徵。又氣體散流盤可以為不同之形狀（圓形、方形 、或其他形狀），故懸置機構可配合氣體散流盤形狀而做 不同之設計，故其懸置機構是否為多數個部件組成且各部 件間以間隙間隔皆非為系爭專利可專利性之必要特徵，例 如證據3 之懸掛壁130 、薄璧146 等即成圓柱形。原處分 針對各獨立項指出其主要特徵，並逐一與舉發證據比對， 比對結果指出證據3 至5 （證據5 為西元1996年12月10日 公告之美國第5,582,866 號專利案）尚難證明系爭專利申 請專利範圍各獨立項不具新穎性及不具進步性，而違反專 利法第20條第1 項第1 款及第2 項之規定，其中由於第16 、28、36項之主要特徵與第1 項相同，故理由援引第1 項 並無不妥，原處分並無違誤。原告謂被告舉發審定違反「 逐項審查原則」殊為無理。另外，申請專利範圍第40項所 請標的為「一種當氣體集中進入在電漿室中用於提升一氣 體散流盤之溫度的方法」，其特徵為界定進氣歧管之側壁



，且界定其「相對位置」為一端連接於背壁，一端則連接 於氣體散流盤（可參見申請專利範圍第40項），且包含施 予實質熱阻斷於該反應室壁的該區域與該氣體散流盤的該 區域之間。經查證據3 所揭示實施例之「熱阻氣門（THER MAL CHOKE ）」係利用兩共軸溝槽140 、142 間之壁146 ，兩個深槽140 及142 係設於面板底部邊緣，其長度受限 於噴灑頭之厚度。系爭專利側壁係設於背壁及氣體散流盤 之間，結構明顯不同，其可有更大的彈性來做設計以達到 較大的熱阻抗。證據4 揭示之熱阻抗方法係利用具高阻抗 之石英環48材質本身之特性來抵抗熱衝擊，與系爭專利特 徵明顯不同，至於鋁間隔器44於證據4 中並未揭示有做為 提供熱阻斷之目的及設計基礎。證據5 則未揭示如系爭專 利第40項所揭示之前述特徵。因此，證據3 至5 尚難證明 系爭專利申請專利範圍第40項不具新穎性及不具進步性， 而有違反專利法第20條第1 項第1 款及第2 項之規定。 ⒋原告訴稱「⑴參加人（即被舉發人）主張未將『一般金屬 之延展性』排除於『可彎曲』之適用範圍外，故被告認定 系爭專利與證據3 、證據4 區別之基礎不存在。⑵參加人 主張『懸置機構的可彎曲部分並無任何長度之限定』，因 此涵蓋長度不足以容納熱膨脹之習知懸置機構，顯不具可