發明專利舉發
智慧財產法院(行政),行專訴字,110年度,9號
IPCA,110,行專訴,9,20210909,3

1/2頁 下一頁


智慧財產及商業法院行政判決
110年度行專訴字第9號
民國110年8月26日辯論終結
原 告 美商恩特葛瑞斯股份有限公司(ENTEGRIS, INC.)


代 表 人 Arlene Hornilla (Vice President ,Chief Inte
llectual Property Counsel )

訴訟代理人 張哲倫律師
陳初梅律師
陳佳菁律師
被 告 經濟部智慧財產局

代 表 人 洪淑敏(局長)

訴訟代理人 莊榮昌
參 加 人 家登精密工業股份有限公司

代 表 人 邱銘乾(董事長)

上列當事人間因發明專利舉發事件,原告不服經濟部中華民國10
9年12月10日經訴字第10906307390號訴願決定,提起行政訴訟,
並經本院命參加人獨立參加本件被告之訴訟,本院判決如下:
主 文
訴願決定及原處分均撤銷。
訴訟費用由被告負擔。
事實及理由
壹、程序事項:
按言詞辯論期日,當事人之一造不到場者,倘無民事訴訟法 第386 條規定之不得一造辯論判決之事由,得依到場當事人 之聲請,由其一造辯論而為判決,行政訴訟法第218 條準用 民事訴訟法第385 條第1 項前段、第386 條定有明文。查參 加人受合法通知,無正當理由,未於言詞辯論期日到場,有 送達回證1 紙在卷可稽(見本院卷第375頁),核無民事訴 訟法第386 條各款所列情形,爰依原告之聲請,由其一造辯 論而為判決。
貳、實體事項:
一、事實概要:原告前於民國92年7 月3 日以「標線載具」(後 更名為「光罩載具及支撐光罩之方法」)向被告申請發明專



利,申請專利範圍共20項,並以西元2002年7 月5 日申請之 美國第10/190,347號專利案主張優先權,經被告核准予專利 (公告號第I317967 號。下稱系爭專利)。原告復於107 年 6月13日提出說明書及申請專利更正本,經被告准予更正並 於108 年2 月21日公告。嗣參加人於108 年4 月25日以系爭 專利請求項1 、3 至4 、6 至7 、9 至10、12至13、17有違 核准時專利法第26條第3 、4 項、第22條第1 、4 項及專利 法施行細則第18條第2 項規定,對之提起舉發。經被告認系 爭專利前述請求項違反核准時專利法第22條第4項規定,以1 09 年4 月27日(109 )智專三(二)04024字第1092038405 0 號專利舉發審定書為「請求項1 、3 至4、6至7、9至10、 12至13、17舉發成立」之處分。原告不服,提起訴願,經經 濟部以同年12月10日經訴字第10906307390 號訴願決定駁回 後,向本院提起訴訟。本院因認本件訴訟之結果,倘認訴願 決定及原處分應予撤銷,參加人之權利或法律上利益將受損 害,乃依職權裁定命其獨立參加本件被告之訴訟。二、原告聲明請求原處分關於「請求項1、3至4、6至7、9至10、 12至13、17舉發成立,應予撤銷」之部分暨訴願決定均撤銷 ,並主張:
㈠被告及訴願機關未依法踐行「整體審查」之原則,亦未區辨 系爭專利請求項與證據2之不同,原處分及訴願決定當有違 誤,且有理由不備之違法,應予撤銷:
 ⒈根據被告現行專利審查基準第二篇第3.3.1節「進步性之審查 原則」中之「整體審查」:「審查進步性時,應以申請專利 之發明的整體(as a whole)為對象,不得僅針對個別或部 分技術特徵,亦不得僅針對發明與相關先前技術之間的差異 本身,判斷該發明是否能被輕易完成。」最高行政法院103 年度判字第705號判決、106年度判字第747號判決及本院107 年度行專訴字第42號判決、108年度行專訴字第2號判決意旨 均肯認上開原則與判斷標準。
 ⒉原處分割裂系爭專利請求項之發明整體,僅針對發明之部分 技術特徵與先前技術間之差異,評斷二者功效相同(但功效 相同不表示無進步性,遑論本件功效不同),沒有針對所欲 解決之問題、技術手段、對照先前技術之功效等作整體考量 ,顯然違背整體審查原則。 
 ㈡原處分並未踐行「逐項審查原則」:
  1.根據被告所頒佈之現行專利審查基準第二篇第三章「專利 要件」之第3.3節「進步性審查原則」之第3.3.3節「逐項 審查」之說明「審查進步性時,應以每一請求項所載之發 明的整體為對象,逐項作成審查意見,惟經審查認定獨立



項具有進步性時,其附屬項當然具有進步性,得一併作成 審查意見;但獨立項不具進步性時,其附屬項未必不具進 步性,仍應分項作成審查意見。」此逐項審查之原則,亦 為最高行政法院所肯認,此有最高行政法院判決98年度判 字第1488號、96年度判字第1552號、95年度判字第1834號 等判決可茲參照。
  2.系爭專利請求項1、6、12均為獨立項,因此應分別、逐項 作成審查意見,然針對獨立請求項6、12的撤銷理由,被 告僅在原處分第21頁中段稱:「請求項6、12記載之內容 與請求項1比較實質相同,且未如請求項1界定『斜角邊緣 部』及『光罩定位凸片與光罩中間相鄰隅角嚙合』,如同前 述,對於所屬技術領域中具有通常知識者基於證據2之技 術內容應可輕易完成系爭專利請求項6、12之技術內容, 且證據2亦可達到允許光罩橫向滑動使放置誤差被修正之 功效,故證據2足以證明系爭專利請求項6、12不具進步性 」等語。
3.惟如專利審查基準明揭「應以每一請求項所載之發明的整  體為對象,逐項作成審查意見」,每一請求項係界定其各  自所欲請求的發明,且具有各自的技術特徵,原處分竟泛  指稱系爭專利請求項6與12與請求項1實質相同、差異僅有  兩個特徵,隨即論結請求項6與12不具進步性。原處分顯  然並未針對各個獨立請求項之各個技術特徵逐一比對,遽  認請求項6、12不具進步性,顯違反逐項審查原則。 ㈢原處分認定系爭專利與證據2二者之差異為「簡單變更」,卻 無具體理由,有理由不備之違法;違反進步性審查之原則:  關於「簡單變更」,被告所頒佈之106年7月1日施行版「專  利審查基準」第二篇第三章「專利要件」之第3.4.1.2節規  定:「針對申請專利之發明與單一引證之技術內容二者的差  異技術特徵,若該發明所屬技術領域中具有通常知識者於解  決特定問題時,能利用申請時之通常知識,將單一引證之差  異技術特徵簡單地進行修飾、置換、省略或轉用等而完成申  請專利之發明者,則該發明為單一引證之技術內容的『簡單  變更』。」但,原處分並未陳明為解決何種特定問題,系爭  專利所屬發明技術領域之通常知識者如何利用通常知識、利  用何種通常知識,而可輕易將習知(證據2)單一構件置換  為兩構件,故原處分理由不備。
 ㈣證據2無法證明系爭專利請求項1、3至4、6至7、9至10、12  至13、17不具進步性:
⒈系爭專利採用光罩定位凸片與光罩限制器兩階段式的構造, 讓光罩可以藉由定位凸片在基部上進行一較大程度之不精準



初始定位,並利用光罩限制器加以固持。蓋部蓋上時不會因 為初始定位不夠準確而讓限制部件(例如像系爭專利之光罩 限制器,或如同證據2之突起部24、25)隨蓋部下移時,造 成光罩損傷。此乃系爭專利之功效,足以解決習知載具「無 法將光罩放置在適當位置以便與限制部件嚙合」、「在光罩 被限制部件嚙合之前,可能會不小心使光罩從適當位置偏 移」或「光罩之位置偏移超過一定距離,則限制部件可能會 嚙合在其表面上、而非嚙合其邊緣,如此將導致光罩產生刮 傷或其他物理損壞」之問題。而證據2之發明目的在於固定 基板於容器、保持基板安定。又,證據2欲解決之問題為改 良習知按壓於基板上之按壓構件。系爭專利解決之技術問題 同前所述。是以,系爭專利與證據2所欲解決之技術問題全 然不同。
⒉證據2採取之技術手段與系爭專利完全不同,證據2[0022]及 圖1揭露阻擋銷16b、17b及立板20、21之突出部界定一放置 光罩之四方框形範圍。當光罩(基板15)被放置於盒中時, 必須先被精準的放置於阻擋銷16b、17b及立板20、21之突出 部所界定之四方框形範圍中,才能將蓋部蓋下。亦即,在蓋 部蓋下之前,光罩之初期定位工作必須相當精準地被完成。 證據2之第[0019]段揭露前門3係利用一鉸鏈機構(hinge)而 與上蓋2之一端連接,如此前門3可相對上蓋2樞轉;第[002 0]段揭露張力捲簧10之兩端分別連接前門3之銷6與上蓋2之 銷8,而張力捲簧11之兩端分別連接前門3之銷7與上蓋2之銷 9;因此,前門3就會因彈簧10的拉力而朝內側方向旋轉運 動。此時,如果前階段的將光罩置於黃色區域之初期定位做 得不夠精準,而使光罩部分偏移出由阻擋銷16b、17b及立板 20、21所界定之定位區域,則前門3受彈簧力旋轉閉合時必 將擊傷光罩。另,證據2之前門3的突起24、25上的傾斜面24 a、25a僅僅係為了讓上蓋2與前門3在樞轉至關閉位置之過程 中,前門3能以較平順的方式滑過光罩邊緣的小倒角,使突 起24、25將光罩朝內抵頂固定。是以,證據2採取之技術手 段顯然與系爭專利完全不同。
⒊系爭專利與證據2所達成之技術功效大不相同,系爭專利是 採用與習知技術反其道而行的方式,讓光罩即使在基座(支 架)上之定位並不精確,但最後上蓋與基部上下配合後,仍 能在不傷害光罩表面的情況下,將光罩正確定位於盒內的空 間。關於證據2,其說明書第[0034]段係記載,基板會被機 構元件包夾而確實保持於容器內之指定位置,不因振動、傾 斜導致基板移動。是以,系爭專利與證據2所達成之技術功 效大不相同。




⒋又證據2已限制基板之水平橫向移動,當基板15置於容器本 體1中之支持銷16a、17a、18a、19a上時,其水平橫向移動 已被阻擋銷16b、17b及立板20、21之突出部(如20a)所限制 。證據2仍需要先大致準確定位光罩於基座上,否則將使光 罩(基板)損傷,證據2根本就不允許基板有較大誤差的不 精確放置,當光罩(基板15)被放置於盒中時,必須先被精
準的放置於阻擋銷16b、17b及立板20、21之突出部所界定之 四方框形範圍中,才能將蓋部蓋下。若基板15在一開始沒有 被放置在這個框形範圍,則當蓋部與基部配合時,蓋部之限 制部件(突起部24、25等)即會壓傷基板。且證據 2並未在 蓋部同時設置光罩定位凸片與光罩限制器,證據 2之傾斜面 24a、25a僅是將已經相當程度精確放置之基板再加以夾擠至 中;傾斜面24a、25a充其量僅與系爭專利實施例中之光罩制 器之爪形帶有小斜角相當,或相當於被告先前已經審查過之 數件系爭專利舉發案中出現之先前技術之蓋部之限制部件, 並非等同光罩定位凸片,不能將較大誤差偏移之基板自可能 被蓋部之限制部件撞傷之位置推到可被蓋部之限制部件嚙合 之位置。
⒌證據2未揭露請求項1之「一蓋部,用於緊密配合該基部,該 蓋部具有一內表面,其上突設有複數個相間隔之光罩限制器 及一對光罩定位凸片,該光罩定位凸片具有一斜角邊緣 部」。證據2 之蓋2連接可旋轉打開的門3,並未揭露任何緊 密配合之上蓋與基部之結構;樞接於蓋2之門3,嚴格來說不 100%等同系爭專利之蓋部,則門3上的突起結構24、25是否 可認為等同於系爭專利之自蓋部內表面突設之光罩定位凸 片?不無疑問。又證據2未揭露請求項1之「當該蓋部與該基 部配合時,該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與 該光罩限制器嚙合,該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之 光罩中間相鄰隅角嚙合」。證據2[0024]已說明24、25是為 了「保持基板」於容器中,並無在固持基板之前能先將基板 橫向推動至可進行固持作用的其他結構。當上蓋2完全蓋上 時,有時前門3可能尚未關閉(否則何需設計可樞轉的前門 3),故斜面24a、25a尚未接觸及推抵基板15。因此,24、2 5之倒角結構並非用以在上下蓋閉合時可橫向滑動迫使該光 罩與光罩限制器嚙合之機構。證據2亦無任何定位凸片係被 定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合之特徵。  ㈤證據2與證據9之組合無法證明系爭專利請求項1、3至4、6至 7、9至10、12至13、17不具進步性:   ⒈證據9並未揭露或教示任何對應系爭專利光罩定位凸片之結



構。證據9是傳統採用基座角隅定位之光罩載具之技術,目 的與手段在使當光罩一被放到光罩支架112上時,就使其快 速、準確地下落到基座之定位。證據9並未揭露或教示如系 爭專利請求項1、6、12所界定之光罩可在基座之光罩支架上 橫向移動之特徵。
⒉又,證據9係要求當光罩初期置放在基部上時就下落到光罩 支撐件112之四個角隅128所決定之固定位置,其藉由光罩支 撐件112之角隅128之低摩擦力斜面來促使光罩下落至該定 位,而非由蓋部與基部配合時將光罩橫向滑移一段距離至與 光罩限制器嚙合之位置。另,證據9之圖11之相關說明(見第 9欄第61-67行及第10欄)係僅揭露光罩保持器114包含有一懸 臂部146,證據9第10欄末端至第11欄第6行揭露該懸臂段僅 是在光罩無法直接下落到基部的特定位置時,才輔助推擠其 下落至定位;相對地,系爭專利位於蓋部之定位凸片本身就 是直接用來推動並定位光罩於基部之工具,並非是一種可有 可無的輔助性工具,且達成之光罩之移動是「橫向」的滑 動,而非如證據9的懸臂段114讓未能準確下落至定位的光罩 沿斜面向下滑動。換言之,證據9未揭露如系爭專利請求項 1、6、12所界定之用於當蓋部與基部相互配合時,可迫使光 罩橫向滑動到達可被光罩限制器嚙合的位置的一種「用以定 位光罩之凸片結構」。因此,無論如何組合證據2與證據9, 本領域具有通常知識者也無法輕易思及或完成系爭專利之發 明。
三、被告聲明求為判決原告之訴駁回,並抗辯: ㈠證據2 足以證明系爭專利不具進步性:
系爭專利之斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩可在 光罩支架上橫向滑動,而證據2 揭露基板15由傾斜面24a 、 25a 導引向容器本體1 寬度方向的中央位置靠攏而定位,即 系爭專利為前後滑動而證據2 為左右移動,雖然方向在定義 上有所差異,惟二者均是靠傾斜面推光罩(基板)之角使光 罩移動定位,達成之效果實質相同。另查系爭專利之蓋部用 於緊密配合該基部,該蓋部具有一內表面,其上突設有複數 個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片,上述內容僅界 定蓋部在內表面上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對 光罩定位凸片,而證據2 之上蓋2 與前門3 雖為二元件,然 而將上蓋2 與前門3 彼此樞接後即可形成內凹之形狀,實與 系爭專利之蓋部形狀類似,且二者均具內表面,證據2 在前 門3 內面設突起部24、25,同樣係形成在內表面上。證據2 之突起部24、25的傾斜面24a 、25a 可導引基板15向容器本 體1 寬度方向的中央位置靠攏而定位,可對應於系爭專利之



一對光罩定位凸片具有斜角邊緣部可橫向滑動迫使光罩橫向 滑動,證據2 之突起部24、25的另一傾斜面24a 、25a 與面 24b 、25b 引導按壓基板15定位,可對應於系爭專利之複數 個相間隔之光罩限制器,使光罩與光罩限制器嚙合。證據2 之基板15下表面由支持銷16a 、17a 、18a 、19a 支持而收 納,並在擋止接腳16b 、17b 及立板20、21間而收納於容器 內,能夠利用突起部24、25的傾斜面24a 、25a 導引基板15 向容器本體1 寬度方向的中央位置靠攏移動,同樣地,系爭 專利之光罩置於光罩支架上時,光罩亦被光罩側部定位元件 左右限制,以確保光罩在光罩支架上適當的側向放置,光罩 僅能夠被光罩定位凸片之斜角邊緣部推移橫向(前後) 滑 動,二者均只能一方向(前後或左右)被推移,另一方向與
限制元件(光罩側部定位元件、擋止接腳、立板) 鬆配合以 利後續之推移動作。整體觀之,系爭專利於請求項中所載之 技術內容已為證據2 所揭露,對於所屬技術領域中具有通常 知識者基於證據2 之技術內容應可輕易完成系爭專利之技術 內容,且系爭專利可達到允許光罩放置誤差被修正之功效, 證據2 亦能達成同樣之基板放置誤差校正之功效,被告之舉 發審定理由及訴願決定書均有詳細說明,故被告及訴願機 關均依整體審查之原則,認定證據2 足以證明系爭專利不 具進步性。
㈡證據2 、9 之組合自足以證明系爭專利不具進步性: 證據9 雖曾經於系爭專利另案之舉發案中被認定不足以證明 系爭專利不具進步性,但本件舉發案係以證據2 及證據9 之 組合來證明系爭專利不具進步性,舉發爭點與先前舉發案不 同,並不影響本件舉發案認定證據2 、9 之組合足以證明系 爭專利不具進步性。又查證據2 與證據9 同為光罩載具之相 關技術領域,均為解決光罩運送時可能面臨之物理損害、污 染等問題,以達到光罩儲存、保護、定位、運送之目的,所 欲解決之問題及功能或作用具有共通性,對於所屬技術領域 中具有通常知識者而言應有合理之組合動機,而證據2 已足 以證明系爭專利不具進步性,所屬技術領域中具有通常知識 者基於證據2 、9 之技術內容應可輕易完成系爭專利之技術 內容,故證據2 、9 之組合自足以證明系爭專利不具進步 性。
四、參加人經合法通知無正當理由而未到場,亦未提出任何書狀 陳述意見。
五、本件法官依行政訴訟法第132 條準用民事訴訟法第463 條準 用同法第271 條之1 、第270 條之1 第1 項第3 款、第3 項



規定,整理兩造不爭執事項並協議簡化爭點如下: ㈠不爭執事項:
原告前於92年7 月3 日以「標線載具」(後更名為「光罩載 具及支撐光罩之方法」)向被告申請發明專利,申請專利範 圍共20項,並以西元2002年7 月5 日申請之美國第10/190,3 47號專利案主張優先權,經被告核准予專利(公告號第I317 967 號,下稱系爭專利)。原告復於107 年6 月13日提出說 明書及申請專利更正本,經被告准予更正並於108 年2 月21 日公告。嗣參加人於108 年4 月25日以系爭專利請求項1、3 至4 、6 至7 、9 至10、12至13、17有違核准時專利法第26 條第3 、4 項、第22條第1 、4 項及專利法施行細則第18條 第2 項規定,對之提起舉發。經被告認系爭專利前述請求項 違反核准時專利法第22條第4 項規定,以109 年4 月27日 (109 )智專三(二)04024 字第10920384050 號專利舉發 審定書為「請求項1 、3 至4 、6 至7 、9 至10、12至13、 17舉發成立」之處分。原告不服,提起訴願,經經濟部以同 年12月10日經訴字第10906307390 號訴願決定駁回後,向本 院提起訴訟。
㈡本件爭點:
⒈證據2 是否可證明系爭專利請求項1 、3 至4 、6 至7 、9 至10、12至13、17不具進步性?
⒉證據2 、9 之組合是否可證明系爭專利請求項1 、3 至4 、 6 至7 、9至10、12至13、17不具進步性?六、得心證之理由:
 ㈠系爭專利技術分析:
⒈系爭專利為避免光罩定位於光罩盒內部時造成損壞,系爭專 利乃揭露一種光罩載具,其具有一基部與一蓋部。基部具有 複數個光罩支架及複數個光罩定位部件。蓋部係用於緊密配 合基部,並具有一內表面,其向內突設有複數個相間隔之光 罩限制器及一對光罩定位凸片,各光罩定位凸片具有一斜角 邊緣部,當蓋部與基部配合時,可使斜角邊緣部迫使光罩支 架上之一光罩與光罩限制器嚙合,系爭專利主要圖式如本判 決附圖一所示。 
⒉系爭專利申請專利範圍分析:
原告(專利權人)於107年6月13日申請更正系爭專利申請專利 範圍,經被告審查核准並於108年2月21日公告,系爭專利公 告本所載請求項共20項,其中第1、6、12、19為獨立項,其 餘為附屬項,原告所爭執之請求項內容請求項1、3至4、6至 7、9至10、12至13、17如下。
第1項:一種光罩載具,用於承載光微影半導體製程中所使用



  的光罩,該光罩通常係平面的,具有相對的上表面及  下表面以及四個隅角,該載具包括:
  一基部,具有至少一對相間隔的光罩支架,當光罩置  於光罩支架上時,該光罩支架被定位且適於接觸及支  撐光罩之下表面,該光罩係可在其上橫向滑動;及  一蓋部,用於緊密配合該基部,該蓋部具有一內表  面,其上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光  罩定位凸片,各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部,  當該蓋部與該基部配合時,該斜角邊緣部之方向係可  橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合,該光罩定  位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙 合。
第3項:如申請專利範圍第1項之光罩載具,其又包含至少一  閂鎖機構,用於將該蓋部鎖固至該基部。
第4項:如申請專利範圍第1項之光罩載具,其中,各該光罩  支架包含一自該基部向上突出的肋條。
第6項:一種光罩載具,用於承載光微影半導體製程中所使  用的通常為平面的光罩,包括:
一基部,具有複數個光罩支架,當光罩置於光罩支  架上時,該光罩支架適於接觸及支撐光罩之下表 面;及
一蓋部,用於緊密配合該基部,該蓋部具有一內表 面、複數個光罩限制器及至少一自該內表面突出之 光罩定位凸片,當該蓋部與該基部配合時,該光罩 定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制 器嚙合。
第7項:如申請專利範圍第6項之光罩載具,其中,該光罩定  位凸片具有一斜角邊緣部,當該蓋部與該基部配合  時,該斜角邊緣部之方向係可與該光罩支架上之一  光罩的上邊緣嚙合。
第9項:如申請專利範圍第6項之光罩載具,其又包含至少一  閂鎖機構,用於將該蓋部鎖固至該基部。
第10項:如申請專利範圍第6項之光罩載具,其中,各該光  罩支架包含一自該基部向上突出的肋條。
第12項:一種光罩載具,用於承載通常為平面的光罩,包  括:
一基部,具有複數個光罩支架,當光罩置於光罩支 架上時,該光罩支架適於接觸及支撐光罩之下表 面;及
一蓋部,用於緊密配合該基部,該蓋部具有一內表



面、複數個光罩限制器及用於當該蓋部與該基部配 合時,橫向滑動定位光罩使其與該光罩限制器嚙合 之自該內表面突出之光罩定位凸片。
第13項:如申請專利範圍第12項之光罩載具,其中,各該凸  片具有一斜角邊緣部,當該蓋部與該基部配合時,  該斜角邊緣部之方向係可與該光罩支架上之一光罩  的上邊緣嚙合。
第17項:如申請專利範圍第12項之光罩載具,其中,各該光 罩支架包含一自該基部向上突出的肋條。
㈡舉發證據技術分析:
⒈證據2為西元1996年1月19日公開之日本特開平第8-17906號 「基板收納容器」專利案,其公開日早於系爭專利優先權 日(2002年7月5日),可為系爭專利之相關先前技術。證 據2第1〜6圖揭露一種基板收納容器,容器本體1具有4個墊 塊16〜19,墊塊16〜19上設置支持銷16a〜19a,另墊塊16、17 上分別設置擋止接腳16b、17b,墊塊18、19上分別設置立 板20、21,基板15下表面由支持銷16a、17a、18a、19a支 持而收納於容器内,並在突起部24、25及立板20、21間而 收納;擋止接腳16b、17b和立板20、21之高度高於基板15 上表面,用於防止基板15自容器本體1滑出;上蓋2的前方 設有前門3可旋轉形成掀開閉合狀態,前門3内側設有二個 突起部24、25,突起部24、25上形成有與基板導角的角度 相對應的傾斜面24a、25a,此傾斜面中傾斜角度可設為任 意角度,但以與基板導角之角度相符為佳,前門3閉合時, 基板15由傾斜面24a、25a導引向容器寬度方向的中央位置 靠攏而定位(證據2第[0030]段),證據2之主要圖式如本 判決附圖二所示。
⒉證據9為2001年4月17日公告之美國第US 6216873B1號專利案 ,其公告日早於系爭專利優先權日(2002年7月5日),可 為系爭專利之相關先前技術。證據9為一種用於傳送例如半 導體或光微影製程中之光罩等工作的標準機械界面容器(SM IF),該標準機械界面容器具有容器門104以及外殼102,其 中該容器門104之光罩支撐件112接觸及支撐光罩127之下表 面,其中外殼102下設有光罩固定架114,透過容器門104與 外殼102緊密配合將光罩127設置於標準機械界面容器中, 證據9之主要圖式如本判決附圖三所示。
㈢原處分對證據2是否足以證明系爭專利請求項1、3至4、6至7 、9至10、12至13、17不具進步性,有理由不備之情形: ⒈關於系爭專利請求項1:
⑴系爭專利請求項1為一種光罩載具,用於承載光微影半導



  體製程中所使用的光罩,該光罩通常係平面的,具有相  對的上表面及下表面以及四個隅角,該載具包括:一基  部,具有至少一對相間隔的光罩支架,當光罩置於光罩  支架上時,該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之  下表面,該光罩係可在其上橫向滑動;及一蓋部,用於  緊密配合該基部,該蓋部具有一內表面,其上突設有複  數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片,各該光  罩定位凸片具有一斜角邊緣部,當該蓋部與該基部配合  時,該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該  光罩限制器嚙合,該光罩定位凸片係被定位成與該光罩  之光罩中間相鄰隅角嚙合。
⑵經查,原處分第12至15頁已經比較系爭專利請求項1與證  據2,並得到系爭專利請求項1與證據2之差異在於:證據  2之傾斜面24a、25a及可抑制基板之面24b、25b均位於突  起部24、25而為突起部之不同面,不同於系爭專利請求  項1之「複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片   」,故證據2不足以證明系爭專利請求項1不具新穎性,  此為兩造所不爭執。
⑶被告於110年8月26日言詞辯論時辯稱關於進步性判斷部  分,於原處分第16至20頁及訴願決定書於第15至20頁已  經有詳細論述(見本院卷第411頁言詞辯論筆錄)。亦  即被告辯稱:「
①證據2之突起部24、25上形成有與基板導角的角度相   對應的傾斜面24a、25a,該傾斜面24a、25a相當於系   爭專利請求項1之『該光罩定位凸片具有一斜角邊緣   部』,突起部24、25形成有自上方按壓基板15之角的   面24b、25b,基板15藉由突起部24、25而被按壓向容   器的內部方向,可抑制基板15自支持銷16a、17a上浮   起,該可抑制基板之面24b、25b相當於系爭專利請求   項1之『光罩限制器』。
②證據2第[0002]段揭露前門3閉合時,基板15由突起部2   4、25之傾斜面24a、25a導引向容器寬度方向的中央位   置靠攏而定位(橫向位移),再以突起部24、25之可   抑制基板之面24b、25b固定接觸(嚙合)基板15相當   於系爭專利請求項1之『當該蓋部與該基部配合時,該   斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩   限制器嚙合,該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之   光罩中間相鄰隅角嚙合』。
③因此,證據2之傾斜面24a、25a及可抑制基板之面24   b、25b於「當前門3閉合時」亦可達到允許光罩橫向滑



   動使放置誤差被修正並被認定嚙合之功效,即與系爭   專利請求項1之光罩定位凸片、光罩限制器及其相關技   術特徵,達成之效果實質相同。
④雖然證據2之傾斜面24a、25a及可抑制基板之面24b、2   5b同屬突起部24、25構件上之不同面,此與系爭專利   請求項1之光罩限制器及光罩定位凸片分屬不同構件之   構成方式有別,但就實質作用及達成的功效並無不   同,所屬技術領域具有通常知識者為因應光罩載具之   空間布置及與其他構件之作動關係,將習知單一構件   置換為兩構件予以達成相同效果之技術手段,誠屬簡   單變更。
⑤證據2之突起部,與系爭專利請求項1之光罩定位凸片   及光罩限制器分屬二不同構件,二者採用之結構雖明    顯有所差異,然由系爭專利圖式第9圖、第10圖所示及   訴願代理人到部陳述之意見,系爭專利光罩定位凸片   及光罩限制器二者仍須搭配作動,始能在光罩上部隅   角滑移至斜角邊緣部方向末端時,進而卡合於配置在   相應之光罩限制器之彈力臂凹口處,以便固持光罩,   此與證據2之基板導角可經由突起部傾斜面24a、25a横   向滑移至傾斜面邊緣末端後,直接卡固包覆於突起部   抑制面24b、25b及傾斜面24a、25a二者形成之端角,   進而迫使基板沿突起部傾斜面24a、25a横向滑動將基   板推移至特定位置,以修正放置誤差,同時嚙合固持   基板,二者所生之實質功效及作用並無不同,僅構件   組設為單一或拆分成二個構件配合完成之差異,此應   為所屬技術領域中具有通常知識者考量光罩載具空間   配置及構件作動方式,依習知技術手段所能簡單變更   完成者(訴願決定書第18、19頁)。
⑥證據2仍可利用突起部之一傾斜面24a、25a導引基板向   容器本體寬度方向的中央位置靠攏產生『横向滑動』,   以調整基板位置,而與系爭專利同為由一方向推移基   板,另一方向則由限制元件抵頂配合,以利推移固定基   板。故二者所生滑動幅度與距離縱略有大小之別,因系   爭專利請求項1並未就『橫向滑動』有何特別界定或限   制,亦未具體說明該技術特徵有何特殊不同之功效或作   用,尚難逕以系爭專利光罩定位凸片迫使光罩横向滑動   距離略大,即認定系爭專利具有特殊無法預期之功效而   具進步性(訴願決定書第19、20頁)。 ⑦綜上所述,發明所屬技術領域中具有通常知識者基於證   據2之技術內容應可輕易完成系爭專利請求項1,故證據



   2足以證明系爭專利請求項1不具進步性。」 ⑷惟按,審查進步性時,應以申請專利之發明的整體(as a  whole)為對象,不得僅針對個別或部分技術特徵,亦不  得僅針對發明與相關先前技術之間的差異本身,判斷該發  明是否能被輕易完成。且,進步性之判斷重點在於就先前  技術與系爭專利之間的差異,該發明所屬技術領域中具有  通常知識者參酌相關先前技術所揭露之內容及申請時的通  常知識,是否能輕易完成申請專利之發明的整體,並非僅  以兩者之間的功效高低以判斷進步性之有無(最高行政法  院103年度判字第705號判決參照)。經查,原處分第17頁  倒數第5至9行之記載:雖然證據2之傾斜面24a、25a及可  抑制基板之面24b、25b同屬突起部24、25構件上之不同  面,此與系爭專利請求項1之光罩限制器及光罩定位凸片  分屬不同構件之構成方式有別,但就實質作用及達成的功  效並無不同,而否定系爭專利之進步性。然而,原處分明  顯僅針對系爭專利請求項1之部分技術特徵與先前技術間  之差異,評斷二者功效相同,並未針對系爭專利所欲解決  之問題、技術手段、對照先前技術之功效等作整體考量,  實有違背整體審查原則。
⑸次按,所謂「簡單變更」係指針對申請專利之發明與單一

1/2頁 下一頁


參考資料
家登精密工業股份有限公司 , 台灣公司情報網